Термокамера для испытания электронных изделий

Авторы патента:

H01L21/66 - испытания или измерения в процессе изготовления или обработки (после изготовления G01R 31/26)

Изобретение относится к оборудованию для изготовления изделий электронной техники и может быть применено для климатических испытаний готовых приборов. Цель изобретения - повышение достоверности испытаний за счет увеличения Однородности воздушного потока. Термокамера для испытания электронных изделий содержит кожух 1, в котором размещена рабочая камера 2, и вентилятор 3, установленный в рабочей камере 2 между вытяжным 4 и нагнетательным 5 патрубками. В нагнетательном патрубке 5 смонтирован узел 6 очистки рециркуляционного воздуха, выполненный в виде соосно соединенных суживающегося диффузора 7 и расширяющегося сопла 8. На внутренней поверхности диффузора 7 имеются спиралеобразные канавки, соединенные с круговой канавкой, выполненной на входном сечении диффузора 7. 4 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ . РЕСПУБЛИК, ГОСУДАРСТВЕН.ЫИ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (я)з Н 01 (21/66

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

1 (21) 4706020/21 (22) 10.05.89 (46) 23,03.92. Бюл. N. 11 (71) Курский политехнический институт и Курское производственное объединение

"Счетмаш" . (72) Н.С.Кобелев, 8.И.Ушаков, С.Н.Самофалов, Т.В,Панина, С.В.Костин и l0.Г.Машо-. шин (53) 621.385:(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

N- 565339, кл. Н 01 L 21/66, 1976.

Термокамера TV-.1000. 412,06/000000:00 Be VEB Maschtnenfabrlk Йева

Netzschkau, (54) ТЕРМОКАМЕРА ДЛЯ ИСПЫТАНИЯ.

ЭЛЕКТРОННЫХ ИЗДЕЛИЙ (57) Изобретение относится к оборудованию для изготовления изделий электронной твх Ж 1721666 А1 ники и может быть применено для климатических испытаний готовых приборов. Цель изобретения вЂ” повышение достоверности испытаний за счет увеличения однородности воздушного потока, Термокамера для испытания электронных изделий содержит кожух 1, в котором размещена рабочая камера 2, и вентилятор 3. установленный в рабочей камере 2 между вытяжным 4 и. нагнетательным 5 патрубками. В. нагнетательном патрубке 5 смонтирован узел 6 очистки рециркуляционного воздуха, выполненный в виде соосно соединенных суживающегося диффузора 7 и расширяющегося сопла 8. На внутренней поверхности диффузора 7 имеются спиралеобразные канавки, соединенные с круговой канавкой, выполненной на входном сечении диффузора 7. 4 ил.

1721666

Электронных изделий.

Изобретение относится к установкам, применяемым в полупроводниковом производстве, и может быть использовано для климатических испытаний готовых полупроводниковых приборов при одновременном измерении их электрических параметров.

Известна установка для климатических испытаний полупроводниковых приборов, содержащая основание и рабочую камеру в виде образующих замкнутый объем вертикальных равновесных отсеков (11.

Недостатком известной установки для климатических испытаний полупроводниковых приборов является отсутствие очистки рециркуляционного воздуха от загрязнений, Известна также термокамера для испытаний электронных изделий, содержащая основание, рабочую камеру, вентилятор с вытяжным и нагнетательным каналами (2) Однако термокамера не обеспечивает необходимой степени очистки рециркуляционного воздуха от загрязнений,.выделяемых при эксплуатации оборудования и во время технологического процесса испытания электронных изделий. Это обусловлено тем, что поток рециркуляционного воздуха н асы щается загрязнения ми непосредственно в объеме рабочей камеры, а также при движении по пылеемкому вытяжному и нагнетательному воздухопроводам. В реэультате термокамера работает в экстремальных условиях, что отрицательно сказывается на надежности используемых

Цель изобретения вЂ” повышение досто-. верности испытаний за счет увеличения однородности воздушного потока.

