Способ получения электропроводящих покрытий

 

О П И С А Н И Е 255394

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союа Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства ¹

Заявлено 01.VII.1968 (№ 1252425/26-9) Кл. 2lc, 54/05 с присоединением заявки М

МПК Н 01с

УДК 621.316.849 (088.8) Приоритет

Опубликовано 28.Х.1969. Бюллетень М 3;3

Дата опубликования описания 6.1V.1970

Комитет по делам иаобретений и открытий при Совете Министров сссР

Авторы изобретения

Б. П. Крыжановский и Л. А. Черезова

Заявитель

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ЭЛЕКТРОПРОВОДЯЩИХ ПОКРЫТИЙ

Настоящее изобретение относится к технологии изготовления радиоэлектронной аппаратуры, а именно к способам получения электропроводящих покрытий на диэлектриках, используемых, например, в качестве электродов фотоэлектронных и JIIoMHHHcUpHTHblx приборов.

Известны способы получения электропроводящих покрытий, основанные на нанесении на поверхность диэлектриков тонких слоев ме талла или полупроводникового материала.

Однако известными способами невозможно получить покрытие, устойчивое к восстановительной атмосфере при .повышенных температурах. Так, например, полупроводниковые слои двуокиси олова и окиси индия разрушаются в среде водорода, окиси углерода, сернистого водорода и других восстановителей при температуре выше 300 С, а слои окислов вольфрама и молибдена в этих условиях постепенно восстанавливаются до металла.

Целью настоящего изобретения является разработка способа получения на поверхности диэлектриков покрытия, удельное поверхностное сопротивление которого составляет

10- — 101о ом, а электрические свойства его не меняются при действии восстановительной атмосферы в интервале температур от 20 до

1000 С, Для этого на поверхности диэлектрика вначале наносят слой пз смеси двуокиси кремния и двуокиси титана (SION — TiO ), который затем обрабатывается в атмосфере сухого амм пака при температуре 800 — 1000 С. Слой смеси Si02 — TiO можно нанести, например, химическим методом. путем гидролиза спиртового раствора, содержащего этиловые эфиры ортокремниевой и ортотитановой кислот.

l0 На центр поверхности горизонтально расположенной вращающейся детали подается дозированное количество раствора. В результате растекания раствора, испарение растворителя (спирта) гидролиза эфира Si: (ОС. Н„-), 1s Ti(OC H„-) и последующего прогрева при температуре 350 С на поверхности диэлектрика образуется слой смеси двуокиси кремния и двуокиси титана, толщина которого зависит от общей концентрации эфиров, количества

20 подаваемого раствора и скорости вращения детали. Возможно также нанесение слоя смеси поливом или одновременным катодным распылением титана и кремния.

После обработки покрытия в потоке сухого

2s аммиака при 800 — 1000 С образуется слой смеси нитрида титана и двуокиси кремния (ЯО..— Т1М). Время обработки для полного азотирования покрытия зависит от температуры, обработки аммиаком, толщины исход30 ного слоя и концентрации в нем дву окиси ти255394

Предмет изобретения

Составитель Э. Фридолина

Техред Л. В, Куклина Корректор С. А. Кузовенкова

Редактор В. Кузнецов

Заказ 650/12 Тираж 480 Подписное

1Д1ИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва К-35, Раугнская наб., д. 4)5

Типография, пр. Сапунова, 2 тана. Чем ниже содержание Ti02 в слое, тем выше электросопротивление и меньше светопоглощение покрытия.

В условиях вакуума (10 4 мл рт. cr.) и восстановительной атм осферы покрытия

SiO — Т1М устойчивы до температуры 1000 С.

Слои SiOq — Т1Х обладают высокой механической прочностью и адгезией к таким диэлектрикам, как плавленный кварц, корундиз и другая керамика на основе окиси алюминия.

Для удаления слоев требуется шлифовка порошком электрокорунда.

Длительное пребывание в воде не меняет свойств покрытия.

Описанный способ получения электропроводящих слоев может быть использован для создания стабильных резисторов, прозрачных электродов и покрытий, служащих для выравнивания высоковольтного градиента потенциала на IlOBppxHocTH диэлектриков в восстановительной среде при повышенных температурахх.

Способ получения электропроводящих покрытий, отличающийся тем, что, с целью по10 вышения поверхностной электропроводности диэлектриков и устойчивости их к восстановительной среде (например водорода, окиси углерода, углеводородов), на поверхность диэлектриков наносят слой из смеси двуокиси

15. кремния и двуокиси титана и подвергают его обработке в атмосфере сухого аммиака прп температуре 800 — 1000 С.