Турбомолекулярный вакуумный насос
Изобретение позволяет повысить надежность турбомолекулярного вакуумного насоса. На центральной оси 2 корпуса 1 установлен ротор () 3, снабженный магнитной подвеской 4. Устр-во радиальной стабилизации положения Р 3 выполнено в виде закрепленной на оси 2 втулки 5 и охватывающей ее цапфы 7. Цапфа 7 образует с втулкой 5 кольцевой зазор, снабжена кольцевым выступом 8 и закреплена на Р 3. На поверхности втулки 5, обращенной к цапфе 7, выполнены кулачки 9, разделяющие зазор на участки , каждый из к-рых имеет величину зазора, уменьшающуюся в направлении вращения Р 3. Выступы 8 препятствуют свободному сбросу рабочей жидкости из зазора, что обеспечивает стабильное положение Р 3. 2 ил.
СОЮЗ СОВЕТСНИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК (51)4 F 04 D 19/04
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К ABTOPCKOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ
ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ
ПРИ ГКНТ СССР (21) 4266038/25-29 (22) 23.06.87 (46) 23.02.89. Бюл. У 7 (72) К.И. Волков, В.С. Кондрашев и Е.А. Петров (53) 621.527.8(088.8) (56) Патент Франции 11- 1475765, кл. F 04 D 19/04, опублик. 1967. (54) ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ
НАСОС (57) Изобретение позволяет повысить надежность турбомолекулярного вакуумного насоса. На центральной оси
2 корпуса 1 установлен ротор (Р) 3, снабженный магнитной подвеской 4.
„,З0„„1460424
Устр-во радиальной стабилизации положения P 3 выполнено в виде закрепленной на оси 2 втулки 5 и охватывающей ее цапфы 7. Цапфа 7 образует с втулкой 5 кольцевой зазор, снабжена кольцевым выступом 8 и закреплена на Р 3 ° На поверхности втулки 5, обращенной к цапфе 7, выполнены кулачки 9, разделяющие зазор на участки, каждый из к-рых имеет величину зазора, уменьшающуюся в направлении вращения P 3. Выступы 8 препятствуют свободному сбросу рабочей жидкости из зазора, что обеспечивает стабильное положение P 3. 2 ил.
1460424
Формула изобретения
Фиг 2
Составитель н. Кряковкин
Техред М. Ходанич Корректор M.Шароши
Редактор H.ßöoëà
Заказ 521/41 Тираж 520 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Производственно-полиграфическое предприятие, r. Ужгород, ул. Проектная, 4
Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям турбомолекулярных вакуумных насосов.
Цель изобретения — повышение на5 дежности насоса.
На фиг. 1 представлен предлагаемый насос, продольный разрез на фиг. 2 — устройство радиальной стабилизации, поперечное сечение.
Турбомолекулярный вакуумный насос содержит корпус 1 с центральной осью 2, установленный на оси 2 ротор 3, снабженный магнитной подвеской 4, и устройство радиальной стабилизации положения ротора 3, выполненное в виде закрепленной на центральной оси 2 втулки 5 и охваты вающей ее с образованием кольцевого зазора 6 цапфы 7, закрепленной на роторе 3 и снабженной кольцевым выступом 8 в нижней части, причем на поверхности втулки 5, обращенной к цапфе 7, выполнены кулачки 9, разделяющие кольцевой зазор 6 на участки, каждый из которых имеет величину зазора, уменьшающуюся в направлении вращения ротора 3.
Насос работает следующим образом.
При вращении ротора 3 откачиваемый газ, попадающий в полость корпуса
1, переносится со стороны всасывания насоса на сторону нагнетания. Ротор
3 подвешивается в магнитном поле подвески 4, à его радиальная стабилизация обеспечивается специальным устройством, которое по принципу действия является гидродинамическим.
В зазор 6 подается рабочая жидкость, которая под действием центробежных сил распределяется по поверхности цапфы 7. Гидродинамическое взаимодействие между кулачками 9 и вращающимся слбем жидкости создает радиальные силы, которые резко возрастают при уменьшении зазора, т.е. при отклонении оси вращения ротора 3 от оси насоса, что приводит к совмещению этих осей. Выступы, 8 препятствуют свободному. сбросу рабочей жидкости иэ зазора 6. Таким образом, обеспечение стабильного положения ротора 3 насоса приводит к повышению его надежности.
Турбомолекулярный вакуумный насос, содержащий корпус с центральной осью, установленный на оси ротор, снабженный магнитной подвеской, и устройство радиальной стабилизации положения ротора, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью повышения надежности, устройство радиальной стабилизации положения ротора выполнено в виде закрепленной на центральной оси втулки и охватывающей ее с образованием кольцевого зазора цапфы, закрепленной на роторе и снабженной кольцевым выступом в нижней части, причем на поверхности втулки, обращенной к цапфе, выполнены кулачки, разделяющие кольцевой зазор на участки, каждый из которых имеет величину зазора, уменьшающуюся в направлении вращения ротора.
