Турбомолекулярный вакуумный насос

 

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет улучшить откачные характеристики насоса. Между входным и выходным участками 8 и 9 ротора (Р) 6 выполнены отверстия 11. На цилиндрическом статоре (С) 5, расположенном внутри Р 6, выполнены винтовые каналы (К) 13. Кроме выходного патрубка (П) 3 насос снабжен дополнительным выходным патрубком (ДП) 10. П 3 и ДП 10 подключаются к внешней системе вакуумирования независимо друг от друга. При работе с газами, имеющими малую молекулярную массу, внешняя откачка производится через ДП 10, а при работе с газами, имеющими большую молекулярную массу, внешняя откачка производится через П 3. При этом газ проходит через лопаточную ступень на входе насоса, через отверстия 11 попадает в молекулярную ступень, образованную К 13 С 5 и поверхностью Р 6. 2 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

„„SU„„1550222 (51)5 F 04 D 19/04 г" 1р р

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ABTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

13

Р

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ пО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 4446539/25-29 (22) 23.06.88 (46) 15.03.90. Бюл. № 10 (71) МВТУ им. Н. Э. Баумана (72) К. Е. Демихов, Т. А. Басова и Ю. В. Бурлингас (53) 621.527.8 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 1278488, кл. F 04 D 19/04, 1985. (54) ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЯ ВАКУУМНЫЙ НАСОС (57) Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет улучшить откачные характеристики насоса. Между входным и выходным участками 8 и 9 ротора (Р) 6 выполнены отверстия 11. На цилиндрическом

2 статоре (С) 5, расположенном внутри Р 6 выполнены винтовые каналы (К) 13. Кроме выходного патрубка (П) 3 насос снабжен дополнительным выходным патрубком (ДП)

10. П 3 и ДП 10 подключаются к внешней системе вакуумирования независимо друг от друга. При работе с газами, имеющими малую молекулярную массу, внешняя откачка производится через ДП 10, а при работе с газами, имеющими большую молекулярную массу, внешняя откачка производится через П 3. При этом газ проходит через лопаточную ступень на входе насоса, через отверстия 11 попадает в молекулярную ступень, образованную К 13 С 5 и поверхностью P.б. 2 ил.

1550222

Формула изобретения

РыР 2

Составитель В. Кряковкин

Редактор Л Ренин Техред И. Верее Корректор О. Ципле

Заказ 259 Тираж 496 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат «Патент», г. Ужгород, ул. Гагарина, 101

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям турбомолекулярных вакуумных насосов.

Цель изобретения — улучшение откачных характеристик насоса.

На фиг. 1 изображена схема предлагаемого насоса; на фиг. 2 — разрез А-А на фиг, 1.

Насос содержит корпус 1 с входным 2 и выходным 3 патрубками, размещенные на внутренней поверхности корпуса 1 статорные диски 4, расположенные по оси корпуса 1 цилиндрический статор 5 и охватывающий его ротор б с роторными дисками 7, разделенный на входной 8 и выходной 9 участки. Корпус 1 снабжен дополнительным выходным патрубком 10, ротор б — сквозными отверстиями 11, выполненными между входным 8 и выходным 9 участками, и газодинамическим уплотнением 12, расположенным между выходными патрубками 3 и 10, а на внешней поверхности цилиндрического статора 5 выполнены винтовые каналы 13.

Насос работает следующим образом.

Патрубки 3 и 10 подсоединяют к внешним системам вакуумирования независимо друг от друга.

При откачке газов с малой молекулярной массой внешнее вакуумирование осуществляют через патрубок 10. Таким образом, в откачке таких газов принимают участие лишь лопасточные ступени насоса, которые обеспечивают максимальную быстроту действия. а

При откачке газов с большой молекулярной массой внешнее вакуумирование осуществляют через патрубок 3. Таким образом, на стороне всасывания работает лопаточная ступень, а на стороне нагнетания — молекулярная, образованная участком 9 ротора б и каналами 13 цилиндрического статора 5. Откачиваемый газ попадает в молекулярную ступень через отверстия 11.

Исключение обратных потоков со стороны ð фарвакуума каждого из патрубков 3 и 10 достигается установкой между ними газодинамического уплотнения 12.

У предлагаемого насоса (по сравнению с известными) улучшить откачные характеристики при работе с любым родом откачиваемого газа.

Турбомолекулярный вакуумный насос, 20 содержащий корпус с входным и выходным патрубками, размещенные на внутренней поверхности корпуса статорные диски, расположенные по оси корпуса цилиндрический статор и охватывающий его ротор с роторными дисками, разделенный на входной

2о и выходной участки, отличающийся тем, что, с целью улучшения откачных характеристик, корпус снабжен дополнительным выходным патрубком, ротор — сквозными отверстиями, выполненными между его входным и выходным участками, и газодинамическим уплотнением, расположенным между выходными патрубками, а на внешней поверхности цилиндрического статора выполнены винтовые каналы.