Кассета для межоперационного хранения пластинчатых изделий

 

Изобретение касается транспортировки пластинчатых изделии электронной техники и может быть использовано, в частности, в транспортировке особо чистых пластин. Целью изобретения является повышение качества упаковки за счет предотвращения загрязнения поверхности изделий. Кассета содержит крышку 6, ,оопус 1 с коническим бП дном, заполненным инертной жидкостью 3, и снабжена мембраной 4 и по меньшей мере одной дополнительной со сквозным отверстием в центральной части 9, установленной выпуклой мембраной в корпус 1, кассеты, а мембрана выполнена выпуклой с коническим дном и установлена выпуклой стороной в крышку 6. Кассета может быть снабжена дополнительно переходным модулем 12, имеющим две чашеобразные поверхности 13, 14, и две воронкообразные мембраны 15, 18. Крышка 6 может быть выполнена с чашеобразной поверхностью, обращенной к выпуклой мембране, в которой может быть выполнено сквозное отверстие центральной части. Мембрана можег быть жестко закреплена в крышке 6 с образованием герметичной полости для инертной жидкости. 4 з.п. ф-лы, 5 ил. С с

СОЮЗ COBETCYl X

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (я)s В 65 D 81/22 ?1/02

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОбРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛ6СТВУ

19

12

Ц

1б

Фиг. 2 (21) 4456201/13, 4456222/13 (22) 06.07.88 (46) 23,01.91. Бюл, ¹ 3 (71) Воронежский политехнический институт (72) И.В. Кириченко (53) 621.869(088.8) (56) Патент США ¹ 3552548, кл. В 65 D 21/02, 1971. (54) КАССЕТАДЛЯ МЕЖОПЕРАЦИОННОГО

ХРАНЕНИЯ ПЛАСТИНЧА ГЬ!Х ИЗДЕЛИЙ (57) Изобретение касается транспортировки пластинчатых изделий электронной техники и может быть использовано, в частности, в транспортировке особо чистых пластин.

Целью изобретения является повышение качества упаковки за счет предотвращения загрязнения поверхности изделий. Кассета содержит крышку 6,

5 Z7

„„5U„„1622230 А1 дном, заполненным инертной.кидкостью 3, и снабжена мембраной 4 и по меньшей мере одной дополнительной со сквозным отверстием в центральной части 9,установленной выпуклой мембраной в корпус 1, кассеты, а мембрана выполнена выпуклой с коническим дном и установлена выпуклой стороной в крышку 6. Кассета может быть снабжена дополнительно переходным модулем 12, имеющим две чашеобраэные поверхности 13, 14, и две воронкообразные мембраны 15, 10. Крышка 6 может быть выполнена с чашеобразной поверхностью, обращенной к выпуклой мембране, в которой может быть выполнено сквозное отверстие центральной части. Мембрана может быть жестко закреплена в крышке 6 с образованием герметичной полости для инертной жидкости. 4 з.п. 4-лы, 5 ил.

1622230

Изобретение относится к транспортировке пластинчатых изделий электронной техники, в частности к транспортировке особо чистых пластин, интегральных микросхем и траспортировки их в кассетах.

Цель изобретения — повышение качества упаковки эа счет предотвращения загрязнения поверхности пластинчатых изделий.

На фиг.1 показана кассета для межоперационного хранения и транспортировки пластинчатых изделий, общий вид, поперечный разрез; на фиг,2 — многоместная кассета, общий вид, поперечный разрез; на фиг.3— варианты закрепления пластинчатых изделий; на фиг.4 — вариант крепления пластины с профильной кромкой; на фиг.5 — вариант кассеты с вогнутыми мембранами.

