Установка для получения стекловидного гидроокисного материала из многокомпонентного раствора, преимущественно для защиты полупроводниковых приборов

 

Изобретение относится к аппаратурному оформлению процессов получения защитных покрытий полупроводниковых приборов от воздействия окружающей среды. Оно обеспечивает улучшение качества готового продукта за счет повышения степени его гомогенизации. Установка для получения стекловидного гидроокнсного материала из многокомпонентного раствора содержит каркас, на котором смонтированы сосуды I, 2, емкости 3, 4 с лопастными мешалками 14. Камера 12 предназначена для сме- .шения реактивов из сосудов 1 и 2. Камера 12 выполенна в виде перевернутого стакана, в полости которого наклонно установлены два капиллярных наконечника соответственно под углом 20-25° и 10-15°, диаметром 1,5-2 мм, при этом противоположная им стенка камеры 12 выполнена плоской вертикальной и внизу снабжена уступом шириной 5-6 ммо Камера 12 размещена на крышке 11 бака-сборника 5, которая установлена с возможностью откидывания, а бак-сборник установлен с возможностью его перемещения.по рольгангу 6 в тер- ,мокамеру 8,для выпаривания геля до порошкообразного состояния. Мешалка1 14 в баке-сборнике размещена под уступом камеры смешения. А з.п. ф-лы, 3 ил. с $ (Л с са j эо Ј

сОюэ сОВетских

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК

Н9) (!1! (51) 5 М 01 F 13/10

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

Ilo иэОБРетекиям и ОчнРытияц

ПРИ ГННТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЙ-К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ! (46) 07.09.91. Вил. - 33 (21) 4172222/26 (22) 30.12.86 (7 1) Всесоюзный научно-исследовательский, проектно-конструктовский и технологический институт силовых и полупроводниковых устройств (72) Л.А. Самойленко, В,.И. Тетерьвов, В.М. Воскресенский и О.И. Вротиковский (53) 621. 382 (088. 8) (56) Авторское свидетельство СССР

В 715460, кл. С 01 В 33/12, 1977.

Авторское свидетельство СССР

Р 873825, кл. Н 01 1. 21 /50, 1980. (54) УСТАНОВКА ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ СТЕКЛОВИДНОГО ГИДРООКИСНОГО МАТЕРИАЛА ИЗ

МНОГОКОМПОНЕНТНОГО РАСТВОРА, ПРЕИМУЩЕСТВЕННО ДЛЯ ЗАЩИТЫ ПО11УПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ (57) Изобретение относится к аппаратурному оформлению .процессов получения защитных покрытий полупроводниковых приборов от воздействия окружающей среды. Оно обеспечивает улучшение качества готового продукта за счет по(И зобретение относится к аппаратурму оформлению производства стеклоных ниэкотемлературньrx материалов для защитного покрытия изделий от воздействия .окружающей среды и проникновения влаги, преимущественно . кремниевых структур силовых полупро .водниковых приборов.

Целью изобретения является улучшение качества готового продукта эа вышения степени его гомогенизации. Установка для получения стекловидного гидроокисного материала иэ многокомпонентного раствора содержит каркас, на котором смонтированы сосуды 1, 2, емкости 3, 4 с лопастными мешалками

14. Камера 12 предназначена для сме,шения реактивов из сосудов t и 2. Камера 12 выполенна в виде перевернутого стакана, в полости которого наклонно установлены два капиллярных наконечника соответственно под углом о о

20-25 и 10-15, диаметром t,5-2 мм, при этом противоположная им стенка камеры !2 выполнена плоской вертикальной и внизу снабжена уступом шириной

S-6 мм. Камера 12 размещена на крьппке

11 бака-сборника 5, которая установ лена с возможностью откидывания, а бак-сборник установлен с возможностью

его перемещения.по рольгангу 6 в тер.мокамеру 8,для. выпаривания геля до порошкообразного состояния. Мешалка

14 в баке-сборнике размещена под уступом камеры смешения. 4 з п. ф-лы, 3 ил. счет повьппения степени его гомогениэации.

На фиг. 1 изображена установка, общий вид; на фиг. 2 — узел I на фиг. 1; на фиг. 3 — камера смешения, вид сверху.

Установка для получения стекловидного гидроокисного материала. и виде порошка из многокомпонентного раетнора, преимущественно для защиты полу1578901 вр 1водннковых приборов, состоит из Установка работает следующим обквркаса (не показан) на котором смон" разом. гнрованы сосуд 1 (см. фиг. 1) для В сосуде 1 предварительно готовят предварительного получения доэнрован- . дозированный растйор азотнокислых 5 ного Раствора азотнокислых алюминие- солей алюмийия и свинца в деионизировых и свинцовых солей в деиониэирован- ванной воде, в сосуде 2 готовят дозиной воде, сосуд 2 для .получения дози- рованный спиртовый раствор этиЛового рованного спиртового раствора зтилово-, эфира ортокремниевой кислоты-тетраго эфира ортокремниевой кислоты — тет-10 этоксисилана. В емкости 4 получают до" раэтоксисилана, емкость 3 для их сме- зированный водный раствор аммиака за" шелия, емкость 4 для получения дози- данной концентрации. При этом все ровавного водного раствора аммиака. вьяцеперечисленные Растворы получают с использованием динамического смешиУстановка содержит бак-сборник 5 у5 вания лопастными мешалками. Затем в длн окончательного получения геля, емкости 3 проводят гидролиз путем перемещающийся по рольгангу 6, поддон . сливания в него раствора аэотнокислых

