Раствор для травления кварца

 

Изобретение относится к неорганической химии, в частности к составам растворов для травления, и может быть использовано для химического формообразования изделий из кварца. Целью изображения является снижение плотности ямоя травления Для этого раствор для травления кварца содержит фторсодержащий компонент с концентрацией (0,5-27,0) моль/л и органическую кислоту с одной функциональ„ 0 ной группой -С с длиной углеводородного радикала C/i-Cio с концентрацией

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК ((9) (11) (я)л С 03 С 15/00

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4604840/33 (22) 10.11.88 (46) 30.11.91.Бюл.N44 (72) Э.Г. Раков, А.Е. Федоров, Д.Г. Купрюнин, М.В. Мелкумянц, Н.M. Быстрова, Л.П.

Лаврищев и Л.А. Тамбовцева (56) Патент CLUA М 4055458, кл. С 03 С 15/00, 1977, Патент Великобритании N. 1276550, кл, С 03 С 15/00, 1972. (54) РАСТВОР ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ КВАРЦА (57) Изобретение относится к неорганической химии, в частности к составам раствоИзобретение относится к неорганической химии, в частности к составам растворов для травления. и может быть использовано для химического формообразования изделий иэ кварца.

Целью изображения является снижение плотности ямок травления.

Испытания проводят на образцах кварца в виде круглых пластин диаметром 7 мм.

Их помещают в раствор определенного состава и травят при определенной температуре. Плотность ямок травления на поверхности кварца определяют визуально с помощью микроскопа и увеличением от 50 до 800 крат.

Изобретение подтверждается конкретными примерами, приведенными в таблице.

Примеры 48-50 иллюстрируют прототип.

Раствор для травления кварца готовят следующим образом, . Пример 13. Берут 4 мм 40 (-ной фтористоводородной кислоты, смешивают с ров для травления, и может быть использовано для химического формообразования иэделий иэ кварца. Целью изображения является снижение плотности ямок травления. Для этого раствор для травления кварца содержит фторсодержащий компонент с концентрацией (0.5-27,0) моль/л и органическую кислоту с одной функциональ0 ной группой — С .. с длиной Углеводородного радикала С4-С(о с концентрацией (0.45-11,5) моль/л. Растворы снижают плотность ямок травления. 1 табл.

90 мл валериановой кислоты и добавляют 6 мл дистиллированной воды, нагревают до

75 С при тщательном перемешивании. Затем в нем травят в течение 300 мин кварцевую пластину с диаметром 7 мм. После травления пластину промывают в горячей воде, сушат и под микроскопом (увеличение О от 50 до 800 крат) фиксируют наличие или Ч,} определяют плотность ямок травления. На ф . поверхности кварцевой пластины, про- (Я травленной при описанных условиях, были "р обнаоужены 22 ямки травления. В то же время последующее травление в растворе фтористоводородной кислоты без добавления органической кислоты привело к образованию на поверхности кварца 170 ямок травления.

Пример 16. Берут 57 г гидродифторида аммония NH4HFg, добавляют 10 мл изомасляной кислоты и доводят обьем до

100 мл, приливая дистиллированную воду, нагревают до 750С при тщательном переме1694500

2, мин 1! Ь, мкм т, аС

Пример, Состав раствора

Концентрация ПАВ, моль л

Концентрация фт-х, ноль л

Плотность ямок травления, щт, ПА8 без ПА8

3 4

3,5

84 нг-ннаг-н,о— изокротоновая кислота

НГ -10 ннзг - 17

НГ-1О нн4г - г

40,8!

О 85

15 14!

0,6

HF-fH4FF-нзоиэокротоновая кислота

2ОО

40,8 нг-нн„г-н о—

1 изокротрновая кислота

НН4НГ, -Н,О— изоянтарйая кйслота

Н P-0,5

NHpF - 1

75

9,7

7Î

5 нН„нг, -н,о— изоянтарная кислота

1,6

NHfHP„-н о.— изоянтарная кислота

4,8

9,8

НГ-1

NHÄHP, -2 нг-з

ННЧНГ1 " 2

HP »«5

ННHF> -2

1В

80 нг-нн„нг,-н о— ацетоновая кислота

HP-NHyHP1 -Н40ацетоновая кислота

0,5 во

4,7

НГ-НН1,НГ1 -Н1Оацетоновая кислота во! о нг-н,о— итаконовая кислота

0,6 нг-н о-1 итаконовая кислота

5,4

75 нг-н о—

) итаконовая кислота

11,5

13 в,г

75 нг-и о1 валериановая кислота

14

4,f нг-н,овалериановая кислота

25! о

3,8 41

192

f 72

0,45

2О нг-н,о валериановая кислота

3,8 36

12,4 5 !54!

fHffHP,-Н Оиэомасляная кислота!