Кассета содержит корпус 1 с коническим дном 2, заполненным инертной жидкостью 3, выпуклую мембрану 4, в которой может быть выполнено отверстие 5, соединенную с корпусом 1 широкой частью крышку 6 с -.ашеобраэной поверхностью 7 и герметично соединенную с крышкой дополнительну1о мембрану 0 с отверстием 9 е центральной час и. Герметическая полость может быть образована внешней поверхностью мембраны и поверхностью крышки, в полости находится инертная жидкость 10, Пластина 11 укладывается на нижнюю мембрану и закрывается крышкой 6 с помощью сопряженных цилиндрических поверхностей. Выпуклая мембрана 4 выполнена с коническим днп.1 и установлена выпуклой стороной в крышку 6, а дополнительная мембрана 0 стэновлена выпуклой стороной е,орп <с кассеты. Мембраны 4 и

8 изготэелиеэ>от из инертных по отношению к пластине 11 материалов, например фто ропласта, полипропилена, винилпласта и др. В качестве инертной жидкости могут быть использованы кэк простые жидкие вещества, тэк и р:и теоры, обладающие хорошей смачиеаемостью и адгезией с пылевидньми >эстицэ 1и и одновременно инертными по оã-,>.oøåíèþ к пластине. К таким жидкостям могут быть отнесены, например, вода и водные растворы спиртов.

Кассета меже г быть оснащена переходным модулем 12, .стэновленным между корпусом 1 и крышкой 6 с помощью соответству>ощих посадочных мест. Переходный модуль может иметь две нижнюю

13 и верхнюю 14 чашеобразные поверхности и оснащен двумя воронкообразными мембранами. B нижней части модуля закреплена воронкообразная мембрана 15, образующая с чашеобоазной поверхностью

13 кольцевую герметичную полость 16, в которую введена инертная жидкость 17, B

55 верхней части переходного модуля закреплена мембрана 18, образующая с поверхностью 14 кольцевую герметичную полость

19, в которую введена инертная жйдкость

20. Крышка 6 может быть выполнена с чашеобраэной поверхн >стью 21.

При необходимости размещения большего количества особочистых пластин на переходной модуль 12 устанавливается друг на друга такое количество аналогичных модулей, которое позволяет загрузить в кассету всю партию пластин. Пластина, расположенная в верхнем модуле, закрывается крышкой 6 с мембраной 8. Выгрузка пластин из многоместной кассеты осуществляется снятием крышки и переходных модулей, которые могут быть пронумерованы для автоматической загрузки и выгрузки, например, с помощью робота.

Пластины могут быть закреплены как с прямоугольной, так и с профильной кромками.

Загрязнения тем больше, чем больше разница в твердости материалов диафрагм и пластины и чем больше удельные давления в местах контакта. Уменьшение удельного давления на пластину достигается увеличением контактной площади поверхностей.

Концентрация инертной жидкости в центральной части корпуса 1 и ламинарное движение жидкости по чашеобраэной поверхности обеспечиваются при наклонах кассеты по время транспортировки пластины 11. Конструкция мембраны 4 и дополнительной мембраны 8 выбирается исходя их условий транспортировки, требований по скорости и степени очистки атмосферы внутри кассеты, требования герметичности в местах соединения ее с корпусом 1 и крышкой 6, а также исходя из формы пластины 11, которая может быть круглой, например кремниевая подложка, квадратной или ,>рямоугольной, например стеклянный фотошаблон и др. Чем хуже условия транспортировки, чем больше угол наклона кассет при транспортировке, тем меньше должен быть угол раскрытия воронкообразных мембран.

Требования по скорости и степени очистки внутренней атмосферы определяют размеры сквозных отверстий 5 и 9 в мембранах 4 и 8. Чем больше размеры отверстий, тем быстрее очищается атмосфера кассеты от пылевидных частиц, находящихся в объеме кассеты. Однако увеличение отверстия е мембране одновременно увеличивает вероятность попадания частиц, капель инертной жидкости на поверхность особочистой пластины, что не всегда допустимо. Требование обеспечения герметичности в местах соединения мембран 4 и 8 с корпусом 1 и крышкой 6 выполняется чисто, например

1622230

55 плотной или прессовой посадкой, резьбовым или байонетным соединением и др.

Из всего многообразия форм воронкообразных мембран, удовлетворяющих перечисленным условиям, наиболее эффективны усеченный конус и полусфера. Для квадратных пластин возможна мембрана в виде усеченной пирамиды. Однако наличие углов, даже закругленных ухудшает аэродинамические свойства герметичных полостей и снижает эффективность очистки атмосферы.

