Способ обезвреживания осадков полихлорсиланов в газоходах печи

 

Использование: печи нанесения кремнийуглеродных покрытий, получение композиционных материалов. Сущность изобретения: после извлечения изделий из печи ее герметизируют, затем подают аммиак при массовом соотношении осадка полихлорсиланов и аммиака 1:(1,0-1,5) и выдерживают не менее 5 мин, после чего продувают инертным газом. 1 табл.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (51)5 F 23 G 7/06

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

{21) 4868060/33 (22) 21.09.90

{46) 23.06.92. Бюл. ¹ 23 (71) Запорожский индустриальный институт (72) В.P.Ðóìÿíöåâ, 3.В.Лысенко и Р.А.Бисеров (53) 628.54(088.8) (56) Заявка Японии

¹59 — 88307, кл, С 01 В 31/36, опублик.

22,05.84, Изобретение относится к металлургии, в частности к получению композиционных материалов, и может быть использовано при эксплуатации печей при нанесении кремнийуглеродных покрытий.

Известен способ нанесения кремний углеродного покрытия, согласно которому подложки. на которые наносится покрытие, помещают в пазы вертикальных стержней из молибдена или граФита. В качестве рабочих газов для выращивания пленок используют SiH4, SIHCb, SICI2H2, SIClaH или SICI4, газом-носителем служит водород, При нанесении кремнийуглеродного покрытия образуются и частично выносятся из печи полихлорсиланы. В отводящих газоходах при резком снижении температуры полихлорсиланы осаждаются на внутренней поверхности труб. При изменении направления движения газового потока эначител ьн ые отложения пол ихлорсиланов происходят в местах соединения труб.

Высокая реакционная способность полихлорсиланов и их вэрывоопасность практически исключают механическую очистку гаэоходов.

»!Ы 1742583 А1 (54) СПОСОБ ОБЕЗВРЕЖИВАНИЯ ОСАДКОВ ПОЛИХЛОРСИЛАНОВ В ГАЗОХОДАХ, ПЕЧИ (57) Использование: печи нанесения кремнийуглеродных покрытий, получение композиционных материалов. Сущность изобретения: после извлечения изделий из печи ее герметизируют, затем подают аммиак при массовом соотношении осадка полихлорсиланов и аммиака 1:(1,0 — 1,5) и выдерживают не менее 5 мин, после чего продувают инертным газом. 1 табл, Целью изобретения является улучшение условий труда и предотвращение взрывоопасности.

Поставленная цель достигается тем, что печь после извлечения изделия герметиэируют, подают аммиак при массовом соотношении осадка полихлорсиланов и аммиака

1;(1,0-1,5) и выдерживают не менее 5 мин, после чего продувают инертным газом, в качестве которого предпочтительнее использовать азот.

Применение аммиака в соотношении не менее 1:1 с осадком вызвано необходимостью полного обезвреживания осадка, Использование избыточного аммиака необходимо для нейтрализации хлористого водорода, являющегося одним иэ продуктов химической реакции между аммиаком и осадком. При использовании аммиака в соотношении с осадком более 1,5.— 1,0 аммиак полностью не расходуется при химическом взаимодействии, что снижает эффективность процесса. Выдержка аммиака в газоходе необходима для обеспечения контакта аммиака со всеми отложениями полихлорсиланов по длине газохода.

1742583

Формула изобретения

15 л 3

Массовое соотличество

Зффект

Ко

I ношение амми- Аммиа ак;осадок

0,9:1,0 5,06

) ,г

Осадок

5,0

5,о2

5,0 l,0;1,0

1,5;1,0

8,43, 5,0

5,0

1,6; 1,0

Составитель В.Румянцев

Техред M. глоргентал Корректор Л.Бескид

Редактор ИДербак

Заказ 2274 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКН Г СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул,Гагарина, 101

Предлагаемый способ обезвреживания осадков полихлорсиланов в газоходах печи при нанесении кремнийуглеродных покрытий опробован в лабораторных условиях.

Осадок, полученный при нанесении кремнийуглеродных покрытий, массой 5 г помещают в стеклянную трубку, соединенную с источником аммиака через ротаметр. Систему герметизируют, после чего подают аммиак в массовом соотношении к осадку (1 — 1,5):1. Результаты эксперимента, в зависимости от количества подаваемого аммиака, представлены в таблице.

При подаче -ммиака в массовом соотношении к осадку меньше, чем 1:1, визульано наблюдают, что в реакцию встугает лишь часть осадка, Если подачу аммиака осуществляют в массовом соотношении к осадку больш, чем 1,5:1., весь аммиак не расходуется на нейтра":èçàöию, что подтверждает щелочная среда в контрольном сосуде, заполненном дистиллированной водой.

При Kol- такте аммиака с исследуемым осадком наблюдают бурное течение химической реакции в течение 5 — 10 мин, сопровождающееся изменением внешнего вида осадка. Качественный анализ продукта реакции показывает присутствие в нем хлорида аммония, что подтверждает течение химической реакции.

5 Использование предлагаемого способа обезвреживания осадков в газоходах печи для нанесения кремнийуглеродных покрытий обеспечивает длительное использование оборудования без профилактического

10 ремонта, а также улучшение условий труда за счет предотвращения взрывоопасности полихлорсиланов, Способ обезвреживания осадков полихлорсиланов в газоходах печи при нанесении кремнийуглеродных покрытий, о т л ич а ю шийся тем, что, с целью улучшения

20 условий труда и предотвращения взрывоопасности, печь после извлечения изделий герметизируют, подают аммиак при массовом соо ношении осадка полихлорсиланов и аммиа.:а 1:(1,0 — 1,5) и выдерживают в тече25 ние не менее 5 мин, после чего продувают инертным газом, Визуально наблюдают, что часть осадка не изменяет внешний вид; ь контрольной пробе слая среда (рН 3) адок полностью изменяет внешний вид; в нтрольном сосуде кислая среда (рН 3) адок полностью изменяет внешний вид; на ен,<ах стеклянной рубки интенсивно кон- сируется хлористый аммоний; в контроль- м сосуде слабо щелочная среда (рН 3) адок полностью изменяет внешний вид енках стеклянной трубки интенсивно нсируется хлористый аммоний; в контр ч сосчде щелочнаясреда (рН 9)