Устройство параметрического контроля интегральных схем

 

Сущность изобретения: устройство содержит три цифроаналоговых преобразователя 1-3, три источника напряжения 4-6, коммутационную матрицу 7, измеритель; ный преобразователь 8 напряжения (тока), аналого-цифровой преобразователь 9, формирователь 10, два одновибратора 11 и 12, элемент И-НЕ 13, бесконтактный 14 и релейный 15 ключи, обмотку 16 релейного ключа, времязадающие резисторы 17 и конденсатор 18, релейный переключатель 19, источник 20 опорного напряжения, измерительный 21 и эталонный 22 компараторы напряжения, элемент 2И-ИЛИ 23, кварце-, вый генератор 24 импульсов, счетчик 25 импульсов , шины режимов 27 и 28, питания 29, входную 30, выходную 31, измерительную 32, времязадающую 33 и общую 34. 2 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (sl)s G 01 R 31/318, 31/28

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4766593/21 (22) 04.12,89 (46) 30.07.92. Бюл. ЬЬ 28 (71) Производственное объединение "Альфа" им. 60-летия СССР (72) B.Â.Tåpïèãîðüåâ (56) Авторское свидетельство СССР

М 1308956, кл. 6 01 R 31/28, 1987, Измерение параметров цифровых интегральных схем / Под ред.Д.Ю.Эйдукаса и

Б.В.Орлова, М., 1982. с. 128, рис, 43, (54) УСТРОЙСТВО ПАРАМЕТРИЧЕСКОГО

КОНТРОЛЯ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ (57) Сущность изобретения: устройство содержит три цифроаналоговых преобразова, Я „1751704 А1 теля 1-3, три источника напряжения 4-6. коммутационную матрицу 7, измерительный преобразователь 8 напряжения (тока), аналого-цифровой преобразователь 9. Формирователь 10, два одновибратора 11 и 12, элемент И-HE 13, бесконтактный 14 и релейный 15 ключи, обмотку 16 релейного ключа, времязадающие резисторы 17 и конденсатор 18, релейный переключатель 19, источник 20 опорного напряжения, измерительный 21 и эталонный 22 компараторы напряжения, элемент 1И-ИЛИ 23, кварце-, вый генератор 24 импульсов, счетчик 25 импульсов, шины режимов 27 и 28, питания 29, входную 30, выходную 31, измерительную

32, времязадающую 33 и общую 34. 2 ил, 1751704

Изобретение относится к контрольноизмерительной технике и может быть использовано для автоматического контроля статических и временных параметров интегральных схем (ИС), преимущественно времязадающих схем, например, интегральных таймеров, одновибраторов, Известна система для контроля электрических параметров цифровых узлов, содержащая взаимосвязанные электронную вычислительную машину (ЭВМ) и блок сопряжения, выходы которого подключены к управляющим входам блока программируемых источников питания, блока измерителей и блока согласования, включающего коммутатор и формирователь нагрузок, выводы объекта контроля через коммутатор связаны с формирователем нагрузок, выходом блока прогрэммируемых источников питания и входом блока измерителей, выход которого подключен к ЗВМ. ЭВМ через блок сопряжения настраивает соответствуюъцим образом форм лровател ь нагрузок, коммутатор, блоки программируемых источников питания и измерителей, На выводы объекта контроля подаются требуемые испытательные напряжения. Сигнал с выхода объекта через коммутатор поступает на вход измерителя и преобразуется, э затем вводится в ЭВМ для обработки, Система не позволяет контролировать временные параметры, например длительность импульса времязадающих схем.

Известно устройство параметрического контроля интегральных схем; содержащее программируемый источник питания, цифровой измерительный прибор, контактирующий блок, коммутационную матрицу и узлы блока управления, причем выходы программируемого источника питания, цифрового измерительного прибора и выводы контактирующего устройства связаны с коммутационной матрицей, а выходы блока управления подключены к входам программируемого источника питания, цифрового измерительного прибора и коммутационной матрицы.

Устройство осуществляет тестовый программный контроль ИС только по статическим параметрам и не позволяет проводить полный контроль времязэдающих ИС.

Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому является устройство параметрического контроля интегральных схем, осуществляющее тестовый программный контроль ИС по статическим параметрам. Известное устройство содержит коммутационную матрицу, выходы которой подключены к выводам проверяемой микросхемы, последовательно соединенные цифроанэлоговые преобразователи (ЦАП) и источники напряжения, связанные с входами коммутационной матрицы, и измерительный преобразователь напряжения (тока), 5 вход которого подключен к выходу коммутационной матрицы, а выход — к входу аналого-цифрового и реобрээовател я (АЦП), В ходы ЦАП, управляющие входы коммутационной матрицы, выходы и запускающий

10 вход ЦАП связаны с магистралью управляю: щей ЗВМ. В начале каждого теста по сигналам управления от ЭВМ коммутационная матрица настраивается на измерение конкретного параметра и на выходах источников

15 напряжения устанавливаются требуемые величины напряжений питания микросхем и режимов измерения. Сигнал с выхода ИС преобразуется в постоянное напряжение, пропорциональное измеряемому парамет20 ру, и по истечении времени переходного процесса от 3ВМ поступает сигнал запуска

АЦП, с выхода которого затем в ЭВМ поступает цифрбвой код измеренного параметра для последующей обработки.

25 Недостатком известного устройства является ограниченность функциональных возможностей, поскольку оно не позволяет проводить контроль функционирования и точностных характеристик (длительности

30 генерируемых импульсов) времязадзющих микросхем, такйх как интегральные таймеры, одновибраторы, Целью изобретения является расширение функциональных возможностей путем

35 обеспечения контроля временных параметров (длительности генерируемых импуль. сов) времяэадающих интегральных схем с. достаточной точностью.

Поставленная цель достигается тем, что

40 в устройство параметрического контроля интегральных схем, содержащее коммутационную матрицу, первый, .второй и третий цифроаналоговые преобразователи с источниками напряжения на выходе, измеритель45 ный преобразователь напряжения (тока) и аналого-цифровой преобразователь, причем выходы коммутационной матрицы подключены к выводам проверяемой интегральной схемы, шины режимов, питания и измерительная

50 шина коммутационной матрицы связаны соответственно с выходами источников напряжения и входом измерительного и реобразователя напряжения (тока), выход которого присоединен к входу аналого-цифрового преобразователя, входы цифроаналоговых преобразователей, управляющие входы коммутационной матрицы, запускающий вход и выходы аналого-цифрового преобразователя связаны с магистралью ЭВМ, а общая шина коммутационной матрицы, 5 1751704

И-ИЛИ, счетчик импульсов, кварцевый ге- нератор импульсов, формирователь, первый и второй одновибраторы и элемент 15 объединены и связаны с магистралью ЭВМ, вход источника опорного напряжения присоединен к шине питания коммутацион- 20

25 вход эталон ного компаратора напряжения и времязадающая шина коммутационной 30

35 вого одновибратора присоединен к управ- 40 ляющему входу бесконтактного ключа, а инверсный выход второго и выход первого

50 источники напряжения и измерительный преобразователь напряжения (тока) присоединены к общей точке устройства, дополнительно введены параллельно соединенные времязадающий конденсатор, релейный и бесконтактный ключи, времязадающий резистор, под ключенный между времязадающим конденсатором и шиной питания коммутационной матрицы, релейный переключатель, источник опорного напряжения, измерительный и эталонный компараторы напряжения, элемент

И-НЕ с обмоткой релейного ключа на выходе, входы формирователя и одновибраторов. ной матрицы, а его выходы — соответственно к инвертирующему входу измерительного и неинвертирующему входу эталонного компараторов напряжения, выход формирователя и неинвертирующий вход измерительного компаратора напряжения связаны с входной и выходной шинами коммутационной матрицы, инвертирующий матрицы соответственно через замы каю-. щий и размыкающий контакты релейного переключателя подключены к времязадающему конденсатору, выходы измерительного и эталонного компараторов напряжения присоединены к первому и третьему входам элемента 2И-ИЛИ, второй и четвертый входы которого объединены и подключены к выходу второго одновибратора, выход перодновибраторов подключены к входам элемента И-НЕ. Стробирующий и счетный входы счетчика импульсов. присоединены соответственно к выходам элемента 2И—

ИЛИ и кварцевого генератора импульсов, а выходы счетчика импульсов связаны с магистралью ЭВМ. Времязадающий конденсатор, бесконтактный и релейный ключи, измерительный и эталонный компараторЫ напряжения и источник опорного напряжения связаны с общей точкой устройства.

