Устройство для климатических испытаний полупроводниковых приборов

 

Изобретение относится к области производства изделий электронной техники и может быть использовано для размещения и транспортировки изделий в камерах климатических испытаний и в других технологических установках. Целью изобретения является повышение надежности в работе и увеличение удельной емкости. Накопитель содержит винтовую направляющую 1, размещенную внутри транспортирующего ротора, выполненного в виде фигурных лотков 2, закрепленнных на ступицах 3, и привод 4. Изделия размещаются в гнездах накопителя, образованных стенками фигурных лотков 2 и витками винтовой направляющей 1. Винтовые направляющие могут иметь незначительный диаметр, что увеличивает удельную емкость накопителя. 2 ил.

Изобретение относится к области производства изделий электронной техники и может быть использовано для климатических испытаний полупроводниковых приборов. Цель изобретения улучшение эксплуатационных возможностей, повышение эффективности теплообмена. На фиг. 1 изображено устройство в разрезе; на фиг.2 поперечный разрез устройства. Устройство содержит проходную теплоизолированную камеру 1, в которой размещен накопитель, содержащий транспортирующий ротор 2 с продольными пазами 3 для размещения полупроводниковых приборов 4, размещенный на ступицах 5, установленных на осях 6 неподвижной винтовой направляющей 7, размещенной внутри ротора 2. Узел загрузки 8 содержит механизм 9 поштучной подачи приборов 4 и лоток 10 для подачи приборов 4 в приемное окно 11 ротора 2. На выходе винтовой направляющей 7 ротор 2 имеет выходное окно 12 для подачи приборов 4 к узлу контактирования 13, в котором установлена каретка 14 с приводом 15 и неподвижный отсекатель 16. Узлом контактирования 13 является механизм сортировки, содержащий канал 17 и отсекатели 18 для подачи испытанных приборов в кассеты 19. В камере 1 установлены также нагреватель 20 в виде керамической трубки со спиралью, диаметральный вентилятор 21 с рабочим колесом 22 и отражатель 23, причем длина нагревателя 20, длина рабочего колеса 22 и длина отражателя 23 равны длине транспортирующего ротора 2. Устройство работает следующим образом. В узел загрузки 8 устанавливается пенал с приборами 4 в спутниках, которые механизмом поштучной выдачи 9 подаются в лоток 10, откуда они поступают в приемное окно 11 ротора 2, где нижняя часть спутника прибора 4 фиксируется между двумя соседними витками неподвижной винтовой направляющей 7, а верхняя часть стенками продольных пазов 3 ротора 2. После загрузки очередного прибора 4 ротор 2 накопителя поворачивается на шаг и стенки пазов 3 ротора 2 перемещают прибор 4 по неподвижной винтовой направляющей 7 с позиции загрузки, освобождая ее под следующий прибор. Пройдя всю винтовую направляющую 7, прибор выходит на позицию выгрузки. На всем своем пути в накопителе прибор 4 равномерно обдувается потоком воздуха заданной температуры. Вращение ротора 2 накопителя позволяет менять положение прибора 4 относительно направления потока теплоносителя, что значительно улучшает равномерность нагрева и увеличивает скорость достижения прибором заданной температуры. Равномерность давления и температуры всего потока получается за счет конструкции нагревателя 20 и вентилятора 21, установленных по всей длине камеры 1. Отсутствие застойных зон объясняется малым объемом камеры 1 и замкнутостью траектории движения теплового потока. Эти особенности позволяют устройству быстро выходить на рабочий режим, расходуя минимальное количество энергии. На позиции выгрузки прибор 4 попадает в выходное окно 12, откуда поступает в подвижную каретку 14 узла контактирования 13. Неподвижный отсекатель 16 препятствует сквозному прохождению прибора 4 в канал 17 механизма сортировки. При движении каретки 14 к контактному устройству 13 прибор 4 в спутнике соскальзывает с неподвижного отсекателя 16 и попадает в нижнюю часть каретки 14, которая непосредственно подводит спутник с прибором 4 к контактам узла 13. После контактирования каретка 14 возвращается в исходное положение, выгружая спутник с прибором 4 в канал 17 механизма сортировки, где по команде от измерительного устройства срабатывает, перекрывая канал, отсекатель 18 той группы сортировки, к которой относится прибор. Поймав прибор 4, отсекатель 18 загружает его в кассету 19, освобождая канал 17 для следующих приборов.

Формула изобретения

УСТРОЙСТВО ДЛЯ КЛИМАТИЧЕСКИХ ИСПЫТАНИЙ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ, содержащее проходную камеру с размещенными в ней нагревателем и накопителем, отличающееся тем, что, с целью улучшения эксплуатационных возможностей и повышения эффективности теплообмена, оно снабжено диаметральным вентилятором, причем нагреватель и рабочее колесо диаметрального вентилятора расположены в проходной камере параллельно оси накопителя, а длина нагревателя и длина рабочего колеса диаметрального вентилятора равны длине накопителя.

РИСУНКИ

Рисунок 1, Рисунок 2



 

Похожие патенты:

Изобретение относится к измерениям электрофизических параметров полупроводников и может быть использовано для контроля дефектности ионно-легированных слоев полупроводника, и частности, при легировании малыми дозами

Изобретение относится к полупроводниковой технике

Изобретение относится к области метрологии электрофизических параметров твердого тела, а именно к способам определения энергии электронных состояний на поверхности металлов

Изобретение относится к электроизмерительной технике и предназначено для определения ширины коллектора высоковольтного транзистора

Изобретение относится к электронной промышленности, в частности к устройствам контроля и исследования электрофизических параметров полупроводниковых структур

Изобретение относится к полупроводниковой технике и может быть использовано для определения фотоэлектрических параметров примесных некомпенсированных полупроводников

Изобретение относится к метрологии электрофизических параметров полупроводников и предназначено для контроля параметров полупроводниковых приборов и материалов в процессе их изготовления, а также при исследовании электрофизических параметров различных межфазовых границ с участием полупроводниковых и полуметаллических материалов

Изобретение относится к измерительным устройствам, применяемым в полупроводниковой промышленности, и может быть использовано для измерения удельного электрического сопротивления полупроводников

Изобретение относится к технике контроля параметров полупроводников и предназначено для локального контроля параметров глубоких центров (уровней)

Изобретение относится к области измерительной техники, в частности к области измерения геометрических размеров плоских изделий, и может быть использовано при измерении толщины плоских изделий из диэлектриков, полупроводников и металлов, в том числе полупроводниковых пластин, пластических пленок, листов и пластин

Изобретение относится к полупроводниковой технике и направлено на повышение точности измерения параметров эпитаксиальных слоев на изотипных проводящих подложках и применение стандартных образцов, изготовленных по технологии, обеспечивающей существенно более высокий процент выхода годных и более высокую механическую прочность

Изобретение относится к полупроводниковой технике и может быть использовано для выявления и анализа структурных дефектов (ростовых и технологических микродефектов, частиц второй фазы, дислокаций, дефектов упаковки и др.) в кристаллах кремния на различных этапах изготовления дискретных приборов и интегральных схем

Изобретение относится к области силовой полупроводниковой техники и может быть использовано при изготовлении тиристоров и диодов
Изобретение относится к неразрушающим способам контроля степени однородности строения слоев пористого кремния

Изобретение относится к области измерительной техники, в частности к области измерения электрофизических параметров материалов, и может быть использовано для контроля качества полупроводниковых материалов, в частности полупроводниковых пластин
Наверх