Устройство для односторонней доводки плоских поверхностей деталей

 

Изобретение относится к абразивной обработке и может быть использовано для доводки пластин из полупроводниковых материалов . Целью изобретения является расширение технологических возможностей устройства . Оно содержит доводочный диск, держатель, выполненный в виде идентичных секторов 6, шарнирно закрепленных на оси его вращения и между собой, механизм прижима, выполненный в виде попарно встроенных в сектора П-образных электромагнитов 8 и 9, расположенных по концентричным относительно оси вращения держателя окружностям, причем полюса электроматнитов направлены перпендикулярно рабочей поверхности доводочного диска. Устройство позволяет получить обрабатываемые пластины с высокой точностью. 3 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (я)з В 24 В 37/04

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4669668/08 (22) 30.03.89 (46) 07.03.91, Бюл. М 9 (71) Ульяновский политехнический институт (72) Л. В. Худобин, В. Г. Ромашкин и Ю. А.

Солдатенков (53) 621.923.5 (088,8) (56) Авторское свидетельство СССР

1Ф 743850, кл, В 24 В 37/04, 1980, (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОДНОСТОРОННЕЙ

ДОВОДКИ ПЛОСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ ДЕТАЛЕЙ (57) Изобретение относится к абразивной обработке и может быть использовано для доводки пластин из полупроводниковых ма„„. АЗ. „„1632745 А1 териалов, Целью изобретения является расширение технологических воэможностей устройства. Оно содержит доводочный диск, держатель, выполненный в виде идентичных секторов 6, шарнирно закрепленных на оси его вращения и между собой, механизм прижима, выполненный в виде попарно встроенных в сектора П-образных электромагнитов 8 и 9, расположенных по концентричным относительно оси вращения держателя окружностям, причем полюса электроматнитов направлены перпендикулярно рабочей поверхности доводочного диска. Устройство позволяет получить обрабатываемые пластины с высокой точностью. 3 ил.

1632745

Изобретение относится к оборудованию для абразивной обработки деталей типа пластин из неметаллических материалов и может быть использовано для доводки плоских поверхностей деталей из полупроводниковых материалов.

Целью изобретения является расширение технологических возможностей устройства за счет обработки различных по толщине и диаметру деталей. .На фиг. 1 изображено устройство, разрез; на фиг, 2 — то же, вид сверху; на фиг, 3— разрез А — А на фиг, 2.

Устройство имеет доводочный диск 1, закрепленный на валу 2 вращения, Над диском 1 размещен держатель 3, предназначенный для удержания обрабатываемых заготовок (пластин) и установленный шарнирно на валу 4 вращения, параллельном валу 2 вращения, посредством стакана 5.

Держатель 3 выполнен в виде диска, разделенного на четыре идентичных сектора 6, шарнирно закрепленных на валу 4 и соединенных друг с другом с возможностью поворота в радиальном направлении с помощью шаровых соединений 7. Механизм прижима держателя к доводочному диску выполнен в виде попарно встроенных в сектора 6 П-образных электромагнитов 8 и 9, расположенных по двум концентричным относительно оси вращения держателя 3 окружностям, Полюса 10 электромагнитов направлены перпендикулярно рабочей поверхности доводочного диска 1, Вал 2 вращения доводочного диска 1 и вал 4 вращения держателя 3 снабжены индивидуальными приводами и установлены на станине (не показано).

Устройство работает следующим образом.

Обрабатываемые заготовки 11, например полупроводниковые пластины, с помощью приклеивания, оптического контакта или вакуумной фиксации (не показано) закрепляются на рабочей поверхности держателя 3. На электромагниты 8 подается постоянный ток, Возникает магнитный поток между разноименными полюсами 10 электромагнита, который проходит через воздушный зазор между доводочным диском 1 и полюсом N, по самому доводочному диску 1 и через воздушный зазор между полюсом S и доводочным . диском 1. Сектора 6 держателя 3 опускаются под действием силы притяжения электромагнитов 8 до соприкосновения обрабатываемых поверхностей заготовок

11 с рабочей поверхностью доводочного диска 1, После этого доводочному диску 1 и держателю 3 сообщается вращательное движение от индивйдуальных приводов, а в

55 рабочую зону подается абразивная суспензия.

Для получения заданной точности обработки создают перепад давления на обрабатываемой заготовке 11 в радиальном направлении держателя 3 и тем самым обеспечивает различное давление на поверхности обрабатываемой заготовки 11, компенсируя разницу линейных скоростей на заготовке в радиальном направлении держателя. Это обеспечивается созданием заданной разности сил притязания, развиваемых электромагнитами 8 и 9, путем подачи на них различного напряжения. Разность сил притяжения (прижима) секторов 6 держателя 3 и доводочного диска 1 передается на заготовку 11, так как сектора 6 шарнирно закреплены на валу 4 с возможностью осевого перемещения и соединеныы друг с другом шаровыми соединениями 7 с зазорами, что создает возможность поворота в радиальном направлении. Благодаря этому достигается универсальность устройства, так как можно изготавливать пластины с параллельными сторонами (без клиновидности) или с заданным углом клина.

Преимущества предлагаемого устройства перед известным заключается в следу.ющем. Во-первых, благодаря тому, что на каждом секторе держателя (с закрепленной заготовкой) можно регулировать перепад давления на пластину независимо от других секторов, возможна параллельная обработка различных по толщине и диаметру заготовок, чем достигается расширение технологических возможностей устройства (возможно применение индивидуальной обработки пластин, сводящей к минимуму рассеяние размеров обработанных деталей по толщине, исключается влияние разброса размеров толщины исходных заготовок в партии на отклонение от параллельности о сторон обработанных пластин), Во-вторых, . устройство имеет более простую конструкцию, так как механизм прижима, выполненный в виде электромагнитов, встроен в держатель, отсутствуют упругие быстроизнашивающиеся элементы (диафрагма), исключена трущаяся прецизионная пара (диск механизма прижима, закрепленный шарнирно на валу держателя); в механизме прижима применен более удобный в управлении, простой и стабильный в эксплуатации электропривод (вместо пневмопривода), В-третьих, в процессе работы усилие прижима не передается на доводочный диск, а следовательно, и на станину. Это объясняется замыканием сил прижима (притяжения), создаваемых при обработке заго1632745 товки между держателем и доводочным диском.

Формула изобретения

Устройство для односторонней доводки плоских поверхностей деталей, содержа- 5 щее доводочный диск, держатель детали, выполненный в виде идентичных секторов, шарнирно. закрепленных на оси его вращения с возможностью осевого перемещения и соединенных друг с другом с возможно- 10 стью поворота в радиальном направлении. механизм прижима, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью расширения технологических возможностей за счет обработки различных по толщине и диаметру деталей. механизм прижима выполнен в виде попарно встроенных в сектора П-образных электромагнитов, расположенных на пересечении радиусов, проходящих через середины секторов, и концентрических относительно оси вращения держателя окружностей, причем полюса злектромагнитов направлены перпендикулярно рабочей поверхности доводоч-

НОГО диска.

Составигель Б.Камка

Редактор В.Бугренкова Техред М.Моргентал Корректор Н,Ревская

Закаэ 585 Тираж 459 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035. Москва. Ж-35, Раушская наб., 4/5

Проиэводственно-иэдательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101