Конструктивное исполнение nðåäëaãàåмого устройства позволяет автоматически осуществлять полный контроль параметров интегральных таймеров и одновибраторов, в том числе их временных параметров, таких как длительность генерируемых этими схемами импульсов, причем все функции уп5

10 равления процессом контроля и обработки результатов выполняет внешняя 3ВМ, которая реализует программу контроля, Введение в устройство время задающих резистора и конденсатора, релейного и бесконтактного ключей, источника опорного напряжения, измерительного компаратора напряжения, формирователя, первой и второго одновибраторов, элемента И-НЕ; счетчика импульсов и кварцевого генератора импульсов позволяет проводить контроль функционирования микросхем в режиме генерации временных интервалов и импульсов, что наряду с контролем статических параметров необходимо для полной оценки йх качества, Введение в устройство. эталонного компаратора напряжения, релейного переключателя и элемента 2И-ИЛИ обеспечивает высокую точность контроля временных параметров за счет исключения влияния неСтабильности и разброса номиналов времязадающей цепи.

На фиг, 1 приведена электрическая структурная схема устройства параметрического контроля интегральных схем; на фиг.2— временные диаграммы его работы.

Устройство параметрйческого контроля интегральных схем содержит первый 1, второй 2 и третий 3 цифроаналоговые преобразователи (ЦАП), первый 4, второй 5 и третий

6 источники напряжения, коммутационную матрицу 7, измерительный преобразователь 8 напряжения (тока), аналого-цифровой преобразователь 9, формирователь 10, первый 11 и второй 12 одновибраторы, элемент

И-НЕ 13, бесконтактный 14 и релейный 15 ключи, обмотку 16 релейного ключа, времязадающие резистор 17 и конденсатор 18, релейный переключатель 19, источник 20 опорного напряжения, измерительный 21 и эталонный 22 компараторы напряжения, элемент 2И-ИЛИ 23, кварцевый генератор

24 импульсов, счетчик 25 импульсов и проверяемую интегральную схему 26 (фиг.1).

Коммутационная матрица 7 имеет следующие шины: режимов 27 и 28, питания 29, входную 30, выходную 31, измерительную

32, времязадающую 33 и общую 34.

Выходы ЦАП 1-3 связаны с входами источников напряжения 4-6, выходы которых подключены соответственно к шинам режимов 27 и 28 и йитания 29 коммутационной матрицы 7. Выход измерительного преобразователя 8 напряжения (тока) подключен к входу АЦП 9, а .вход — к измерительной шине 32 коммутационной матрицы 7, выходы которой связаны С выводами проверяемой интегральной схемы 26. Входная 30 и выходная 31 шины коммутационной матрицы 7 присоединены соответственно к выхо7 1751704 8 ду формирователя 10 и неинвертирующему руемые источники режима измерения и пивходу измерительного компаратора 21 на- тания микросхемы. пряжения,Оесконтактный 14 и.релейный 15 Измерительный преобразователь 8 наключи и времязадающий конденсатор 18 пряжения (тока) преобразует величину изсоединены параллельно, а. между шиной 5. меряемого статического параметра (ток питания 29 коммутационной матрицы 7 и потребления, выходное напряжение, входвремязадающим конденсатором 18 вклю- ные токи, токи утечки и т.д,) в пропорциочен времязадающий резистор 17, К шине 19 нальное и нормированное напряжение питания коммутационной матрйцы 7 под- постоянного тока. которое с помощью ДЦП ключен также, вход источника 20 опорного 10 9 преобразуется в двоичный цифровой напряжения; выходы которого присоедине- код,:, ны к инвертирующему и неинвертирфоЩему Коммутационнйя матрица 7 состоит из входам измерительного 21 и эталонного 22 - группы реле, с помощью которых соответсткомпараторов напряжейия, выходьг кото- - вующие выводы измеряемой микросхемы рых. связаны с. первым и третьим входами 15 26 подключаются к выходам источников 4-6 элемента 2И-ИЛИ 23, Инвертируащий вход " напряжения и входу измерительного преобэталонного компаратора 22 напряжейия и разователя 8 напряжения(тока) при контровремязадающая шина 33 коммутационной ле статических параметров и к выходу матрицы 7 соответственно через замыкаe- формирователя 10, входу измерительного щий и размыкающий контакты релейного 20 компаратора 21 напряжения и времязадаюпереключателя 19 подключены к времязада-. щей цепи при контроле Длительности им= ющему конденсатору 18; Входы формирова- пульсов. В состав коммутационйой матри ь". е я 10 и первого 11 и второго 12 7входиттакжеобмоткарелейногопереклюодновибраторов обьединены. Выход перво- чателя 19. Реле коммутационной матрицы 7. го одновибратора 11 присоединен к управ- 25 включается ходом измеряемого параметра ляющему входу бесконтактного клача 14, а по сигналам от 3ВМ, формируя схему измевыход второго одновибратора 12 — к второ- рения данного параметра. му и четвертому входам элемента 2И вЂ” ИЛИ . Времязадающай цепь включает время23, Выход nepeoro 11 и инверсный выход, задающие резистор 17 и конденсатор 18,: второго 12 одновибратаров подключены к 30 бесконтактный 14 л релейный 15 ключи и в входам элемента И-HE 13, выход которого совокупности c èçìåðèòaëüíûì компаратосвязан с обмоткой 16 релейного ключа, ром 21 напряжения и формирователем 10