Мембраны 4 и 8 могут быть выполнены в виде усеченных конусов. Мембраны могут быть жестко установлены в корпусе, однако такая конструкция значительно затрудняет отмывку кассеты, смену жидкости и снижает производительность труда. Поэтому наиболее эффективной является свободная посадка мембран в свои посадочные гнезда. В качестве индиферентной жидкости могут быть использованы жидкие простые и сложные вещества и их растворы, имеющие хорошие смачивающие свойства по отношению к пылевидным частицам, сравнительно невысокую упругость паров, высокую степень чистоты, равную или превышающую степень чистоты материала хранимой пластины.

Перед началом эксплуатации кассета разбирается на детали и тщательно отмывается от загрязнений пленочных и пылевидных, вклю ая очистку поверхностей от примесей на молекулярном и атомарном уровне путем кипячения деталей последовательно в перекисно-аммиачном и перекисно-кислотном растворах. После отмывки и сушки на коническое дно корпуса вводиться пипеткой дозированное количество индифферентной жидкости. Дозировка определяется предварительно по перекрытию края жидкости окна отверстия 5 в мембране 4.

При этом жидкость не должна касаться мембраны как в спокойном положении, так и при небольших наклонах, возможных во время межоперационной внутрицеховой транспортировки.

После введения жидкости 3 в корпус 1 пинцетом устанавливается мембрана 4 выпуклой стороной к жидкости 3, На мембрану укладывается пластина 11, например кремниевая, рабочей поверхностью вниз, а на пластину — мембранэ 8, Если пластина одна, то кассету закрывают крышкой 6 и ставят в пылезащитный шкаф до начала следующей технологической операции. При наличии партии пластин на корпус 1 устанавливают модуль 12 и повторяют загрузку его точно в такой же последовательности, как для первой пластины. Операции повторяют до зэгрузки последней пластины и закрывают кассету крышкой. Далее кассета с партией пластин транспортируется для межоперационного хранения или прямо на следующую операцию.

Эффективность кассеты заключается в том, что рабочая поверхность особочистой пластины замыкается объемом атмосферы кассеты, ограниченным вогнутой поверхностью мембраны, со всеми попавшими в него пылевидными частицами. Наличие окна в мембране, выходящего на зеркало жидкос,ãè, призодит к тому, что пылевидные частицы после миграции в замкнутом обьеме улавливаются зеркалом жидкости и постоянно удерживаются ею. Замкнутый объем при этом очищается. Даже имевшиеся на поверхности пластины пылевидные частицы после хранения улавливаются жидкостью — наблюдается дополнительная очистка рабочей поверхности пластины.

Кассета может быть использована до тех пор, пока поверхность жидкости и весь ее объем достигнут состояния насыщения, Таким образом, отмывку кассеты можно производить после хранения большого количества пластин, Формула изобретения

1. Кассета для межоперационного хранения пластинчатых изделий, содержащая корпус с коническим дном, крышку и мембрану, отличающаяся тем, что, с целью повышения качества упаковки за счет предотвращения загрязнений паверхности изделий, мембрана выполнена выпуклой с коническим дном и установлена выпуклой стороной в крышку, при этом кассета снабжена по меньшей мере одной дополнительной выпуклой мембраной с отверстием, в центральной части, установленной выпуклой стороной в корпусе кассеты, причем дно корпуса выполнено коническим и оно заполнено инертной жидкостью.

2. Кассета по п.1, отличающаяся тем, что она снабжена дополнительно переходным модулем, имеющим две чашеобразные поверхности и оснащенным двумя воронкообразными мембранами, 3. Кассета по п.1, о т л и ч э ю щ а я с я тем, что крышка выполнена с чашеобразной поверхностью, обращенной к выпуклой поверхности мембраны.

4, Кассета по п.1, отличающаяся тем, что в мембране выполнено сквозное отверстие в центральной части.

5. Кассета поп,1,отлича юща я с я тем, что, мембрана жестко закреплена в крышке с образованием герметичной полости для инертной жидкости.

Фиа l

Фиг. ю

1622230!

Фиг. 4

Составитель Н.Кирилова

Техред М,Моргентал Корректор Т,Малец

Редактор Л.Зайцева

Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, ул.Гагарина, 101

Заказ 80 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5