Поставленная цель достигается тем, что термокамера для испытания электронных изделий, содержащая кожух, в котором размещена рабочая камера, и вентилятор, установленный в рабочей камере между вытяжным и нагнетательным патрубками, снабжена установленным в нагнетательном патрубке узлом очистки рециркуляционного .воздуха, выполненным в виде жестко соосно соединенных суживающегося диффузора и расширяющегося сопла. при этом на внутренней поверхности диффузора выполнены спиралеобразные канавки, соединенные с круговой канавкой, выполненной на входном сечении диффузора, На фиг. 1 показана предлагаемая термокамера; на фиг. 2 вЂ” узел очистки рециркуляционного воздуха; на фиг. 3 вЂ” разрез А-А на фиг. 2; на фиг. 4 вЂ” разрез Б-Б на фиг. 2.

Термокамера содержит кожух 1, в котором размещена рабочая камера 2, и вентилятор 3, установленный в рабочей камере 2 между вытяжным 4 и нагнетательным 5 патрубками. В нагнетательном патрубке 5 смонтирован узел очистки 6 рециркуляционного воздуха, выполненный в виде соосно соединенных суживающегося диффузора 7 и расширяющегося сопла 8. На внутренней поверхности диффузора 7 имеются спиралеобразные канавки 9, соединенные с круговой. канавкой 10, выполненной на входном сечении диффузорэ 7 и образующей в своей нижней части сборник загрязнений. Расширяющееся сопло 8 жестко соединено с ткэневым фильтром, находящимся нэ выходе из узла очистки 6 рециркуляционного воздуха..

Рециркуляционный воздух от испытуемых электронных изделий (фиг, 1), расположенных на полках рабочей камеры 2, с загрязнениями в виде мелкодисперсной пыли и водомасляной эмульсии через вытяжной патрубок 4 поступает в вентилятор 3 для закрутки воздушного потока. Загрязненный рециркуляционный воздух из тангенциального патрубка вентилятора 3 направляется по нагнетательному патрубку 5 в суживающийся диффузор 7 узла 6 очистки, где завихряется, перемещаясь по спиралеобразным канавкам 9, в результате чего наблюдается винтообразное движение потока.

Взвешенные частицы загрязнений рециркуляционного воздуха центробежной силой отбрасываются к внутренней стенке суживающегося диффузора 7 (фиг. 2) и направляются в спиралеобразные канавки 9, где под действием возросшего гидравлического сопротивления спиралеобразных канавок 9 резко уменьшают свою скорость, сталкиваются с другими частицами, укрупняются, становятся ядрами конденсации водомасляного пара. Данная смесь загрязнений собирается в круговой канавке

10 и под действием гравитационных сил поступает в накопитель загрязнений, находящийся в нижней части входного сечения суживающегося диффузора 7.

Частично очищенный от загрязнений рециркуляционный воздух поступает в расширяющееся сопло 8. В результате внезапного расширения рециркуляционного воздуха резко. падает его скорость, и ламинарно движущийся поток окончательно очищается на тканевом фильтре. Объем накопителя загрязнений и поглощающая способность тканевого фильтра таковы, что обеспечивается очистка рециркуляционного воздуха до нормированных параметров, гарантирующих необходимую надежность.

По истечении времени испытаний электронньix изделий узел 6 очистки рециркуляционного воздуха вы нимается из

1 721666

A-A

Фиг.

Фиг 4 гЗ

Составитель Н. Кобелев

Техред М.Моргентал Корректор Т. Малец

Редактор Г. Бельская

Заказ 957 Тираж ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва; Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-.издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101

Ю нагнетательного патрубка 5 для удаления загрязнений и подготовки к последующей работе в режиме очистки рециркуляционного воздуха.

Предлагаемая термокамеры позволяет поддерживать высокую частоту рециркуляционного воздуха на весь период испытаний, а отсутствие мелкодисперсной пыли и водомасляной влаги в потоке повышает надежность электронных иэделий (см. ГОСТ

14254-80 Изделия электротехнические, оболочки. Степени защиты).

Кроме того. наличие узла очистки в нагнетательном канале термокамеры дает возможность избежать значительных дополнительных энергозатрат для очистки рециркуляционного воздуха до нормированных параметров.

