Двухступенчатый турбомолекулярный вакуумный насос
Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет улучшить откэчные характеристики турбомолекулярного насоса. На внутренней поверхности корпуса 1 с входным патрубком 2 расположены статорные диски 3 турбомолекулярной ступени, а также статор (С) 4 молекулярной ступени. По оси корпуса 1 установлен ротор (Р) 6 с роторными лопатками (Л) 9. Торцовые поверхности 11 и 12 С4 и Р 6 на входе в молекулярную ступень выполнены коническими с образованием входного канала, сужающегося в сторону нагнетания, причем торцовая коническая поверхность 11 С 4 выполнена сужающейся в сторону всасывания . Внешний диаметр молекулярного участка Рб превышает внешний диаметр Л 9 роторных дисков. 1 з. п. ф-лы, 1 ил.
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК Ы 1707257 А1 (s I >s F 04 0 19/04
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ
410 ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ
ПРИ ГКНТ СССР
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4771487/29 (22) 20,12,89 (46) 23.01.92. Бюл. М 3 (71) Научно-и роизводственное объединение
"Вакууммашприбор" (72) В.И. Гагарин, Б.Д. Жлукто и А.Ф. Кургуз (53) 621,527.8 (088,8) (56) Авторское свидетельство СССР
N 1517437, кл. F 04 D 19/04, 1988. (54) ДВУХСТУПЕНЧАТЫЙ ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАЮУМНЫЙ НАСОС (57) Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет улучшить откачные характеристики турбомолекулярного насоса.
На внутренней поверхности корпуса 1 с входным патрубком 2 расположены статорные диски 3 турбомолекулярной ступени, а также статор(С) 4 молекулярной ступени. По оси корпуса 1 установлен ротор (P) 6 с роторными лопатками (Л) 9. Торцовые поверхности 11 и 12 С4 и P 6 на входе в молекулярную ступень выполнены коническими с образованием входного канала. сужающегося в сторону нагнетания, причем торцовая коническая поверхность 11 С 4 выполнена сужающейся в сторону всасывания. Внешний диаметр молекулярного участка Рб превышает внешний диаметр Л 9 роторных дисков. 1 з. п. ф-лы, t ил.
1707257
Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям турбомолекулярных вакуумных насосов, Целью изобретения является улучшение откачных характеристик насоса, На чертеже представлен, насос, продольный разрез.
Двухступенчатый турбомолекулярный вакуумный насос содержит корпус 1 с входным патрубком 2, размещенные на внутренней поверхности корпуса статорные гопаточные циски 3 первой ступени откачки и статор 4 второй (молекулярной) ступени с многоэаходными спиральными канавками 5 на внутренней поверхности, имеющими уменьшающуюся по ходу газа глубину, и ротор 6 с валом 7, установленные по оси корпуса 1 на опорах 8, роторные лопаточные диски 9, и цилиндрический участок 10 ротора 6, ответный статору 4 второй (молекулярной) ступени. Поверхность конусного торцового участка 11 цилиндра ротора второй ступени и внутренняя поверхность 12 входной части статора второй ступени выполнены коническими с вершинами, обращенными в сторону входного патрубка 2, причем угол а между осью вращения и образующей поверхности торцового участка 11 больше угла Р между осью вращения и образующей внутренней поверхности 12 входной час и статора второй ступени, Насос работает следующим образом, Гаэ из откачиваемого объема поступает в насос через входной патрубок 2 на корпусе 1, откуда роторными лопатками 9 переносится ко второй (молекулярной) ступени.
Молек jllbl пспэлают на поверхность торцового участка 11 цилиндра ротора второй ступени, отразившись от нее попадают на внутреннюю поверхность 12 входной части
"тэтора второй ступени и отразившись от нее попадаот во вторую (молекулярную) ступень откачки, далее, ударяясь о цилинд.зическую поверхность вращающегося цилиндра ротора 6, молекулы получают дополнительный импульс в сторону вращения и, двигаясь одновременно по касательной к ней и по радиусу, тем самым переносятся к выходу из насоса.
Внешний диаметр цилиндрического уч-".ст,:а ротора 10 больше внешнего диаметра лопаток рсторных дисков 9, что обеспечивает расположение входа статора 4 второй ступени в зоне максимального давлен:. я газа на выходе первой ступени откачки, 5
Улучшение откачных характеристик осуществляется за счет того, что откачиваемый первой ступенью откачки газ, направленный параллельно оси вращения. ударяясь о конусную торцовую поверхность ротора второй ступени, отбрасывается в направлении наклонной поверхности статора второй ступени, отразившись от которой попадает во вторую ступень откачки. Тем самым поток от первой ступени,рткачки ко второй становится направленным ээ счет конусной конструкции направляющих поверхностей, при этом угол между осью вращения и поверхностью конусного торцового участка для выполнения вышеуказанных условий должен быть больше угла между осью вращения и наклонной поверхностью стэторной части второй ступени, Эффект откачки будет большим, если диаметр второй ступени откачки будет больше диаметра первой ступени. так как при этом условии весь откачиваемый поток попадает во вторую ступень откачки, По сравнению с известным преимущество предлагаемого вакуумного насоса состоит в том. что ликвидируется застойная зона на выходе первой ступени откачки, улучшается откачная характеристика эа счет оптимального формирования откэчиваемого потока.
Таким образом, предлагаемая конструкция позволяет улучшить откачные характеристики насоса, а следовательно. получить экономический эффект за счет увеличения его производительности.
Формула изобретения
1. Двухступенчатый турбсмолекулярный вакуумный насос. содержащий корпус с входным патрубком. размещенные на внутренней поверхности корпуса статорные диски турбомолекулярной ступени и статор молекулярной ступени и установленный по оси корпуса ротор с облопаченными роторными дисками и цилиндрическим участком молекулярной ступени. причем торцовые поверхности статора и ротора на входе в молекулярную ступень выполнены коническими с образованием входного кольцевого канала, сужающегося в сторону нагнетания, отличающийся тем, что, с целью улучшения откачных характеристик, торцовая коническая поверхность статорэ выполнена сужающейся в сторону всасывания.
2. Насос по и. 1, отличающийся тем, что внешний диаметр цилиндрического участка ротора превышает внешний диаметр лопаток роторных дисков.