Стробирующийисчетныйвходысчетчика25 образует схему измерения длительности импульсов присоединены соответственно к выходного импульса проверяемой микро- выходам элемента 2И-ИЛИ 23 и кварцевого 35 схемы, а в. совокупности с эталонным компагенератора 24 импульсов.:- :: -. ратором 22 напряжения — генератор

Входы ЦАП 1 — 3; управляющие входы образцового интервала времени, Источник ., коммутационной матрицы 7, вход формиро- 20 опорного напряжения задает уровни по-. вателя 10, запускающий вход и выходы АЦП рогов срабатывания компараторов. Форми-.

9 и выходы счетчика 25 импульсов связаны 40 рователь 10 вырабатывает импульс запуска с магистралью ЗВМ, Источники 4-6 напря-, проверяемой микросхемы при контроле жения, общая шина 34 коммутациойной длительностиимпульса, матрицы 7, измерительный преобразова- ..Счетчик 25 импульсов подсчитывает тель S напряжения -(тока), времязадающий чйсло импульсов, прошедших на его вход от конденсатор 18, бесконтактийй 14 и релей- 45 кварцевого генератора 24 импульсов за вреиый 15 ключи, измерительный 21 и эталой-: мя действия выходного импульса на его ный 22 компараторы напряжения и стробирующем входе, т,е; является измериисточник 20 опорного напряжения связаны телем:временных интервалов. с общей точкой устройства.

Проверяемая интегральная схема 26 от- 50 Одновибраторы 11 и 12 и элементы Иносится к классу времязадающих микросхем .. HE 13 и 2И-ИЛИ 23 являются элементами (аналоговые таймеры, одиовибраторы), синхронизации работы устройства, Функпредназначена для генерации импульсов ции управления отдельными блоками устили стабильных времениых интервалов и, ройства, синхронизации работы этих какправило.содержитдвавхода(запускаю- 55 блоков, обработки результатов контроля щий и вход для подключения внешней вре- (сравнения с нормой, классификации, арифмязадающей цепи), выход и выводы для t метических и логических операций, преоб. подключеиия источника питания, разоваиия кодов, запоминания результатов)

ЦАП 1-3 с источниками 4-6 напряжения выполняет внешняя ЭВМ, связанная с уст-, иа выходе представляют собой программу- ройством через магистраль..

1751704

9

На фиг;2, где представлены временные янноготока, пропорциональноеиэмеряемодиаграммы работы устройства, обозначены: му параметру, и поступает на вход АЦП 9. По а — код параметра (управляющий вход завершении коммутационных процессов в матрицы 7); коммутационной матрице 7 и переходных б — реле матрицы 7; . 5 процессов в источниках 4-6 напряжения и в — задержка на коммутационйые и пе- измерительном преобразователе 8 напряреходные процессы. (формируется програм- жения (тока) (фиг.2в) сигналом от ЭВМ эамно в ЭВМ);.... пускается АЦП 9 (фиг.2г) и после г — импульс запуска АЦП 9, преобразования. (фиг.2е) код измеренного д — импульс запуска (входы блоков 10- 10 параметра с выходов АЦП 9 через магист12, шина 30): ..., ..:..:::. -:: .. раль вводится в ЭВМ (фиг.2ж), где происе - задержка на время преобразования ходят его сравйейие е нормой, анализ в АЦП 9 или измерителе временных интер-: результата сравненйя и запоминание ревалов (формируется программно в ЭВМ) зультата. Одновременно на управляющие ж — обработка результатов контроля 15 входы ком аутационной матрицы 7 от ЭВМ (выполняется программно в ЭВМ); ... поступает сигнал отключения реле. При по. з — выходное напряжение первого одно- ложительном результате -устройство пере вибратора 11 (ключ 14);:: . - -.. : .: ходит к койтрол о следующего параметра и и - выходное напряжение второго однб- . процесс повторяется; а при отрицательном вибратора 12; . - -:,: -:::: 20 работа прекращается. Задержки на время к — выходное напряжение элемента И- переходных процессов и преобразования

