Турбомолекулярный вакуумный насос
Сущность изобретения по оси корпуса с входным патрубком расположены цилиндрический статор и закрепленный на валу, снабженном опорным узлом и приводом, ротор. Ротор охватывает цилиндрический статор и образует с ним и корпусом последовательно расположены по ходу газа турбомолекупярную и две молекулярные ступени откачки. Молекулярная ступень, расположенная со стороны нагнетателя образована поверхностью статора и многозаходными спиральными канавками, выполненными на поверхности ротора, обращенной к статору . Канавки имеют уменьшающуюся в сторону нагнетания глубину и направлены в сторону, противоположную направлению вращения ротора 3 злф-лы, 1 ил.
(19) SU (11) (5Ц F04D19 04
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИК
ГОСУДАРСТВЕННОК ПАТЕНТНОЕ ведоыство сссР <госпАтент сс
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
1 (21) 4 È0189/29 (22) 14.06.88 (46) 30.12.93 Бк)п. NI 48-47 (72) Харламов БВ (64) УУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ
НАСОС (57) Сущность изобретенвг. по оси корпуса с входным патрубком расположены цигв(ндричесвй ста. тор и закрепленный Hs валу, снабженном опорным . узлом H приводом, pofop. Ротор oxBBYb988T Цилиндрический стэтор и образует с ним и корпусом последовательно рааюложены по ходу газа турбо-. молекупярную и две молекулярные ступени откачки
Молекулярная ступень, рааюложенная со стороны нагнетателя, образовайа поверхностью статора и многозаходными спиральными канавками, вьитолнееами на поверхности ротора, обращенной к статору. Канавки имеют уменьшаощуюся в сторону нагнетания глубину и направлены в сторону, противоположную нап )авлению вращения ротора 3 злф-пы, 1 ил.
1839211
Изобретение относится к вакуумной технике, Цель изобретения — повышение экономичности путем обеспечения нагнетания в атмосферу, обеспечение откачки агрессивных сред и повышение надежности.
На чертеже представлен насос,. продольный разрез, Он содержит корпус 1 с входным патрубком 2, расположенные по оси корпуса 1 цилиндрический статор 3 и закрепленный на валу 4, снабженном опорным узлом 5 и приводом 6, ротор 7, охватывающий цилиндрический статор 3 и образующий с последним и корпусом 1 последовательно расположенные по ходу газа турбомолекулярную и две молекулярные ступени откачки, причем молекулярная ступень, расположенная со стороны нагнетания, образована поверхностью цилиндрического статора 3 и многозаходными спиральными канавками 8, выполненными на поверхности ротора 7, обращенной к цилиндрическому статору 3, имеющими уменьшающуюся в сторону нагнетания глубину и направленными в сторону, противоположную направлению вращения ротора
7, а опорный узел 5 и привод 6 вала 4 ротора
7 могут быть расположены снаружи корпуса
1. Кроме того, внутренние поверхности корФормула изобретения
1. ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС, содержащий корпус с входным патрубком, расположенные по оси корпуса цилиндрический статор и закрепленный на валу, снабженном опорным узлом и приводом, ротор, охватывающий цилиндрический статор и образующий с последним и корпусом последовательно расположенные по ходу газа турбомолекулярную и две молекулярные ступени откачки, отличающийся тем, что, с целью повышения экономичности путем обеспечения нагнетания в атмосферу, молекулярная ступень, расположенная со стороны нагнетания, образована поверхностью цилиндрического статора и многозаходными спиральными канавками, выполненными йа поверхности ротора, обращенной к ципуса 1, ротора 7 и цилиндрического статора
3 снабжены защитным покрытием, а опорный узел 5 — фитилем, фитиледержателем, прижимающим фитиль к поверхности вала 4
5 ротора 7, и агрессивностойкой смазкой.
Насос работает следующим образом.
Газ из откачиваемого объема поступает в корпус 1 через входной патрубок 2 и, про10 ходя последовательно через турбомолекулярную и две молекулярные ступени, нагнетается преимущественно в атмосферу, т.е. наличия фарвакуумных средств откачки не требуется. Эффективность работы молекулярнрй ступени со стороны нагнетателя обеспечивается конфигурацией спиральных канавок 8 на роторе 7. Наличие защитного покрытия и агрессивностойкой смазки опорного узла 5 позволяет откачивать лю20 бые, даже агрессивные газы. Подача смазки к опорам осуществляется при помощи фитиля, прижимаемого фитиледержателем к поверхности вала 4 ротора 7. Форвакуумная откачка может использоваться лишь при за25 пуске насоса, что приводит к повышению его экономичности. (56) Авторское свидетельство СССР
hh 1384798, кл. F 04 0 19/04, 1985, 30 линдрическому статору, имеющими уменьшающуюся в сторону нагнетания глубину и направленными в сторону, противоположную направлению вращения ротора.
2, Насос по п.1, отличающийся тем, что опорный узел и привод вала ротора расположены снаружи корпуса.
3. Насос по п,1, отличающийся тем, 40 что, с целью обеспечения откачки агрессивных газов, внутренние поверхности корпуса, ротора и цилиндрического статора снабжены защитным покрытием, а опорный узел — фитилем и агрессивностой. 45 кой смазкой.
4. Насос по п,3. отличающийся тем, что, с целью повышения надежности, опорный узел снабжен фитиледержателем, прижимающим фитиль к поверхности вала
50 ротора.
1839211
Составитель В.Кряковкин
Техред М.Моргентал Корректор M.MàêcèìèUjè e÷
Редактор T. Юрчикова
Заказ 3405
Тираж Подписное
HflO "Поиск" Роспатента
113035, Москва, Ж 35, Раушская наб., 4/5
Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101
