Способ травления рисунков на металлизированных поверхностях

 

Изобретение касается получения рисунков с заданными размерами методом травления на металлизированных поверхностях и может быть использовано в электронике, оптике, точном машиностроении, полиграфии. Целью изобретения является повышение точности воспроизведения рисунка. Травящая композиция содержит, мас.%: хлорное железо 15-50

олигоэфиракрилат МДФ-2 20-40

аэросил 30-45. Повышение точности воспроизведения рисунка достигается введением в композицию олигоэфиракрилата МДФ-2 и аэросила. 2 табл.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН (51)5 С 23 F 1/02

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ ь= л .- .. iooz, Ф где Ь— величина растравливания штриха; ширина штриха на форме; ширина штриха на образце.

11ф—

h о

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ

Il0 ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

1 (21).4435436/31-02 (22) 06.06.88 (46) 07.01,90. Бюл. 11 1 (71) Омский политехнический институт (72) Д.Х.Ганиев, Б.Ф.Грибановский, С.А.Щеглов и О,М.Ченцова (53) 621.794.4(088.8) (56) Ханке Х. -И, Фибиан Х. Техноло-. гия производства радиоэлектронной аппаратуры. — M. Энергия, 1980, с.464.

Патент США 11 - 4610755, кл. С 23 F 1/02, 1986. (54) СПОСОБ ТРАВЛЕНИЯ РИСУНКОВ НА МЕТАЛЛИЗИРОВАННЫХ ПОВЕРХНОСТЯХ

Изобретение относится к получению рисунков с заданными размерами методом травления на металлизированных поверхностях и может быть использовано в электронике, оптике, точном машиностроении, полиграфии.

Цель изобретения — повышение точности воспроизведения рисунка.

На металлизированную медью химическим и электрохимическим способами стеклянную пластинку с изменяющимся по толщине медным слоем через трафаретную форму, включающую штриховые элементы с различной шириной штриха (60-860 мкм), наносят композицию.

Время травления 10 с при комнатной температуре. За это время полностью .удаляется слой толщиной до 0,3 мкм.

Отработанную травяшуюкомпозицию смывают водой (30-40 С), а затем обработанную пластинку сушат.

„„SU„„1534095 А1

2 (5?) Изобретение касается получения рисунков с заданными размерами методом травления на металлизированных поверхностях и может быть использовано в электронике, оптике, точном машиностроении, полиграфии. Целью изобретения является повышение точнос fH воспроизведения рисунка. Травящая композиция содержит, мас.7: хлор- . ное железо 15-50;.олигоэфиракрилат

1ЩФ-2 20-40; аэросил 30-45. Повышение точности воспроизведения рисунка достигается введением в композицию. олигоэфиракрилата МДФ-2 и аэросила.

2 табл.

Для оценки качества получаемого рисунка измеряют ширину штриха на форме и на образцах и вычисляют величину растравливания штриха по формуле:

СФ

Так же измеряют величину неровности края штриха. Измерения проводят на микроскопе meopta с насадкой M0B-

-1-16х.

В табл.1 приведены изученные составы травящей композиции; в табл.2— результаты испытаний.

:l534095

МДФ-2

Аэросил

20-40

30-45

Таблица I

10

15

45

35

50

30

35

30

Таблица,2

Максимальная величина

Время травления на

Качество рисунка

Состав композиции

Ширина

Величина

Ширина штриха на копиях, мкм

Неровность края, мкм максистравливаемо растравливания штриха формы, мкм мальную глубину с слоя меди, мкм. штриха, 74

0,3

0,5

0,4

0,5

0,7

0,7

0 5

0,7

0,8

1,1

l l,5

0,5

1 - 1„5

2,0

1,5

5,0

2-3

5,0

8-- 10

Технико-экономическим преимуществом предлагаемого способа является повышение точности воспроизведения рисунка.

Формула изобретения

Способ травления рисунков на ме- . таллизированных поверхностях, включа- 10 ющий печатание на поверхности травящей композицией, выдержку ее в течение времени, обеспечивающего травле-..н ние рисунка, смывание отработанного

TpaBHTeJIR и сушку, о т л и ч а ю — 15 шийся тем, что., с целью повышения точности воспроизведения рисунка, травление, осуществляют композицией следующего состава, мас.%:

Хлорное железо, l 5-50

Олигоэ@иракрилат

880,0

660,0

316,8

187,0

57,.2

880,0

660,0

316,8

187,0

57,2

880,0

660,,0

316,.8

187,,0

57,3

880,0

660,0

316,,8

187,,0

57,?

880,,0

660 „О

316 „8

187 „0

57,2

880„0

660„0

884,4

662,6

318,4

188,3

57,6

884,4

664,6

319,3

189 0

58,1

884,6

665,3

320,3

189,8

58;3

893, 2

673,8

326,3

193,5

59,5

902,0

693,7

339,9

205,9

66,2

883,5

664 0

0,5

0,8

1,1

1,5

1,9

1,5

2,1

3,0

3 5

4,0

2,5

5,1

7,3

10,1

15,7

0,4

0,6

1534095

Качество рисунка

Величина

Ширина

Неровность края, мкм растравливания стравливаемого штриха, Ж слоя меди, мкм

1,5- 2

ИзвестHbIH

10+

1,0

5-8

+ Показатели качества воспроизведения изобретения сняты на образцах алюминизированной лавсановой пленки с толщиной алюминиевого слоя 0,5 мкм, травление рисунка осуществляют по известному способу. Медные образцы не подвергаются травлению по известному способу.

Составитель В.Егоров

Техред Л.Сердюкова Корректор О. Ципле

Редактор Н. Гунько

Тираж 805

Заказ 24

Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", Ужгород, ул. Гагарина, 101

Состав компо зиции

Максимальная величина

Время травления на максимальную глубину, с штриха форм i, MKM

316,8

187,0

57,0

800,0

300,0

50,0

Ширина штриха на копиях, мкм

319,0

188,9

57,7

821, 1

319,3

57,0

Продолжение табл.2

0,7 ,1,0

1,2

2,6

6,4

14,0