НЕ 13 (ключ 15); . :." -,:.;- .; формируются в ЭВМ: л — выходное напряжение измеряемой: Вторым этапом работы является контмикросхемы (шина 31, выходы блоков 21 и: роль временных параметров микросхемы;

23);......:-:: - . ";:.: 25 gAll 1 и 2, источники 4 и 5 напряжения, м — вйходное напряжение эталонного : измерительйый преобразователь 8 напрякомпаратора 22 (выход блока 23); . . - "-- пения(тока), АЦП 9 и шины режима 27,28 и

Т1, Т2, Tpg,и Tpg — длительности выход-- - измерительная 32 коммутационной-матриных импульсов соответственнь одновибра-: цы 7 не используются, дополнит рьно заторов 11 и 12„измеряемой.микросхемы и 30 действованы входная 30, выходная 31 и эталонного одновибратора. -: .. времязадающая 33 шины, В йсходном соУстройство параметрического контроля стоянии релейный ключ 15 разомкнут, а, интегральных схем работает следуюЩим об- бесконтактный ключ 14 замкнут, времязадаразом.: .:: . - ющий конденсатор 18 полностью разряжен, Первым этапом работы является конт- 35 на выход измерительного 21 и эталонного роль статических параметров микросхемы. 22 компараторов напряжения логические

От ЭВМ через магистраль на управляю-, нули, релейный переключатель находится в щие входы коммутационной матрицы 7 и. исходном положении. входы ЦАП 1-3 поступают соответственНо .. При контроле длительности импульса коды измеряемого параметра, величины на- 40 испытуемой микросхемы {Top) от ЭВМ на пряжения питания и режимов измерения управляющие входы коммутационной мат-.

{фиг.2а). Включаются реле коммутационной - рицы 7 и входы ЦАП 3 поступают соответматрицы 7(фиг,2б), в результате чего соби- .. ственно код параметра Тои (фиг,2а) и рвется схема измерения данного параметра, . величины напряжения питания, Включаютпутем подключения выводов измеряемой 45 ся соответствующие реле коммутационной микросхемы 26 к соответствующим шинам матрицы 7 (фиг.2б); вывод питания испытуекоммутационной матрицы 7; вывод питания мой микросхемы 26 подключается к шине подключается к шине питания 29, запускаю- питания 29, запускающий вход — к входной щий вход и вход для подключения времяза- шине 30, вход для подключения времязададающей цепи — к шинам режима 27 и 28, 50 ющей цепи — к времязадающей шине 33, а .. к измерительной шине 32 подключаются выход — к выходной шине 31, на выходе один из входов или выход микросхемы в, источника 6 напряжения устанавливается зависимости от измеряемого параметра. заданная величина напряжения питания

На выходах источников 4-6 напряжения ус- микросхемы. flo истечении коммутационтанавливаются требуемые величины напря- 55 ных и переходных процессов (фиг.2в) ЭВМ жений питания микросхемы и режимов формирует импульс запуска (фиг.2д), котоизмерения..Сигнал .с контролируемого вы- рый запускает первый 11 и второй 12 одноводамикросхемыпоступаетнавходизмери- вибраторы и через формирователь 10 тельного преобразователя 8 напряжения одновибратор на испытуемой микросхеме. . (тока), преобразуется в напряжение посто- На выходе последней и соответственно на

15 ка 20 опорного напряжения, выбран равным

20 ся в ЭВМ

Оценка качества испытуемой микросхемы в режиме генерации временных интервалов производится путем программного вычисления разности Тои-Тоз, т.е. сравне25 ния измеряемого интервала с эталонным, при этом исключается влияние нестабильности и неидентичности параметров времязадающей цепи, являющейся общей цепью при измерении Тои и Тоэ, что иллюстриру30 ется формулой

