Способ фиксирования образцов при исследованиях в растровом электронном микроскопе
Изобретение позволяет снизить вероятность загрязнения исследуемой поверхности образца. Для этого слой клеевого состава высушивают после нанесения его на объектодержатель. Затем на высушенную поверхность устанавливают образец и парами растворителя размягчают клеевой состав.
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК
1 А1
ГО УДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ
ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ
ПР ГКНТ СССР
Р .-.гь . !» .;:. " .»6; ",I
К ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21 (22 (46 (71 ни (72 (53 (56 ро ро кл сир по ско кд вер вер раз ва
"Су ним сос ив обр сло ное сле так дая обь раз
4446220/31-25
22.06.88
23.11.90, Бюл, ¹ 43
Коми научный центр Уральского отделеАН СССР
В.Н.Филиппов
620.187(088,8)
Гоулдстейн Дж. и др, Растровая электная микроскопия и рентгеновский микнализ. — М.; Мир, 1984, т,2, с. t72 — 173, Патент Великобритании N 2043006, Н 1D,1979, Изобретение относится к способам фиквания образцов при их исследовании с ощью растрового электронного микроа (РЭМ) путем приклеивания образцов ржателю образца.
Целью изобретения является снижение ятности загрязнения исследуемой поности образца, Способ осуществляется следующим обм, Поверхность обьектодержателя покрыровным слоем клея, например, марки ерцемент" необходимой толщины, прия во внимание плотность клея в сухом оянии и концентрацию при нанесении, сушивают. В случае больших размеров зца наносят необходимое количество в клея, достигая тем самым оптимальфиксирование образца в процессе поующих операций. На подготовленный м образом держатель образцов, наблюв оптический микроскоп. размещают кты исследования. Затемдержательобов с установленными объектами поме Формула изобретения Способ фиксирования образцов при исследованиях в растровом электронном микроскопе, заключающийся в нанесении на обьектодержател ь слоя вязкого клеевого состава и приклеивании образца, о тл и ч а ю— щ и и с я тем, что, с целью снижения вероятности загрязнения исследуемой поверхности образца, после нанесения на обьектодержатель слоя вязкого клеевого состава последний высушивают до установки 1608531 Составитель B.Ðûáàëêî Тех ред M.Ìîðãåíòàë Корректор Л,Бескид Редактор И.Горная Заказ 3611 Тираж 497 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", r, Ужгород, ул.Гагарина, 101 на него образца, далее, разместив образец на сухом слое клеевого состава, осуществляют обработку в парах растворителя клеевого состава.