Способ приготовления тест-объекта в виде штриховой меры для градуировки увеличения электронных микроскопов

 

Изобретение относится к технологии приготовления тест-объектов в виде штриховой меры с дифракционных решеток (ДР) и может быть использовано для градуировки увеличения электронных микроскопов. Целью изобретения является повышение качества и метрологических характеристик тест-объекта за счет стабилизации периодической структуры и выравнивания геометрии профиля штрихов на реплике, снимаемой с поверхности ДР. Перед напылением на поверхность ДР слоя углерода для образования реплики предварительно напыляют слой вспомогательного растворимого в воде вещества от точечного источника под углом, близким к углу φ между перпендикуляром к поверхности ДР и меньшей гранью зуба. Это обеспечивается расположением точечного источника на перпендикуляре к краю ДР со стороны большей грани зуба на расстоянии от плоскости ДР, равном ATGφ, где A - поперечная к зубьям длина ДР. Напыление вспомогательного вещества под определенным углом позволяет сгладить микронеровности кромки зуба, а его растворимость в воде облегчает отделение реплики и стабильность ее геометрических размеров. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСЧИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН (g1)g G 01 N 1/28

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А ВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТТНРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 4621972/ 24-21 (22) 20.12,88 (46) 07.10.90. Бюл. Ы 37 (71) Сумское производственное объединение "Электрон" (72) В.М,Северин, A.N.Климовицкий, В, В. Календин, Л.M.Ìîðoçoâà и В.П. Гурина (53) 621, 385 (088. 8) (56) Методика электронной микроскопии. /Под ред. Г.Шиммеля. М.: Мир, с. 119-122.

Авторское свидетельство СССР

У 1272160, кл. G 01 N 1/28, 1986. (54) СПОСОБ ПРИГОТОВЛЕНИЯ ТЕСТ-ОБЪЕК"

ТА В ВИДЕ ШТРИХОВОЙ МЕРЫ ДЛЯ ГРАДУИРОВКИ УВЕЛИЧЕНИЯ ЭЛЕКТРОННЫХ МИКРОСКОПОВ (57) Изобретение относится к технологии приготовления тест-объектов в виде штриховой меры с дифракционных решеток (ДР) и может быть использовано для градуировки увеличения электронных микроскопов. Целью иэобИзобретение относится к технологии приготовления тест-объектов в электронной микроскопии и может быть использовано для градуировки увеличения электронных микроскопов.

Целью изобретения является повьппение качества и метрологических характеристик тест-обьекта за счет стабилизации периодической структуры и выравнивания геометрии профиля штрихов на реплике, снимаемой с поверхности дифракционной решетки.

„BU пп7668 А 1 ретения является повьппение качества и метрологических характеристик тестобъекта эа счет стабилизации периоди-, ческой структуры и выравнивания геометрии профиля штрихов на реплике, снимаемой с поверхности ДР. Перед напылением на поверхность ДР слоя углерода для образования реплики предварительно напыляют слой вспомогательного растворимого в воде вещества от точечного источника под углом, близким к углу между перпендикуляром к поверхности ДР и меньшей гр"-нью зуба. Это обеспечивается расположением,точечного источника на перпендикуляре к краю ДР со стороны большей грани зуба на расстоянии от плоскости ДР, равном а ° ctgcp, где а— поперечная к зубьям длина ДР. Напыление вспомогательного вещества под определенным углом позволяет сгладить микронеровности кромки зуба, а его растворимость в воде облегчает отделение реплики и стабильность ее, геометрических размеров. 1 ил.

На чертеже показана дифракционная решетка, поперечный разрез.

На перпендикуляре 2 к поверхности дифракционной решетки 1 расположен точечный источник испарения, Поперечная к зубьям длина дифракционной решетки 1 обозначена а, острый угол между перпендикуляром к поверхности решетки и меньшей гранью 3 зуба - (.

Перпендикуляр 2 восстановлен к краю решетки со стороны большей грани эуб а.

1597669

Сущность способа заключается в том, что перед напылением на поверхность дифракционной решетки слоя углерода для образования реплики, предварительно напыляют слой вспомогательного растворимого в воде вешества от точечного источника испарения под углом, близким к углу, Это обеспечивается определенным расположением точечного источника, установленного на расстоянии от поверхности решетки, равном 1 = à . Otgp.

При этом на меньшей грани зуба, на которую впоследствии наносится оттеняющий слой, обуславливающий качество и периодичность структуры, происходит с=лаживание рельефа и микронеровностей кромки зуба, вызванных механическими деформациями О и повреждениями в процессе нарезания зуба на поверхности стекла.Одновременно нанесенный промежуточный слой исключает искажение периодичности, связанное с механическими дефор- 25 мациями реплики в процессе ее отделенияя.

Пример. На очищенную дифракционную решетку из точечного источЗО ника испарения-напыляют слой хлористого натрия толщиной до 10 нм, При этом испаритель размещается на перпендикуляре к краю решетки со стороны большей грани зуба (грани,противоположной той, на которую наносится оттеняющий слой).

После этого-на сформированный подслой напыляют слой углерода толщиб . HoA 1 5 HK HB KoTop jlo lloyd, углом 5 к плоскости решетки со стороны мень40 шей грани напыляют слой триокиси вольфрама толщиной 30-40 нм. Дифракционную решетку с нанесенными слоями медленно опускают под углом

300 в сосуд с дистиллированной водой до полного отслоения реплики в результате растворения вспомогательного вещества. Полученную реплику вылавливают на электролитическую сетку, высушивают в наклонном состоя- 5О нии и затем выреза от специальным пробойником тест-объект требуемой конфигурации. Полученный тест-объект устанавливают в держатель образца электронного микроскопа и, выводя последний на рабочий режим, получают сфокусированное изображение штрихов полученной реплики.

Получаемые тест-объекты имеют достаточно ровные кромки штрихов и хорошо воспроизводят метрологические характеристики дифракционной решетки. При этом значительно упрощается отделение реплики от поверхности решетки и сокращается время на ее приготовление, Формула и з о б р е т е н и я

Способ приготовления тест-объектав виде штриховой меры для градуировки увеличения электронных микроскопов, включающий подготовку поверхности стеклянной дифракционной решетки. с несимметричным треугольным профилем зуба, напыление на поверхность дифракционной решетки слЬя углерода и последующее отделение реплики, о тл и ч а ю шийся тем, что, с целью повышения качества и метрологических характеристик тест-объекта за счет стабилизации периодической структуры и выравнивания геометрии профиля штрихов на реплике, подготовку поверхности дифракционной решетки осуществляют путем напыления на нее слоя вспомогательного растворимого в воде вещества от точечного источника испарения, расположенного на перпендикуляре к краю решетки со стороны большей грани зуба на расстоянии 1 от плоскости решетки, равном

1 а ° ctg+ где а — поперечная к зубьям длина дифракционной решетки; — острый угол между перпендикуляром к поверхности решетки и меньшей гранью зуба.

1597669

Составитель В. Гаврюшин

Редактор А. Шандор Техред М. Ходанич Корректор О. Пипле

Заказ 3046 Тираж 498 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открьггиям при ГКНТ СЧСР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул. Гагарина, fOf