50 логические схемы, в том числе одновибраторы, счетчик и генератор импульсов, выполвыходе измерительного компаратора 21 (фиг,2л) появляется напряжение логической единицы, которое, благодаря разрешающему импульсу длительности Т2 на выходе второго одновибратора 12 (фиг,2и), через 5 элемент 2И-ИЛИ 23 поступает на стробирующий вход счетчика 25 импульсов, который начинает подсчет. тактовых импульсов, поступающих на его счетный вход от кварцевого генератора 24 импульсов, Одно- 1 временно на время действия импульса первого одновибратора 11 длительностью.Т1 размыкается бесконтактный ключ 14 и начинается заряд времязадающего конденсатора 18 от источника питания микросхемы через времязадающий резистор 17, При дости>кении напряжением на времязадающем конденсаторе 18 значения, равного величлне напряжения срабатывания внутреннего компаратора испытуемой микросхемы (например, 2!3 от значения напряжения питания); на ее выходе и соответственно выходе измерительного компаратора 21 восстанавливается напря>кениелогического нуля. Счетчик 25 импульсов прекращает работу и в нем фиксируется число импульсов, пропорциональное измеряемой длительности импульса микросхемы. В конце импульса первого одновибратора 11 (фиг.2з), когда на выходе второго одновибратора 12 установилось напряжение логического нуля, через элемент И-HE (фиг.2к) включается обмотка 16. релейного ключа 15, контакты которого шунтируют времязадающий конденсатор

12. Релейный ключ 15 вступает в работу по 3 завершении измерения временного интервала и не оказывает влияния на точность контроля, Время включения этого ключа определяется разностью Т1-Т2 и должно быть достаточным для полного разряда конден- 4 сатора, Параллельное включение бесконтактного 14 и релейного 15 ключей определяется необходимостью одновременного удовлетворения требований высокого быстродействия при размыкании цепи 4 (бесконтактный ключ 14 ) и большой нагрузочной способностью при замыкании (релейный ключ 15 ), Длительность импульса второго одновибратора 12 выбирается из условия 72 > Тои макс

По окончании процесса преобразования в измерителе временных интервалов (фиг,2е) реле коммутационной матрицы 7 отключается, информация с выходов счетчика

25 импульсов через магистраль вводится в 55

ЗВМ, где происходит обработка результата контроля (фиг.2ж) аналогично указанной при измерении статических параметров (сравнение с нормой; анализ и запоминание результата).

Контроль длительности импульсов эталонного компаратора 22 напряжения (Тоэ) производится аналогично со следующими особенностями (фиг,2м), Времязадающий конденсатор 18 посредством релейного переключателя 19 подключаетея к входу эталонного компаратора 22 напряжения, другие реле коммутационной матрицы 7 отключаются, отсоединяя испытуемую микросхему от блоков устройства, причем все переключения завершаются до начала импульса запуска. Порог срабатывания эталонного компаратора 22, определяемый величиной напряжения на выходе источнивеличине напряжения Срабатывания внутреннего компаратора испытуемой микросхемь (2/3 от значения напряжения питания). Величина Тоэ также запоминаетТои = Тоз = 1,1 Сс Rr (мс), где С1 и Rr — значения времязадающего конденсатора {мкФ) и резистора (кОм), По окончании процесса контроля ЭВМ анализирует результаты контроля по отдельным параметрам и определяет группу годности или вид брака испытуемой микросхемы..

Согласно изобретению разработана техническая документация на предлагаемое устройство параметрического контроля, выполненное в виде классификатора интегральных таймеров типа КР1006ВИ1, сма кети рован ы и on робован ы отдельные его узлы. В качестве АЦП использована микросхема 1113ПВ1А, источники питания и режима построены на ЦАП серии 572, нены на микросхемах серии 155, а коммутационные элементы — на герконовых реле, Измерительный преобразователь включает усилители напряжения и тока на операционных усилителях с масштабирующими (нормирующими) резисторами в цепи обратной связи. Формирователь согласует по напря>кению и мощности выход ЭВМ и вход запуска испытуемой микросхемы и

1751704

10

30

40

50 представляет собой транзисторный каскад с общим эмиттером, В качестве эталонного и измерительного компараторов напряжения применены микросхемы типа 521САЗ с большим входным напряжением и малыми входными токами.