7 для истечения промывочной жидкости солей алюминия и свинца из сосуда геля и термокамеру 8 для выпаривания ., 1 и спиртового раствора тетраэтоксиостаточной промывочной жидкости из 2g силана из сосуда 2 при одновременном геля, снабженную заслонкой 9 для- активном лерепГешивании их в сосудах выемки бака-сборника 5 из термокамеры 1 и 2 и емкости 3 до наступления прозс целью выгрузки конечного продукта", рачности, т.е. наступления равновесия стекловидного порошка. КРРны 10 Уста " ортоэтилсиликата и кремниевой кислоты новлены на трубопроводах. На откидно", 25 в смешанном растворе, содержащем ионы крьпаке 11 бака-сборника 5 установле-. свинца и-алюминия. После проведения на камера 12 смешения реактивов s a e перечисленных операций производят перевернутого стакана. Накопитель 13 . слияние Растворов иэ емкости 3 и 4. в промывочной жидкости сообщен с поддо" .камеру 12 смешения для проведения . ном 7. Сосуды 1, 2,, емкости 3у 4 и З0 стехиометрической реакции; при этом, бак-накопитель 5 снабжены лопастными:. через наконечник 16 на стенку 15 по" мешалками 14. Камера 12 смешения име- дают раствор иэ емкости 4, а через ет плоскую вертикальную стенку 15э.на . наконечник 17 — из емкости 3. .которую направлены капиллярные како" - Кз камеры 12 образовавшийся в ренечники 16 и 17. Наконечник 16 с дМа эультате..редакции гель и неэначитель35 метром капиллярного канала, равным ная часть непрореагировавших раство1,5 — 2 мм, установлен наклонно к .го" ров подается в бак-сборник 5, где для ризонтали, под углом et= 20-25 H : получения последней фазы геля смесь предназначен для подачи раствоРа из . подвергают динамическому перемешиваемкости 4. Наконечник 17 с диаметром 4О нию лопастной мешалкой 14. Полученный капиллярного канала, равным 1,5-2 мм гель отстаивают н баке-сборнике 5, установлен наклонно к горизонтали ; . промывают деиониэированной водой, втоо .под Углом p= 10-15 и пРедназначеи рично отстаивают для удаления промыдля подачи раствора под давлением, вочной жидкости (воды и .солей аммо0,2 ати иэ емкости З,.Камера 12 смеше „ ния) в накопитель 13, после чего бакния реактивов снабжена. Уступом 181 сборник 5 с гелем подают в термокаке расйоложенным по отношению к верти- ру 8 где гель -выпаривают до получео

Э калькой стенке под углам ) "-90 105 .ния конечного продукта - порошкооб- . и имеющим длину уклона 5-6 MM уступ " разного вещества.

18 предназначен для "подпора (притормаживания)- жидкости, стекаемой по, ф о р м у л -а и э о б р. е т е н и я стенке 15. При этом капиллярные наконечники 16 и 17 установлены с воэмож- 1. Установка для получения стеклоностью изменения расстоян ни Расстояния до верти- видного гидроокисного материала .из кальной стенки в интервале 10 - 15 мм. . многокомпонентного раствора, преимуБоковые грани 19 камеры 12 смешения 55 ществеино для защиты йолупроводникоограничивают пленочный поток раствора вых приборов, содержащая сосуды с по стенке 15. Мешалка 14 в баке-сбор- мешалками для приготовления водных нке 5 расположена под уступом 18. Растворов аэотнокислых солей стеклооб5 15 раэующих элементов, спиртового раствора тетраэтоксисилана, емкость для

Нх смешения, емкость для приготовлеI ния водного раствора аммиака бак1 сборник с мешалкой и термокамеру, о т л и ч а ю щ а я с я тем, что, с целью улучшения качества готового продукта эа счет повышения степени его гомогенизации, установка снабжена камерой смешения, выполненной в виде перевернутого стакана, установленного на крышке бака-сборника и сообщенного в нижней части с,последним, камера смешения снабжена капиллярными наконечниками, один иэ которых"соединен с емкостью для приготовления водного раствора аммиака, а другой — с емкостью для смешения, при этом стенка камеры смешения, на которую направлены капиллярные наконечники, выполнена плоской, вертикальной, с уступом в нижней части, а мешалка бака-сборника размещена под уступом, бак- сборник установлен с возможностью

i0901 перемещения в термокамеру, например, с помощью рольганга.

2. Установка по п. 1, о т л ич а ю щ а я с я тем, что диаметр капиллярных наконечников равен

1,5 - 2 мм.

3. Установка по пп. 1,2, о т л ич а ю щ а я с я тем, что капиллярные наконечники установлены с воэможностью изменения расстояния до плоской стенки в интервале 10-15 мм.

4. Установка no nn. " 3,.а т л ич а ю щ а я с я тем, что верхний капиллярный наконечник наклонен К го ризонтали под углом 20-25,, нижний

«под углом 10-15

5. Установка по и. 1, о т л и." ч а ю щ а я с я тем, что уступ каме ры смешения расположен по отношению к плоской стенке под углом 90-105 и

25 составляет 5-б мм.

1578901

4 и@ 2

Фиг Х

Составитель Т. Круглова

Техред M.Õoäàík÷ Корректор М. Кучерявая

Рглактор M. )3окарева

Тираж Подпн ное й1!! ЛНП1 Госуларствввн го комитета по иэобретениям ц открытиям при ГКНТ СЧСР

113035, Мссква, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Прои:3Bt дствеино-иэдатевьс кий комбинат "Патент", г. Ужгород, ул. Гагарина, 101