Способ приготовления тест-объекта для растрового электронного микроскопа

 

Изобретение относится к технологии приготовления тест-объектов (ТО) для электронной микроскопии. Целью изобретения является расширение функциональных возможностей ТО за счет создания на его поверхности регулярно расположенных шарообразных частиц. Изготавливают дифракционную решетку с несимметричным треугольным профилем зуба. На малые грани зубьев напыляют слой оттеняющего тугоплавкого металла. Далее напыляют углеродную пленку, на часть которой, покрывающую малые грани зубьев5 осаждают огтровковую пленку золота. Отделенную реплику нагревают до температуры плавпения золота с последующим охлаждением со скоростью не менее ЮОО°С/мин. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИИ (Zll)q С 01 И 1/28

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 4663706/21 (22) 20.03.89 (46) 30.10.91. Бюл. Ф 40 (71) Сумское производственное объединение "Электрон" (72) В.Y. Северин,.А.М. Климовицкий, Б,В.,rrerrrr«r, Л.N. Морозова и Н.А.Власенко (53) 621.385.833(088,8) (56) Невзорова Л,Н. и Фаворская Л.П.

Тест-объекты для растровых электронных микроскопов. Известия АН СССР, сер. Физич„, 1980, т. 44, Р б, с. 1152,, Авторское свидетельство СССР

Р 1272160, кл. G 01 И 1/20, 1985. (54) СПОСОБ ПРИГОТОВЛЕНИЯ ТЕСТ-ОБЪЕКТА

ДЛЯ РАСТРОВОГО ЭЛЕКТРОННОГО МИКРОСКОПА

Изобретение относится к технологии приготовления тест-объектов для электронной микроскопии.

Целью изобретения является расширение функциональньгх возможностей тест-объекта за счет создания на его поверхности регулярно расположенных шароообразных частиц, На чертеже показана схема образования тест-объекта.

На чертеже показаны дифракционная решетка 1, вспомогательный слой 2, слой 3 оттеняющего металла, углеродная пленка 4, островковая пленка 5 золота.

Сущность способа заключается в следующем.

Изготавливают дифракционную решетку с несимметричным треугольным про-.

ÄÄSUÄÄ 1688155 А I

2 (57) Изобретение относится к технологии приготовления тест-объектов (ТО) для электронной микроскопии, Целью изобретения является расширение функциональных возможностей ТО за счет создания на его поверхности регулярно расположенных шарообразных частиц °

Изготавливают дифракционную решетку с несимметричным треугольным профилем зуба. На малые грани зубьев напыляют слой оттеняющего тугоплавкого металла.

Да ree папыляют углеродную пленку, на

-асть которой, покрывающую малые грани зубьев, осаждают островковую пленку золота, Отделенную реплику нагревают до температуры плавления золота а

Ю с последующим охлаждением со скоростью не менее 1000 С/мин. 1 ил. с филем зуба„ На малые грани зубьев напыляют слой оттеняюшего тугоплавкого металла. Затем на поверхность решетки напыляют углеродную пленку, на часть которой, покрывающую малые грани зубьев,. осаждают островковую пленку ".îëîòà. Далее отделяют реплику ® от поверхности решетки и осуществляют ©Ч ее нагрев до температуры плавления (Д ,золота с последующим охлаждением со о скоростью не менее 1000 С!мин.

В результате на оттененных участках реплики в виде штрихов формируют-,Ь» ся шарообразные частицы золота. Темпе- д, ратура нагрева для плавления пленки золота составляет порядка 2/3 табличного значения температуры плавления золота как вещества. Ограничение на скорость охлаждения обусловлено тем, 168815э

Гпособ приготовления тест-объекта золота и последующее охлаждение со скоростью Hp менее 1000 С/мин, Составитель f>. Гаврюшин

Редактор Т. Лошкарев» Техрец М,Дндьп Корректор Л. Пилипенко

Заказ 3705 Тираж Подписное

БНИИПИ Гос ударственного комитета но изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

11303„ Москва, Ж-35, Раушская наб., ц. й/5

Производственно-изда"-льский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина,101 ч гo при медленном охлаждении затвердевающие частицы золота приобрp I àIEEò ð1.знообразнунз огранку, не позволяющую использовать их н качестве элемента

) тест-объекта.

Пример, Па пог;ерхность дийракцнонной решетки предварительно напилялн пленку хлористо 0 натрия толщиной до 10 нм. Затем на малую грань зуба Ið решетки напыляцФ слой хрома толщиной 15 нм и палее на г:сю поверхность решетки нап лляли углероцную пленку толщиной 20-4МГ. На участки поверхностн этой пленки, покрывающей малые гра- 5 ни зубьев, осаждали остронковую пленку золота толщиной 10...12 нм. Полученную реплику Отделяли -, дистиллированной гзоде. 11роцесс отделения облегчал— ся за счет предварительно напыленного 0

Cè слоя хлористого натрия, л(гкорастворймого н воде . ВылрвлеиH>1n на предмет ную сетку реплику помещалн в вакуумную печь и нагревали до т"мпературы о, 850 (;, после чего охпаждали со ско- 25 ростью 1000 C/ìèí.

Получаемый тест-объект может быть использован не только цля растровых, EIý и для просBå÷EIíàI0ùèõ элеKòðонньIx микроскопов. Получение регулярно рас- 30 положеннь!х шарикoB золОта позБОляет контролировагь пра)зильность построе— ния изображения в направлении строки и кадра, исключает необходимость корректировки масштабных искажений изображения при наклонах образца и одновременно облапает высоким контрастом из за различных эмиссионньгх свОйств выбираемых материалов, 1

Формула изобретения для растрового электронного микроскопа, включающий изготовление диАракционной решетки, напыление на ее поверхпосл углеродной пленки и отделение реплики„ и т л и ч а ю шийся тем, что, с целью расширения тункциональных возможностей тест-объекта за счет со:здания на его поверхности регулярно расположенных шарообразных частиц, диф>ракционную решетку II..зготавливают с E.åpèììåòðè IHûì треугольным профилем зуба, при этом перед напылением углеродной пленки на малые грани зубьев напыпяют слой оттеняющего тугоплавкого металла, после напыления углеродной пленки на часть ее поверхности, покрывающей малые грани зубьев, осаждают О тровковую пленку золота а после отделения реплики осуществляют ее нагрев до температуры плавления