Стекло

 

Изобретение относится к технологии силикатов, к производству кристаллизующегося бариевого алюмоборосиликатного стекла, предназначенного для использования в микроэлектронике в качестве ситаллоцемента для межслойной изоляции толстопленочных микросхем. С целью повышения кристаллизационной способности и температуры размягчения, улучшения водоустойчивости стекло включает следующие компоненты, мас.%: SIO<SB POS="POST">2</SB> 5,0 - 12,0

B<SB POS="POST">2</SB>O<SB POS="POST">3</SB> 30,0 - 34,0

AL<SB POS="POST">2</SB>O<SB POS="POST">3</SB> 18,0 - 20,0

BAO 27,0 - 31,0

IN<SB POS="POST">2</SB>O<SB POS="POST">3</SB> 4,0 - 5,0

TIO<SB POS="POST">2</SB> 5,0 - 8,0. Стекло кристаллизуется в интервале температур 750 - 900°С, имеет температуру размягчения 620 ± 10°С, водоустойчивость 99,0 - 99,5%. 1 табл.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (s()s С 03 С 3/064, 10/00 (ОСУЛАРСТВЕННЫ11 КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИ4ЕТЕЛЬСТВУ,0 (с, сС)

С)0

С)0

С) (21) 4740959/33 (22) 27.07.89 (46) 15.08.91. Бюл. ¹ 30 (71) Белорусский политехнический институт (72) И.К.Немкович, Н.М.Миронович, Н.Н.Колосова и Т.Ф.Зобова (53) 666.112.93(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

¹ 1180360, кл. С 03 С 3/064, 1983.

Авторское свидетельство СССР

M 1036695, кл. С 03 С 3/064, 1982. (54) СТЕКЛО (57) Изобретение относится к технологии силикатов, к производству кристаллизующегося бариевого алюмоборосиликатного

Изобретение относится к технологии силикатов, к производству кристаллизирующегося бариевого алюмоборосиликатного стекла, предназначенного для использования в микроэлектронике в качестве ситаллоцемента для межслойной изоляции толстопленочных микросхем.

Цель изобретения — повышение кристаллизационной способности и температуры размягчения, улучшение водоустойчивости стекла.

Синтез стекол осуществляют в газовой или электрической печи при 1300 «-20 С.

При укаэанном режиме стекло хорошо варится и осветляется и может быть использовано для изготовления различных иэделий технического назначения методами отливки, прессования и изготовления гранулята, При выработке стекло не кристаллизуется.

Конкретные составы стекла и их свойства приведены в таблице.

Использование данного стекла в толстопленочной микроэлектронике для межслойной изоляции толстопленочных элементов

„„Я „„1669880 А1 стекла, предназначенного для использования в микроэлектронике в качестве ситаллоцемента для межслойной изоляции толстопленочных микросхем. С целью повышения кристаллизационной способности и температуры размягчения, улучшения водоустойчивости стекло включает следующие компоненты, мас,%: 5 02 5,0 -12,0; В20з

30,0 — 34,0; А120з 18,0 — 20,0; Ва0 27,0-31,0;

In203 4,0 — 5,0; TI02 5,0-8,0. Стекло кристаллизуется в интервале температур 750900 С, имеет температуру размягчения

620«-10 С, водоустойчивость 99,0-99,5%.

1 табл. позволяет получить влагостойкие изоляционные слои с удельным электрическим сопротивлением не ниже 10 OM, tg д =

1 18 . 10, удельной емкостью 160 пФ/см, пробивным напряжением при толщине диэлектрика 45 — 50 мкм выше 600 В. устойчивых к циклическому воздействию температур и электрической нагрузки, что свидетельствует о перспективности использования этого стекла для диэлектрических паст.

Формула иэобрет ия

Стекло, включающее 5102, В Оз, AI20q.

ВаО, In20g, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения кристаллизационнои способности и температуры размягчения, улучшения водоустойчивости, дополнительно содержит TI02 при следующем соотношении компонентов, мас.%:

Si02 5,00-12,00

В203 30,00-34,00

А(20з 18,00-20,00

ВаО 27.00 -31.00 ! п203 4,00-5,00

Т! 02 5,00-8,00

1669880

Химические составы н основные свюйства стекол

Показатель для стекла состава

Компонент, мас. g,,характеристика

12,0

5,7

8,5

12,0

8i0t

9,0

5,0

Вао

5,0

4,4

5,0

4,0

4,5

SiO

7,О

7,5

8,0

6,5

Ь,S

5,0

ZrOt

620 + 1О 620 + 1О 620 t IO 620 т 10

620 - 10

620 10

S8 t-2

58+ 2

58- 2

58+ 2

58+ 2

58 t 2

Водоустойчивость потери при кипячении, Й

0,8

0,95

1,О

0,50

0,87

0,92

Составитель Г.Буровцева

Редактор М. Самерханова Техред М. Моргентал Корректор О,Кравцова

Заказ 2712 Тираж 300 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 во

А1гоэ

Кристаллнэационная способность (С) и характер кристаллизации в температурном интервале об вига микросхем

Поведение стекол на подловке нэ керамики 22ХС прн 850 С о

Температура размягчения, С

Термический коэффициент линейного расиирення (at э 10 ), град

34,0 Зг,о 31,0 30,0 33>S 31,0 го,о 19,0 18,0 18,5 19,4 18,0

31,0 29,0 28,5 . 30,0 29,5 27,0

600-1000 600-1000 600-1000 600-1000 ЬОО-1000 600-1000

В температурном интервале 750-900 С стекла кристаллиэуются с образованием хоровей мелкокрлсталлнческой структуры н достаточным количеством стеклофазы лля обеспечения растекания и адгеэин эакристаллиэованного матерналл к ппдлояке

Закристаллизованные с хороней растеклемостьа и алгеэней к подлонке покрытия, без трещин.