НН4НГ1 НЛО изомасляная кислота

4,е!

f2,4 25

12,4 27

157! о,г

41Э

0,5

161

NH4HF1 -Hg0— изомасляная кислота

HF-NH F-H ОВ 1 винная кислота

HF - 4

НН4Г - 2 ! г

9,2

5,3 5

156

2О

НН„Г-Н1О— винная кислота

7О

9,3 64

15О

12 ° 6 12

HF-И О— винная кислота г,э

50

149

10,6 Нет

14

6,9 тцHF1 -02.о— винная xèñëîòà

174 шивании, Затем в.нем травят в течение

60 мин кварцевую пластину с диаметром 7 чм. После травления пластину промывают в горячей воде, сушат и под микроскопом фиксируют наличие или определяют плот- 5 ность ямок травления, На поверхности кварцевой пластины, протравленной при описанных условиях, были обнаружены 5 ямок травления. В то же время последующее травление в оастворе гидродифтори- 10 да аммония без добавления1 органической сислоты привело к образованию на поверхности кварца 164 ямок травления.

Формула изобретения

Раствор для травления кварца, включающий фторсодержащий компонент и органическую кислоту, с одной функциональной

io группой -С Отличающийся тем, что, с целью снижения плотности ямок травления, используют органическую кислоту с Длиной вОДОрОДного рэДикалэ С4 С10 с концентрацией 0,45-211,5 моль/л и фторсодержащий компонент с концентрацией

0,5 — 27 моль/л. е16 4о в 1в 15!

7О 4,2 Нет 144! в 4,2 1 162

24 4,2 3 192

220 3,1 Нет 212

14 3, 1 Нет 215

13 32 1 173

60 7,3 00 158

98 7,3 92 163

1вг 7,ç 8!, 194

300 3,8 22 170

1694500

Продолжение таблицы

) 7

60 4,2 56 4 ) 9

HP-и О- 5,4 иасляная кислота

I0

НГ-82Оиасляыая кислота

0,54 го

68 15.0 42

750 15,0 53

70 5,6 21!

75

25 нг-н,оиасляная кислота

0,5

202

26!

HF-НН„НГ„-Н,О- 5,3 дегидрослиэевая кислота

90 5,6

191 нг-нн4нг,-и,о- 0,5 дегидрослиэевая кислота

75

2е

280 5,6

20S

ИГ-NHyHF -Н О- 9 дегидрослиэеаая кислота

250 4,8

192

29 нг-н,о- 8,5

1 - лейциновая кИслота

75

60 4,8

151 нг"н о- 3,6

1 - лейциновая кислота

30 нг-н,о- 0,45

1 — лейциновая кислота

15 4,8

167 эг

7,5

210 3,7!

5,6

159 нн4г-нокапроноаая кислота

160 3,7 Э7

3,6

175

75 ннаг-Нто— капроновая кислота

NHÄF-И Окапроновая кислота

0,8

75

92 3,7

225

35 нг-н„оэнантоаая кислота б,б

360, 4,1

181

36 нг-н,о- 3,1 энантовая кислота

75!

Зб 4,1

196 нг-н о 0,7 энантовая кислота

75

34 4,1

360 4,3

I 87

38 нг н о- 5,9 каприловая кислота

65

157

39 нг-н о каприловая кислота

2 ° 8

75

140 4,Э

I 99

НГ-Н2О- 0,6 каприловая кислота

75

25 4,3

° w

I I

201 нг-н о- S,4 пеларгоновая кислота

360 4,3

I75

75 нг-н,о- 2,5 пеларгоновая кислота

140 4 ° 3

191

43 нг-но- 0,6 пеларгоновая кислота

75

44 нг-и о 5,4 каприновая кислота

О ° 8

75 нг-н оКаприновая кислота

2.3

75

46 нг-и О1 каприновая кислота

0,8

75

3,9

HP""Í О—

1 муравьиная кислота

75

465

9,3

48 нг-н о- 1,3 муравьиная кислота

46

2О2

9,3

202

49 нн„нг -и оуксусная кислота

8,6

91

S,5

145 145

161 1&1

50 нг-и,,о- 4,3 трихлоруксусная кислота

270

5,4

Составитель Т. Никульникова

Редактор Л. Алексеенко Техред М.Моргентал Корректор С. Лисина

Заказ 3284 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/ф

Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, ул.Гагарина. 101 нг-T

NHyHFg - 6

BF 3

NH

HF " О ° 5 ннанга- 0 ° 5

26 4,3

420 Э,9

112 3 ° 9

100 246

121 181

125 223

128 227

t57 !57