Электропневматический клапан
Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано для точной дозировки газов в технологических процессах производства электронных приборов . Целью изобретения является повышение экономичности клапана. Электропневматический клапан содержит корпус с впускным и выпускным отверстиями , гибкую мембрану, выполненную из диэлектрического материала с электропроводящим слоем и источник управляющего напряжения, подключенный к электропроводящему слою. 3 ил.
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК (s<>s G 05 D 7/06, F 16 К 31/02
ГОСУДАРСТВЕННЫИ КОМИТЕТ
ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ
ПРИ ГКНТ СССР
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4458454/24 (22) 11.07,88 (46) 30,11.91, Бюл. М 44 (71) Специальное конструкторское бюро Института радиотехники и электроники АН
СССР (72) И.В.Княжеченко (53) 621.646.3(088.8) (56) Авторское. свидетельство СССР
М 465513, кл, F 16 К 31/02, 1973. (54) ЭЛЕКТРОПНЕВМАТИЧЕСКИЙ КЛАllAH
Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано для точной дозировки газов в технологических процессах производства электронных приборов, Цель изобретения — повышение экономичности клапана, На фиг. 1 схематично показан клапан, в котором впускное и выпускное отверстия выполнены в основании корпуса; на фиг, 2схематично показан клапан, в котором впускное отверстие выполнено в основании, а выпускное — e Kp Ke Kop c ; на фиг, 3— сечение А — А на фиг. 2, Электропневматический клапан по фиг.
1 содержит корпус 1 (корпус может быть весь электропроводящим, либо иметь электропроводящую поверхность 2), в корпусе 1 имеются впускное 3 и выпускное 4 отверстия, на поверхности 2 размещена гибкая мембрана, выполненная из пленки 5 из диэлектрического материала с электропроводящим 6 слоем, пленка 5 крепится на. 42„„1695272 А1 (57) Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано для точной дозировки газов в технологических процессах производства электронных приборов. Целью изобретения является повышение экономичности клапана.
Электропневматический клапан содержит корпус с впускным и выпускным отверстиями, гибкую мембрану, выполненную из диэлектрического материала с электропроводящим слоем и источник управляющего напряжения, подключенный к электропроюдящему слою. 3 ил. корпусе 1 с помощью уплотняющего кольца
7, к электропроводящему слою 6 и поверхности 2 корпуса 1 подключены клеммы 8 для подсоединения к источнику управляющего напряжения (не показан).
Данный клапан работает следующим образом.
Газ подают к впускному отверстию 3 клапана под избыточным давлением. На злектропроводящую поверхность 2 корпуса
1 и электропроводящий слой 6 мембраны подают начальную разность потенциалов, при которой давление газа через впускное о гверстие 3 на гибкую мембрану достаточно для преодоления собственной жесткости и электростатических сил и отжатия мембраны от поверхности 2. Через зазор, образовавшийся между мембраной 5 и поверхностью 2, газ протекает к выпускному отверстию 4 и поступает далее по назначению.
Таким образом, так как управление ведется с помощью изменения напряжения, а
1695272 ток через клапан не течет, то данный клапан
Обладает высокой экономичностью, ФОГ. Я
Составитель Н.Гондаксазова
Редактор Л,Пчоли нская Техред М.Моргентал Корректор О.Кравцова
Заказ 4161 Тираж Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5
Производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул.Гагарина, 101
Формула изобретения
Электропневматический клапан, содержащий корпус из электропроводящего материала с впускным и выпускным отверСтиями и гибкую мембрану, закрепленную в корпусе с возможностью перекрытия впускного отверстия, источник управляющего напряжения, отличающийся тем, что, с целью повышения экономичности клапана, гибкая мембрана выполнена из пленки из
5 диэлектрического материала с электропроводящим слоем, при этом электропроводящий слой изолирован от корпуса, а источник управляющего напряжения подключен к корпусу и электроп1 оводящему слою.
