Зондовое устройство
Изобретение относится к измерительным устройствам, применяемым в полупроводниковой промышленности, и может быть использовано для измерения удельного электрического сопротивления полупроводников. Целью изобретения является повышение воспроизводительности измерений. Устройство содержит электропроводящий зонд 1, держатель зонда 2, закрепленный на корпусе механизма 3 подъема и опускания зонда и находящийся над штоком 4, биметаллические пластины 5 и 6, закрепленные шарнирами 7 и 8, нагреватель 9 с выводами 10, выключатель 11, источник 12 питания нагревателя, измеряемый образец 13. Поставленная цель достигается за счет введения второй биметаллической пластины, идентичной первой. В устройстве уменьшена зависимость скорости опускания зонда на измеряемый образец от температуры окружающей среды, чем обеспечивается повышение воспроизводимости измерений. 1 з.п. ф-лы. 1 ил.
СВОЗ СОВЕТСКИХ
СОЩМЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК
А1
И91 < 1И> (51) 5 11 01 L 21/66
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
Н АBTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ
1О
1п
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ
Г10 ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ
ПРИ ГКНТ СССР
1. (21) 4173389/24-21 (22) 05,01.87 (46) 23. 01 90. Бюл. Р 3 (72) Ю.Я,Бессонов, И.А.Фомин и В,В.Чапайкин (53) 62.396.049 (088.8) (56) Башкин Ю.А, и др. Термобиметаллы. композиции, обработка, свойства, — М.: Машиностроение, 1986, с. 48, фиг. 39.
Там же, с. 62, фиг. 59, (54) 3011ДОВОЕ УСТРО11СТВО (57) Изобретение относится к измерительным устройствам, применяемым в полупроводниковой промышленности, и может быть использовано для измерения удельного эдектрического сопротивления полупроводников. Белью изобрете2 ния является повышение воспроизводительности измерений. Устройство содержит электропроводящий зонд 1, держатель 2 зонда, закрепленный на корпусе механизма 3 подъема и опускания зонда и находящийся над штоком 4, биметаллические пластины 5 и 6, закрепленные шарнирами 7 и 8, нагреватель
9 с выводами 10, выключатель 11, источник 12 питания нагревателя, измеряемый образец 13. Поставленная пель достигается за счет введения второй биметаллической пластины, идентичной первой. В устройстве уменьшена зависимость скорости опускания зонда на измеряемый образец от температуры окружающей среды, чем обеспечивается повышение воспроизводимости измерений. 1 з.п. A-лы, 1 ип °
С::
1538195!
Изобретение относится к измерительным устройствам, применяемым в полупроводниковой промьпнленности, и может быть использовано для измерения удельного электрического сопротивле5 ния полупроводников.
Цель изобретения - повышение воспроизводимости измерений.
Иа чертеже схематично изображено, зондовое устройство.
Устройство содержит электропрово дящий зонд 1 из твердосплавного материала, укрепленный в держателе 2 зонда в виде коромысла. Держатель 2 зонда крепится на корпусе 3 механизма подъема и опускания зонда и находится над штоком 4. В корпусе 3 закреплены идентичные биметаллические пластины 5 и 6, расположенные парал- 20 дельно одна над другой сторонами из металла с меньшим температурным расширением, с помощью шарниров 7 и 8.
Шарниры 7 жестко укреплены в корпусе
3, шарниры 8 закреплены в корпусе 3 25 от вертикальных перемещений. Шток 4, из материала с низкой теплопроводностью жестко соединен с центрами биметаллических пластин 5 и 6. Нагреватель 9 расположен на пластине 5, вы оды 10 нагревателя 9 укреплены на
1корпусе 3. Выключатель 11 укреплен на корпусе 3, связан со штоком 4 и может
Ьключать и выключать источник 12 питания нагревателя 9. Измеряемый образец 13 расположен на корпусе 3 под зондом 1.
Устройство работает следующим образом.
При начальном положении биметаллических пластин 5 и 6 шток 4 включает
40 с помощью выключателя 11 источник 12 питания нагревателя 9, биметаллическая пластина 5 нагревается и изгибается вверх шток 4 поднимается пре 45 одолевая упругость пластины 6. Поднявшись до держателя зонда 2, шток 4 толкает его, и зонд 1 отрывается от поверхности измеряемого образца 13.
Поднявшись до верхнего положения on50 ределяемого взаимным расположением штока 4 и выключателя 11, шток 4 с помощью выключателя 11 отключает источник 12 питания нагревателя 9. Разность температур биметаллических пластин 5 и 6 уменьшается, пластины
5 и 6 выпрямляются, шток 4 опускается и опускает держатель 2 зонда, а с ним и зонд 1 на поверхность измеряемого образца 13. После этого шток 4 опускается до нижнего положения, оп-: ределяемого взаимным расположением г штока 4 и выключателем 11, шток 4 с помощью выключателя 1 включает источник 12 питания нагревателя 9. Пикл повторяется.
При установке нагревателя 9 на биметаллической пластине 6 опускание зонда 1 на измеряемый образец 13 может происходить при включении источника 12 питания нагревателя 9. При установке биметаллических пластин друг к другу сторонами из металла с большим температурным расширением нагреватель 9 устанавливается на биметаллическую пластину 6 для осуществления возможности опускания зонда 1 при выключении источника 12 питания нагревателя 9 и на пластине 5 для
I случая опускания зонда 1 при включении источника 12 питания нагревателя 9.
Так как начальное положение штока, а следовательно, и зонда определяется разностью температур двух идентичных биметаллических пластин, то оно не зависит от температуры окружающей среды. Контактное устройство фиксирует верхнее и нижнее положение штока, а следовательно, максимальную и минимальную разности температур биметаллических пластин, которые при работе устройства не изменяются, и стабилизируется температура корпуса механизма подъема и опускания зонда. Следовательно, уменьшается зависимость скорости опускания зонда на измеряемый образец от температуры окружающей среды и повышается воспроизводимость измерений, Ф о р м у л а и з о б р е т е н и я
1, Зондовое устройство для измерения удельного сопротивления полупроводниковых материалов, содержащее установленные в корпусе электропроводя щий зонд из твердосплавного материала, держатель зонда, механизм подъема и опускания зонда с биметаллической пластиной, жестко соединенной с зондом, и нагревателем, расположенным на биметаллической пластине, и источник питания нагревателя, о т л и ч а ющ е е с я тем, что, с целью повьшжСоставитель Н.Шмелев
ТекредЛ.Сердюкова Корректор Э.Лончакова
Редактор Г. Волкова
Заказ 171 Тираж 446 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР
113035, Москва, Ж-35; Раушская наб., д. 4/5
Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина,101
5 1 538195 б ния воспроизводимости измерений, в свободно в пазу корпуса, размещенные корпусе дополнительно установлена . в ее плоскости. вторая биметаллическая пластина, 2. Устройство по и. l, о т л иицентичиая первой расположенная па- ч а ю щ е е с я тем что оно допол-.
5 . раллельно ей и обращенная к ней одно- нительно содержит контактную группу, именным металлом, каждая пластина кинематически связанную с зондом и шарнирно одним концом прикреплена к электрически связанную с нагревате корпусу, а другим концом установлена лем.
