Турбомолекулярный насос

 

Сущность изобретения: в корпусе с входным патрубком размещен ротор в виде установленных на валу рабочих колес. Колеса в высоковакуумной области выполнены турбомолекулярными, в форваккумной - молекулярными . Между пакетами колес установлена промежуточная ступень в виде усеченного к периферии диска с выполненными на его наружной поверхности криволинейными каналами, равномерно распределенными относительно продольной оси насоса.2 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (я)5 F 04 0 19/04

ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕ

ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4952481/29 (22) 28.06.91 (46) 23.04.93. Бюл. ЬЬ 15 (71) Научно-исследовательский институт энергетического машиностроения МГТУ им.

Н.Э.Баумана (72) О.А.Демихова и P.Ê.Äåìèõîâ (56) Авторское свидетельство СССР

М 294958, кл. F 04 0 19/04, 1978.

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкции турбомолекулярного вакуумного насоса (ТМН).

Цель изобретения —: улучшение откачной характеристики.

Изобретение поясняется чертежами, на которых представлены поперечные и продольные сечения насоса (фиг.1 и 2).

Предлагаемый насос содержит корпус

1 с входным патрубком и расположенный по оси насоса ротор 2. Ротор 2 установлен в .Подшипниковом узле с встроенным электродвигателем 3. Проточная полость насоса состоит из пакетов турбомолекулярных колес 4 и молекулярных колес 5, а также переходной ступени 6 между ними. Насос работает следующим образом. После создания предварительного разрежения в корпусе насоса 1 ротор 3 раскручивают до номинальных оборотов. Молекулы газа, откачанние турбомолекулярными колесами, попадают на переходную ступень 6. За счет взаимодействия с каналами 7 переходной

„„5Q ÄÄ 1810610 А1 (54) ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ НАСОС (57) Сущность изобретения: в корпусе с входным патрубком размещен ротор в виде установленных на валу рабочих колес. Колеса в высоковакуумной области выполнены турбомолекулярными, в форваккумной — молекулярными, Между пакетами колес.уста-. новлена промежуточная ступень в виде усеченного к периферии диска с выполненными на его наружной поверхности криволинейными каналами, равномерно распределенными относительно продольной оси насоса. 2 ил. ступени 6 молекулы получают импульс в направлении окна всасывания 8 молекулярной ступени 5. В результате увеличивается вероятность откачки этих молекул молекулярной Я ступ ен ью.

Предложенный насос позволяет умень- . шить сопротивление на входе в молекуляр- а ную ступень на 40 по сравнению с 0ф прототипом. ° eel

Формула изобретения и

Турбомолекулярный насос, содержащий корпус с входным патрубком и разме-,, щенный в корпусе ротор в виде С установленных на валу рабочих колес, из которых колеса в высоковакуумной области ) выполнены турбомолекулярными, а в фор- вакуумной — молекулярными, отличающийся тем, что, с целью улучшения откачных характеристик, между пакетами турбомолекулярных и молекулярных колес установлена промежуточная ст пень в виде усеченного к периферии диска с выполнен1810610

Редактор M.Êoçëoâà

Техред М.Моргентал Корректор П. Гереши

Заказ 1432 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб.. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 ными на его наружной поверхности криволинейными каналами, равномерно распределенными относительно прОдольной оси насоса.