Способ двусторонней доводки

 

Изобретение относится к абразивной обработке деталей и может быть использовано для двусторонней доводки плоских поверхностей деталей из различных материалов: полупроводников, стекла, кварца, металлов. Цель изобретения - повышение качества поверхности доведенных деталей. При обработке пластин большого диаметра на станках с размерами притиров, ширина дорожки которых соизмерима с диаметром пластин, необходимо управлять положением детали в гнезде сепаратора. Для этого к обоим притирам прикладываются дополнительные крутящие моменты, изменяющиеся по периодическому закону. При этом сдвиг по фазе между ними может изменяться в пределах 0-45°, а амплитуды дополнительных крутящих моментов составляют 5-9% от величины номинальных значений основных крутящих моментов. Величины сдвига по фазе между моментами и их амплитуды выбирают исходя из требований по точности формы, глубине нарушенного слоя и величине припуска на обработку. Использование данного способа доводки позволяет повысить качество обработанных поверхностей деталей за счет снижения колебаний системы нижний притир - деталь-верхний притир и за счет обеспечения необходимого поворота отрабатываемой детали вокруг собственной оси. 1 ил. 1 табл. сл с

союз советских

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (я)з В 24 В 37/04

ГОСУДАРСТВЕННЫИ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

38И6Ю30й) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

В о

Q0 (л) (21) 4672309/08 (22) 06.02.89 (46) 15.10.91. Бюл, ¹ 38 (71) МГТУ им. Н.Э.Баумана (72) П.Н.Орлов, В,Г,Шульга, А.П,Орлов и

Т.А.Хереско (53) 621.923.5 (088,8) (56) Авторское свидетельство СССР по заявке ¹ 4264007, кл, В 24 В 37/04, 29.03.88. (54) СПОСОБ ДВУСТОРОННЕЙ ДОВОДКИ (57) Изобретение относится к абразивной обработке деталей и может быть использовано для двусторонней доводки плоских поверхностей деталей из различных материалов; полупроводников, стекла, кварца, металлов. Цель изобретения — повышение качества поверхности доведенных деталей. При обработке пластин большого диаметра на станках с размерами притиров, ширина дорожки которых соизмерима с диИзобретение относится к абразивной обработке деталей и может быть использовано для двусторонней доводки плоских поверхностей деталей приборов, преимущественно пластин иэ.полупроводниковых материалов, стекла, кристаллов, кварца, металлов притирами с применением закрепленного и незакрепленного абразива.

Целью изобретения является повышение качества поверхности доведенных деталей.

На чертеже представлено устройство, с помощью которого может быть реализован предлагаемый способ.

„„59„„1683998 А1 аметром пластин. необходимо управлять положением детали в гнезде сепаратора.

Для этого к обоим притирам прикладываются дополнительные крутящие моменты. изменяющиеся по периодическому закону.

При этом сдвиг по фазе между ними может изменяться в пределах 0-450, а амплитуды дополнительных крутящих моментов составляют 5-9 от величины номинальных значений основных крутящих моментов. Величины сдвига Ilo фазе между моментами и их амплитуды выбирают исходя из требований по точности формы, глубине нарушенного слоя и величине припуска на обработку. Использование данного способа доводки позволяет повысить качество обработанных поверхностей деталей за счет снижения колебаний системы нижний притир— деталь — верхний притир и за счет обеспечения необходимого поворота отрабатываемой детали вокруг собственной оси. 1 ил, 1 табл.

Устройство содержит притиры 1 и 2. се- 0 паратор 3 с обрабатываемыми деталями 4. Q

При использовании данного способа . ОО двусторонней доводки дополнительные крутящие моменты могут прикладываться как одновременно к двум притирам, так и со сдвигом по фазе одного притира относительно другого. Одновременное синфазное приложение дополнительных крутящих моментов наиболее эффективно в случае, когда необходимо получить высокую плоскопараллельность сторон детали при малом припуске на обработку, так как при этом детали проворачиваются на максимально

1683998

Отношение амплитуды дополнительного крутящего момента к основному крутяем момент, Закон изменения дополнительного крутя щего момента на нижнем притире

Сдвиг по фазе между дополнительными моментами, угл.град

Параметры качества пластин (количество рисок нэ 1 см сколы на краях пластин

Закон изменения дополнительного крутящего момента на верхнем притире

20, сколы на краях пластины

12, отсутствие сколов

10, отсутствие сколов

11, ухудшение плоскопараллельности

c3 до5 мкм

Нет вращения детали и

Пилообразный

Пилообразный и

50 и

16

16 и возможный угол, Смещение по фазе моментов приложения дополнительных крутящих моментов дает возможность плавного перехода от состояния покоя детали в гнезде сепаратора к провороту вокруг собственной 5 оси за счет создания предварительного крутящего момента, действующего на деталь со стороны одного из притиров, способствующего переходу системы нижний притир— деталь — верхний притир в состояние не- 10 устойчивого равновесия (под состоянием неустойчивого равновесия понимается режим полной разгрузки детали от силового воздействия сепаратора).

Последующее приложение дополни- 15 тельного крутящего момента к другому притиру создает дополнительный момент малой величины, действующий на деталь и заставляющий ее.плавно переходить из состояния равновесия к провороту BoKpyr соб- 20 ственной оси. Сдвиг по фазе наиболее эффективен для получения деталей с минимально нарушенным слоем, так как отсутствуют резкие перепады скоростей и ускорений в относительном движении де- 25 таль — притир. Сдвиг по фазе между прикладываемыми дополнительными крутящими моментами более чем на 45 неэффективен, поскольку при этом не наблюдается дальнейшее улучшение качества нарушенного 30 слоя, тогда как угол поворота детали уменьшается.

Предлагаемый способ может быть реализован с помощью устрбйства, содержащего притиры 1 и 2, сепаратор 3 с деталями 35

4, В качестве электродвигателей в приводах притиров используются двигатели постоянного тока. Для приложения к притирам дополнительных крутящих моментов необходимо увеличить напряжение питания на двигателях соответствующим образом, Пример. Пластины монокристаллического кремния диаметром 150 мм и толщиной 0,8 мм закладывают в сепаратор 3, установленный на стенке между притирами

1 и 2. Притирам и сепаратору задают вращение с постоянными угловыми скоростями.

После выхода этих звеньев на номинальные режимы работы к обоим притирам прикладывают дополнительные крутящие моменты, изменяющиеся по периодическому закону, в одной фазе путем изменения на электродвигателях постоянного тока питающего напряжения соответствующим образом, Результаты эксперимента приведены в таблице.

Формула изобретения

Способ двусторонней доводки, при котором детали размещают в сепараторе между притирами и сообщают притирам и сепаратору относительные перемещения под действием основных крутящих моментов, а к одному из притиров прикладывают дополнительный крутящий момент, изменяющийся по периодическому закону, о т л ич а ю шийся тем, что, с целью повышения качества обрабатываемь|х поверхностей деталей, дополнительный крутящий момент прикладывают также и к второму притиру при этом сдвиг по фазе между дополнитель ными крутящими моментами назначают в пределах 0-45О, а их амплитуды выбирают в пределах 5-9% от величин номинальных значений основных крутящих моментов.

1683998

Продолжение таблицы

Елр

Составитель Б.Камка

Техред М.Моргентал Корректор Н,Король

Редактор С.Лисина

Заказ 3469 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул,Гагарина, 101