Вертикальный турбомолекулярный насос

 

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет улучшить откачные характеристики насоса путем повышения вероятности откачки молекул газа, попадающих на вход насоса. Верхняя крышка 5 ротора 4 со стороны входного патрубка 2 имеет коническую поверхность с образующей в виде гиперболы и снабжена радиальными ребрами 6. Попадающие на поверхность крышки 5 молекулы газа отражаются преимущественно в направлении боковой стенки входного патрубка 2, который выполнен в виде усеченного конуса с углом наклона образующей к оси корпуса 1 не менее 45°. Отражение молекул от стенок входного патрубка 2 преимущественно происходит в направлении проточной части насоса. За счет попадания в проточную часть молекул, соударяющихся с крышкой 5, увеличивается эффективная быстрота действия насоса. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК

А1

„„SU„„1 479702 (51)4 F 04 D 19/04

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМ .Ф СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Физ.1

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 4301464/25-.29 (22) 02 . 09 ..87 (46) 15.05.89. Бюл. № 18 (72) А. С. Скоркин (53) 621.527.8 (088.8) (56) Патент Франции ¹ 2310481, кл. F 04 D 19/04, опублик. 1977. (54) ВЕРТИКАЛЬНЫЙ ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ

НАСОС (57) Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет улучшить откачные характеристики насоса путем повышения вероятности откачки молекул газа, попадаюцих на вход насоса.

Верхняя крышка 5 ротора 4 со стороны входного патрубка 2 имеет, коническую поверхность с образующей в виде ги— перболы и снабжена радиальными ребрами 6. Попадающие на поверхность крышки 5 молекулы газа отражаются преимущественно в направлении боковой стенки входного патрубка 2, который выполнен в виде усеченного ко479702 нуса с углом наклона образующей к ь оси корпуса 1 не менее 45 . Отражение молекул от стенок входного патрубка 2 преимущественно происходит в направлении проточной части насоса.

За счет попадания в проточную часть молекул, соударяющихся с крышкой 5, увеличивается эффективная быстрота действия насоса. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.

Изобретение относится к вауумной технике, а именно к конструкциям турбомолекулярных вакуумных насосов.

Цель изобретения — улучшение откачных характеристик насоса.

На фиг. 1 представлен насос, продольный разрез; на фиг. 2 — крышка ротора, вид сверху.

Вертикальный турбомолекулярный насос содержит корпус 1 с входным патрубком 2, закрепленный на внутренней поверхности корпуса 1 статор 3 и установленный по оси корпуса 1 полый ротор 4 с верхней крышкой 5, которая со стороны входного патрубка 2 имеет коническую поверхность с образующей в виде гиперболы и снабжена радиальными ребрами 6 с увеличивающейся в направлении периферии высотой, причем верхние торцы ребер 6 имеют максимальную высоту, превышающую расстояние между ними по внешней окружности крышки 5. Входной патрубок 2 выполнен в виде усеченного конуса с углом наклона образующей к оси корпуса 1 не менее 45, верхним малым основанием, расположенным в плоскости торцов ðàдиальных ребер 6 и высотой, равной максимальной высоте последних.

Насос работает следующим образом.

После создания предварительного разрежения в корпусе 1 насоса ротор

4 раскручивается до номинальных оборотов.Молекулы газа, попадающие в корпус 1 насоса через входной патрубок 2 и взаимодействующие с лопатками ротора 4 и статора 3, получают импульс в направлении откачки и переносятся со стороны всасывания насоса на сторону нагнетания. Молекулы, попадающие на крышку 5 ротора 4 в пространство между радиальными ребрами, благодаря конфигурации внешней поверхности крышки 5 отражаются пре= имущественно в направлении боковой стенки входного патрубка 2. Поскольку эта поверхность является конической, то отражение молекул от нее происходит преимущественно в направлении проточной части насоса. В ре10 зультате увеличивается вероятность откачки молекул газа, попадающих на вход насоса, т.е. улучшаются откачные характеристики насоса.

15 Формула изобретения

1 ° Вертикальный турбомолекулярный насос, содержащий корпус с входным патрубком, закрепленный на внутренней

20 поверхности корпуса статор и установленный по оси корпуса полый ротор с верхней крышкой, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью улучшения откачных характеристик, крышка со стороны входного патрубка имеет коническую поверхность с образующей в виде гиперболы и снабжена радиальными ребрами с увеличивающейся в направлении периферии высотой, причем верхние

З0 торцы ребер расположены в одной плоскости и ребра имеют максимальную высоту, превышающую расстояние между ними по внешней окружности крышки.

2. Насос по п.1, о т л и ч а ю— шийся тем, что входной патрубок выполнен в виде усеченного конуса с углом наклона образующей к оси корпуса не менее 45, верхним малым основанием, расположенным в плоскости

40. торцов радиальных ребер, и высотой, равной максимальной высоте последних.

1479702 й4А

Составитель В.Кряковкин

Редактор M.Êåëåìåø ТехредЛ.Сердюкова Корректор Л.Пилипенко

Заказ 2522/35 Тираж 523 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Иосква, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина, 101