Испаритель

Авторы патента:

C23C14/26 - с использованием источника резистивного или индуктивного нагрева

1. Испаритель, содержащий парообразователь с отверстиями для выхода пара и герметичный люк для загрузки испаряемого материала, отличающийся тем, что, с целью уменьшения энергоемкости, инерционности, повышения надежности и стабилизации парового потока, корпус парообразователя выполнен из гофрированной тонкостенной трубы круглого или прямоугольного сечения.

2. Испаритель по п.1, отличающийся тем, что парообразователь выполнен из нескольких гофрированных труб, герметично соединенных между собой промежуточным элементом.

3. Испаритель по пп.1 и 2, отличающийся тем, что ширина отверстий, расположенных на вершинах гофр, равна 0,2-2,0 мм.

4. Испаритель по пп.1-3, отличающийся тем, что отверстия в парообразователе выполнены в несколько рядов, как в продольном, так и в поперечном направлениях.

5. Испаритель по п.2, отличающийся тем, что он снабжен пробкой для слива шлаков, расположенной в одном из промежуточных элементов.

Похожие патенты:

Испаритель // 1674581

Способ хромирования стальных изделий // 1671732

Изобретение относится к металлургии, в частности к химико-термической обработке, а именно к вакуумному нанесению хромовых покрытий, и может быть использовано в машиностроении для поверхностного упрочнения стальных полос, лент и длинномерных изделий

Испаритель // 1605575

Изобретение относится к нанесению покрытий в вакууме и может быть использовано в технологии микроэлектроники, а именно в устройствах для напыления резиста в вакууме

Испаритель // 1600383

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к устройствам для нанесения резиста в вакууме

Испаритель // 1545654

Испаритель для металлов и сплавов // 1491032

Изобретение относится к устройствам, предназначенным для получения газофазным методом высокодисперсных ультрадисперсных порошков металлов и сплавов как труднолетучих и легколетучих элементов, а также для нанесения металлических покрытий в микроэлектронике, металлургии, электрохимии

Устройство для нанесения покрытий в вакууме // 1478660

Испаритель // 1455763

Испаритель // 1354761

Устройство для испарения материалов в вакууме // 1335576

Изобретение относится к нанесению покрытий в вакууме и может быть использовано в устройствах для испаг рения веществ и напьшения слоев из двух материалов, преимущественно слоев для электрофотографических целей

Способ формирования защитных покрытий графитовых подложкодержателей и устройство для его осуществления // 2165999

Изобретение относится к технологии и оборудованию для получения эпитаксиальных структур кремния методом осаждения из газовой фазы

Испаритель для металлов и сплавов // 2219283

Изобретение относится к устройствам, предназначенным для получения газофазным методом высокодисперсных и ультрадисперсных порошков металлов и сплавов, а также для нанесения металлических покрытий в вакууме на металлические и неметаллические изделия, предназначенные для использования в микроэлектронике, химической технологии и других отраслях промышленности

Испаритель для металлов и сплавов // 2254963

Изобретение относится к устройствам для получения газофазным методом порошков металлов и сплавов, а также для нанесения покрытий

Защитный элемент и способ его изготовления // 2316429

Изобретение относится к защитному элементу для защищенной от подделки бумаги, банкнот, удостоверений личности или иных аналогичных документов, к защищенной от подделки бумаге и ценному документу с таким защитным элементом, а также способу их изготовления

Испаритель для металлов // 2347849

Изобретение относится к области металлургии, а именно к испарителям для металлов, и может быть использовано для изготовления металлических порошков и нанесения покрытий на различные поверхности

Испаритель для металлов и сплавов // 2382117

Изобретение относится к испарителю для металлов и сплавов и может найти применение в порошковой металлургии для получения высокодисперсных и ультрадисперсных металлов и сплавов

Устройство для вакуумного напыления пленок // 2411304

Изобретение относится к технике получения пленок в вакууме, в частности к устройству для вакуумного напыления пленок, и может быть использовано для эпитаксиального выращивания слоев при изготовлении полупроводниковых приборов, устройств интегральной оптики, при нанесении функциональных покрытий из металлов и кремния и т.п

Вакуумное обрабатывающее устройство // 2421543

Изобретение относится к устройству для вакуумного парового осаждения слоя на подложку путем облучения материала напыления

Устройство для нанесения полимерных пленок в вакууме // 2051200

Изобретение относится к вакуумному нанесению слоев и может быть использовано для термического нанесения полимерных пленок из газовой фазы

Испаритель // 2058424

Изобретение относится к технологии микроэлектроники, а именно к устройствам для нанесения покрытий в вакууме