Источник опорного напряжения состоит из двух резистивных делителей напряжения, подключенных между источником питания микросхемы и общей точкой. Соотношение резисторов первого делителя, подключенного к входу измерительного компаратора, выбрано равным 1;3 для четкой фиксации логических нуля и единицы на выходе испытуемой микросхемы, Соотношение резисторов делителя (прецизионного), подключенного к эталонному компаратору, выбрано 2:3, что соответствует параметрам внутреннего делителя испы- туемой микросхемы типа КР1006ВИ1, что необходимо для идентичности временных интервалов, генерируемых испытуемой микросхемой и эталонным компаратором, В качестве бесконтактного ключа применена микросхема серии КР590; ЭВМ построена на БИС микропроцессорного набора серии

KP580.

Введение новых элементов и связей выгодно отличает предлагаемое устройство от прототипа за счет возможности контроля временных параметров с необходимой.точностью.

Таким образом, конструктивное выйолнение предлагаемого устройства расширяет функциональные возможности устройства на операциях контроля статических и временных параметров времязадающих интегральных схем, Формула изобретения

Устройство параметрического контроля интегральных схем, содержащее коммутационную матрицу, первый, второй и третий цифроаналоговые преобразователи, первый, второй и третий источники напряжения, измерительный преобразователь напряжения (тока), аналого-цифровой преобразователь, причем выходы коммутацианной матрицы подключены к клеммам для подключения объекта контроля, первая и вторая шины режимов, шина питания коммутационной матрицы соединены соответственно с выходами первого, второго и третьего источников напряжения, измерительная шина коммутационной матрицы соединена с входом измерительного преобразователя напряжения (тока), выход которого соединен с входом аналого-цифроsoro преобразователя,,входы цифроаналоговых преобразователей, управляющие входы коммутационной матрицы и выходы аналого-цифрового преобразователя подключены к входам-выходам 3ВМ, выходы первого, второго и третьего цифроаналоговых преобразователей соединены соответственно с входами первого, второго и третьего источников напряжения, о т л и ч а ю щ ее с я тем, что. с целью расширения функциональных возможностей за счет возможности контроля длительности импульсов на выходе обьекта контроля; в него введены времязадающий конденсатор, релейный и бесконтактный ключи, времязадающий резистор, релейный переклвчатель, источник опорного напряжения, измерительйый и эталонный компараторы напряжения, элемент 2И вЂ”.ИЛИ, счетчик импульсов, кварцевый генератор импульсов, формирователь, первый и второй одновйбраторы, элемент

И-НЕ с обмоткой релейного ключа на выходе, входы формирователя и одновибраторов объединены и подключены к входам-выходам от 3ВМ, вход источника опорного напряжения соединен с шиной питания коммутационйой матрицы, а выходы подключены соответственно к инвертирующему входу" измерительного и неинвертирующему входу эталонного компаратора напряжения, выход формирователя и неинвертирующий ехЕд измерительного компаратора напряжения соединены соответственно с входной и выходной шинами коммутационной матрицы, инвертирующий вход эталонного компаратора напряжения и времязадающая шина коммутационной матрицы соответственно через замыкающий и размыкающий контакты релейного переключателя подключены к времязадающему конденсатору, выходы измерительного и эталонного компараторов напряжения соединены с первым и вторым входами элемента 2И-ИЛИ, третий и четвертый входы которого объединены и подключены к выходу второго одновибратора, выход первого одновибратора присоединен к управляющему входу бесконтактного ключа, а инверсный выход второго и выход первого одновибраторов подключены к первому и второму входам элемента И-НЕ, стробирующий. и счетный входы счетчика импульсов соединены соответственно с выходами элемента 2И-И/ И и кварцевого генератора импульсов, а выходы счетчика импульсов подключены к вхОдамвыхбдам ЭВМ, причем времязадающий конденсатор, бесконтактный и релейный ключи, измерительный и эталонный компараторы напряжения, источник опорного на-. пряжения, общая шина коммутационной матрицы, источники напряжения и измерительный преобразователь напряжения (то1751704

А г 3

Составитель Е, Строкань

Редактор А, Лежнииа . Техред M.MîðãåHòàë . Корректор А, Осауленко

Заказ 2690 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР.

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 ка) соединены с общей точкой устройства, запускающий вход цифроаналогового преобразователя соеДинен с входами-выходами от ЭВМ, времязадающий конденсатор, релейный и бесконтактный ключи параллельно соединены между собой и подключены к первому выводу времязадающего резистора, второй вывод которого соединен с шиной питания коммутационной матрицы.