Вертикальный насос

 

Изобретение относится к вакуумной технике и предназначено для сжатия и перекачки особо чистых газов в микроэлектронной промышленности. Насос содержит корпус 1 и установленный в нем по оси на гибком стержне 3, опирающемся на подпятник 4, ротор (Р) 2 с внутренней полостью. Внутренняя полость ротора Р 2 разделена поперечными перегородками (П) 6 на камеры (К) 7 и каждая К 7 снабжена радиальной напорной трубкой 8, вход которой расположен на периферии К 7, а выход - в центральной части соседней К 7. Каждая К 7 снабжена дополнительной поперечной перегородкой 16 с периферийными отверстиями 15, каждая П 6 снабжена газодинамическим уплотнением в виде неподвижной шайбы 17. 3 з. п. ф-лы, 2 ил.

Изобретение относится к вакуумной технике. Целью изобретения является улучшение откачных характеристик насоса. На фиг.1 и 2 изображены варианты выполнения насоса, продольный разрез. Вертикальный молекулярный насос содержит корпус 1 и расположенный в нем ротор 2 с внутренней полостью установленный на гибком стержне 3, опирающемся на подпятник 4. Ротор приводится во вращение электродвигателем 5. Внутренняя полость ротора 2 разделена перегородками 6 на камеры 7, в которых установлены радиальные напорные трубки 8. Вход 9 напорной трубки 8 расположен на периферии камеры 7, а выход 10 этой напорной трубки расположен в центральной части соседней камеры. Аналогично расположены вход и выход других трубок, установленных в соседних камерах. Трубка 11 последней камеры соединена с центральной трубкой 12 для выхода сжатого газа. Подача исходного газа осуществляется в центральную часть первой камеры по трубке 13. В варианте выполнения насоса, изображенном на фиг.2, между камерами 7 выполнены полости 14. Полость 14 сообщается с камерой 7 через отверстие 15 в дополнительной перегородке 16, Вблизи перегородок 6 и 16 на центральной трубке 12 по оси корпуса 1 установлены неподвижные шайбы 17. Насос работает следующим образом. Ротор 2 раскручивается с помощью высокочастотного электродвигателя 5. При вращении ротор 2 опирается поверхностью стержня 3 на подпятник 4. Через входную трубку 13, установленную в корпусе 1, исходный газ поступает в центральную часть первой камеры 7. Под действием центробежного поля вращающегося ротора газ отбрасывается на периферию к стенке ротора 2, разгоняется до скорости стенки и сжимается, увеличивая свое давление. Газ через вход 9 поступает в напорную трубку 8, дополнительно увеличивая свое давление благодаря динамическому напору, откуда через выход 10 подается в центральную часть соседней камеры, образующей следующую ступень повышения давления газа. По мере движения газа через ступени насоса происходит последовательное повышение его степени сжатия. В последней ступени повышения давления газ отбирается напорной трубкой 11, соединенной с центральной трубкой 12, по которой газ повышенного давления выводится из корпуса 1. В варианте выполнения насоса, показанном на фиг.2, исходный газ поступает через входную трубку 13 в центральную часть полости 14. Под действием центробежного поля вращающегося ротора 2 газ, поступивший в полость 14, отбрасывается на периферию ротора к его стенке, где происходит его сжатие и повышение давления. Газ повышенного давления через отверстия 16 в перегородке 15 поступает в камеру 17 и далее через вход 9 в напорную трубку 8 и через вход 10 в центральную часть полости 14 следующей ступени насоса. В последней камере газ отбирается напорной трубкой 11, соединенной с центральной трубкой 12, по которой газ повышенного давления выводится из корпуса 1. Для уменьшения перетечек через центральные части полостей и камер вблизи перегородок на центральной трубке 12 по оси корпуса 1 установлены неподвижные шайбы 17, образующие газодинамическое уплотнение. Напорные трубки 8 соседних камер 7 могут быть расположены под углом 80^о относительно оси ротора происходит выравнивание газодинамических сил взаимодействия между вращающимися элементами ротора и неподвижными напорными трубками, что дополнительно повышает устойчивость насоса в рабочем режиме. Благодаря использованию последовательно расположенных полостей камеры с внутренними напорными трубками обеспечивается последовательное повышение степени сжатия при преимущественно ламинарном режиме газовых потоков в насосе, в результате чего уменьшается вероятность загрязнения особо чистых газов в ступенях повышения давления продуктами, выделяющимися при взаимодействии проходящего газа с элементами насоса. Проходящий через насос газ дополнительно очищается от механических примесей, которые оседают под действием сильного центробежного поля сил на внутренние стенки ротора в полостях и камерах насоса, что улучшает откачные характеристики насоса при работе на особо чистых газах. (56) Авторское свидетельство СССР N 1036956, кл. F 04 В 19/04, 1981.

Формула изобретения

1. ВЕРТИКАЛЬНЫЙ НАСОС, содержащий корпус и установленный в нем по оси ротор с внутренней полостью, отличающийся тем, что, с целью улучшения откачных характеристик, внутренняя полость ротора разделена поперечными перегородками на камеры и каждая камера снабжена радиальной напорной трубкой, вход которой расположен на периферии камеры, а выход - в центральной части соседней камеры. 2. Насос по п.1, отличающийся тем, что каждая камера снабжена дополнительной поперечной перегородкой с периферийными отверстиями, разделяющими камеру на полость входа собственной напорной трубки и полость выхода напорной трубки соседней камеры. 3.Насос по п.1, отличающийся тем, что напорные трубки соседних камер расположены под углом 180^oС. 4.Насос по п.2, отличающийся тем, что каждая перегородка снабжена газодинамическим уплотнением в виде неподвижной шайбы, установленной по оси корпуса.

РИСУНКИ

Рисунок 1, Рисунок 2

MM4A Досрочное прекращение действия патента Российской Федерации на изобретение из-за неуплаты в установленный срок пошлины за поддержание патента в силе

Номер и год публикации бюллетеня: 31-2000

Извещение опубликовано: 10.11.2000        

---