Формула изобретения

Термокамера для испытания электронных иэделий, содержащая кожух, в котором размещена рабочая камера, и вентилятор, 5 установленный в рабочей камере между вы- тяжным и нагнетательным патрубками, отличающаяся тем, что, с целью повышения достоверности испытаний за счет увеличения однородности воздушного

10 потока, в нагнетательном патрубке установлен узел очистки рециркуляционного воздуха, выполненный в виде соосно соединенных суживающегося диффуэора и расширяющегося сопла, при этом на внут15 ренней поверхности диффузора выполнены спиралеобразные канавки, соединенные с круговдй канавкой, выполненной на входном сечении диффузора.

Термокамера для испытания электронных изделий

Изобретение относится к электронной технике, в частности к устройствам для контроля полупроводниковых, например СВЧ- приборов с балочными выводами

Способ измерения m-параметра p-n-перехода в полупроводниках // 1715141

Способ подключения электронного блока к аппаратуре контроля // 1714723

Контактное устройство // 1713391

Способ определения параметров полупроводников методом эффекта холла // 1712987

Изобретение относится к полупроводниковой технике и фотоэлектронике и может быть использовано, для контроля параметров полупроводников

Способ определения типа проводимости базового слоя меза- диода // 1712906

Изобретение относится к способам диагностики полупроводниковых приборов в процессе их изготовления

Способ определения диффузионной длины электронов в полупроводниках р-типа проводимости // 1711272

Изобретение относится к полупроводниковой технике и может быть использовано для измерения параметров полупроводниковых кристаллов и приборных структур на их основе

Способ создания электрического контакта к полупроводнику или диэлектрику // 1711271

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при - контроле технологических процессов в полупроводниковом приборостроении

Контактное устройство // 1705921

Изобретение относится к полупроводниковому производству и может быть использовано в контрольно-измерительном оборудовании для контроля параметров подключаемых интегральных микросхем

Устройство для исследования глубоких уровней в полупроводниках // 1704195

Устройство для определения электрофизических параметров полупроводниковых пластин // 2101721

Изобретение относится к технике контроля параметров полупроводников и предназначено для локального контроля параметров глубоких центров (уровней)

Устройство для измерения толщины плоского изделия и способ его реализации // 2107257

Изобретение относится к области измерительной техники, в частности к области измерения геометрических размеров плоских изделий, и может быть использовано при измерении толщины плоских изделий из диэлектриков, полупроводников и металлов, в том числе полупроводниковых пластин, пластических пленок, листов и пластин

Способ градуировки резонансного датчика параметров эпитаксиального слоя на проводящей подложке // 2107356

Изобретение относится к полупроводниковой технике и направлено на повышение точности измерения параметров эпитаксиальных слоев на изотипных проводящих подложках и применение стандартных образцов, изготовленных по технологии, обеспечивающей существенно более высокий процент выхода годных и более высокую механическую прочность

Способ выявления структурных дефектов в кристаллах кремния // 2110116

Изобретение относится к полупроводниковой технике и может быть использовано для выявления и анализа структурных дефектов (ростовых и технологических микродефектов, частиц второй фазы, дислокаций, дефектов упаковки и др.) в кристаллах кремния на различных этапах изготовления дискретных приборов и интегральных схем

Способ регулирования величины напряжения в открытом состоянии тиристоров и диодов // 2119211

Изобретение относится к области силовой полупроводниковой техники и может быть использовано при изготовлении тиристоров и диодов

Способ контроля однородности слоев пористого кремния на монокристаллическом кремнии // 2119694

Изобретение относится к неразрушающим способам контроля степени однородности строения слоев пористого кремния

Способ выявления структурных дефектов в кристаллах кремния // 2120683

Устройство и способ измерения поверхностного сопротивления полупроводниковых пластин // 2121732

Изобретение относится к области измерительной техники, в частности к области измерения электрофизических параметров материалов, и может быть использовано для контроля качества полупроводниковых материалов, в частности полупроводниковых пластин

Способ контроля дефектности пленок диоксида кремния на кремниевых подложках // 2127927

Установка для испытаний на радиационную стойкость // 2128349