Механизм прямолинейного перемещения детали при нанесении покрытий в вакууме

 

Изобретение касается нанесения покрытий в вакууме и чистых технологических средах . Цель изобретения - повышение точности позиционирования при обеспечении возможности контроля величины перемещения. Поставленная цель достигается тем. что упругие элементы выполнены в виде бипластин, жестко связанных между собой, с возможностью подачи на бипластины электрического.напряжения регулируемой величины, причем бипластины могут быть выполнены из металлов с различными коэффициентами линейного расширения или в виде биморфов - одна пластина металлическая, а другая -пьезокерамическая, а угол наклона пластин к горизонтали будет 40-50°. 2 ил.

союз советских

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (ми С 23 С 14/50

ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕ

ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР) - @ИФйИ

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4952538/21 (22) 28.06.91 (46) 15.07.93. Бюл, hb 26 (71) Московский институт электронного машиностроения (72) В.В, Буланкин, Е.Н. Ивашов, Н.В. Василенко, С,M. Оринчев и С.В. Степанчиков (56) Авторское свидетельство СССР

М 337448, кл. С 23 С 14/50, 1972.

Авторское свидетельство СССР

%497551, кл. Н 05 К 3/00, 1973. (54) МЕХАНИЗМ ПРЯМОЛИНЕЙНОГО ПЕРЕМЕЩЕНИЯ ДЕТАЛИ ПРИ НАНЕСЕНИИ

ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ

Изобретение касается нанесения покрытий в вакууме и "чистых" технологических средах.

Цель изобретения — повышение точности позиционирования при обеспечении воэможности контроля величины перемещения.

Введение в механизм прямолинейного перемещения биметаллических пластин или биморфов обеспечивает изменение кривизны бипластин при подаче на них электрического напряжения регулируемой величины, а следовательно. возможность перемещения стержня в прецизионном возвратно-поступательном режиме работы, что и позволяет достичь укаэанчую в формуле изобретения цель -повышение точности позиционирования при обеспечении воэможности контроля величины перемещения.. Ж „1827400 А1 (57) Изобретение касается нанесения покрытий в вакууме и "чистых" технологических средах. Цель изобретения — повышение точности позиционирования при обеспечении возможности контроля величины перемещения. Поставленнаяя цель достигается тем, что упругие элементы выполнены в виде бипластин, жестко связанных между собой, с возможностью подачи на бипластины электрического,напряжения регулируемой величины, г ричем бипластины могут быть выполнены из металлов с различными коэффициентами линейного расширения или в виде биморфов — одна пластина металлическая, а другая — пьезокерамическая. а угол наклона пластин к горизонтали будет 40 — 50О, 2 ил.

На фиг. 1 изображен механизм с биметаллическими пластинами: на фиг. 2 — механизм с биморфами.

Механизм прямолинейного перемещения содержит корпус 1, внутри которого расположен подвижный стержень 2 на опорах в виде упругих пружин 3. Упругие пружины CO

3 выполнены в виде бипластин 4 с углом Я наклона к горизонтали 40 — 50О, жестко связанных между собой с возможностью подачи,фь, на них электрического напряжения регулиру- Q емой величины от источника напряжения 5.

Бипластины 4 (фиг. 1) выполнены из металлов с различными коэффициентами линейного расширения или в виде биморфов (фиг. 2) — б одна пластина 6 — металлическая, а другая 7 пьезокерамическая, Углы наклона бипластин к горизонтале 40-50 выбраны таким образом, чтобы перемещение стержня 2 было максимальным.

1827400

Механизм прямолинейного перемещения детали при нанесении покрытий в вакууме работает следующим образом.

При подаче на бипластины 4 электрического напряжения регулируемой величины 5 от источника тока 5, происходит их изгиб, который показан на фиг. 1, 2 пунктирной линией. При этом стержень 2 начинает строго прямолинейно перемещаться, 10

В первом механизме (фиг, 1) изгиб бипластин происходит в виду того, что пластины (биметаллические) имеют различные коэффициенты линейного расширения, за счет прохождения по ним электрического тока они нагреваются и изгибаются, Во втором механизме (фиг. 2) изгиб бипластин 4 происходит в виду того, что одна из них — 7, пьезокерамическая. При подаче на пьезопластину 7 электрического напряже- 20 ния происходит уменьшение или увеличение ее длины (пьезоэффект) что в совокупности обеспечивает изгиб бипластины 4 (биморфа) на заданную величину„в соответствии с величиной поданного электрического напряжения и, как следствие прямолинейное перемещение стержня ".

Применение предложенного механизма прямолинейного перемещения детали при нанесении покрытий в вакууме позволяет повысить точность позиционирования при обеспечении возможности контроля величины перемещения, Устройство целесообразно использовать при создании экологически "чистого" технологического оборудования электронной техники.

Формула изобретения

Механизм прямолинейного перемещения детали при нанесении покрытий в вакууме, содержащий корпус с жестко закрепленными на нем бипластинами, источник электрического тока, к клеммам которого подключены бипластины, и деталь, отличающийся тем, что, с целью расширения эксплуатационных возможностей, деталь выполнена в виде стержня и установлена на бипластины внутри полого корпуса, а пластины выполнены из металлов и закреплены на корпусе под углом 40 — 50 .

1827400

Составитель В. Буланкин

Техред M.Моргентал Корректор Н. Гунько

Редактор

Заказ 2346 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, ул,Гагарина, 101