Способ нанесения изоляционных покрытий

 

284077

ОП ИСАН И Е

ИЗОБРЕТЕЫИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Соаетскин

Социалистическиа

Республин

Зависимое от авт. свидетельства ¹

Заявлено 20Х.1969 (№ 1331128/26-9) Кл. 21а, 75 с присоединением заявки ¹

МПК Н 05k 3/14

УДК 621.359(088.8) Поиоритет

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

Опу бликовано 14.Х.1970. Бюллетень М 32

3ата опубликования описания 29.1.1971

Авторы изобретения

Д. В. Бантов, Г. М. Мартакова, Г, Х. Новик, А. Д. Слоним и С. А. Шапиро

Заявитель

СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ИЗОЛЯЦИОННЫХ ПОКРЬ!ТИЙ

И КОПИРОВАЛЬНЬ1Х ЭМУЛЬСИЙ НА ПОДВИЖНУЮ

ПОДЛОЖКУ В ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКОМ ПОЛЕ

Изобретение может быть использовано в электротехнике и электронной технике для нанесения копировальных эмульсий при очувствлецип заготовок печатных плат, при очувствлении полупроводниковых пластин, при произ- 5 водстве интегральных схем и масок для тонкопленочной технологии, а также при нанесении тонких изоляционных покрытий.

Известны способы нанесения изоляционных покрытий и копировальных эмульсий на под- 10 ложку в электрическом поле.

Однако известные спо-обы имеют тот недостаток, что для обеспечения достаточной равномерности по толщине копировального или изоляционного слоя, наносимого на подложку, 15 необходимо придавать распылителю возвратно-поступательное движение, поперечное по отношени.о к движению подложки.

При нанесении же слоев с помощью щелевых или лотковых распылителей из-за неопре- 20 деленного расположения на коронирующей кромке локальных факелов распыления, наблюдается прп перемещении подложки по отношению к распылителю «продольная полосчатость» 1то есть неравномерность по толщине 25 слоя поперек подложки), о. обенно заметная при нанесении тонких копировальных слоев.

С целью получения равномерного по толщине,слоя покрытия по предлагаемому способу распыляемые частицы сепарируют, направ- 30 ляя их за счет электростатических спл снизу вверх, а факел распыления этих материалов пропускают через щель заряженного диэлектрического экрана.

На фиг. 1 показан процесс нанесения покрытия по предлагаемому способу; на фиг. 2 — статический отпечаток факела распыления на подложке.

Покрываемую заземленную подложку 1 равномерно перемещают над распылителем 2, np1I этом распыляемые частицы жидкости за счет электростатических сил перемещаются снизу вверх.

При заданном напряжении между распылителем и,подложкой на нее мог3 т попасть частицы, непревышающпе определенного размера, так как происходит сепарация частиц по размеру.

Одновременно на пути распыляемых частиц. образующих факел распыления 8, устанавливают диэлектрические экраны 4, выполненные пз материалов с вы оким удельным сопротивлением, поверхность которы. . заряжается за с- ет оседающих в первый момент частиц со знаком, одноименным с их зарядамп. прп этом поле и соогветственно факел распыления мсжду распыптптезем и подложкой деформируются так, что статический отпечаток факела б на подложке представляет собой сплющенное кольцо, длинные стороны которого рас284077

Фца 1

Фиа 2

Составитель А. Мерман

Тсхрсд Л. Я. Левина

Корректоры: Е. Ласточкина и М. Коробова

Редактор Т. И. Морозова

Заказ 3674/7 Тираж 480 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, уК-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 полагаются параллельно щели между диэлектрическими экранами. Края диэлектрических экранов, образующих щель, заряжаются сильнее там, где осаждается больше частиц, а это, в свою очередь, приводит к такой деформации поля, которое обеспечивает равномерное распределение частиц по сечению сплющенно-о факела распыления и соответственно равномерное и; осаждение на подложку.

В связи с уменьшением величины частиц, осаждаемых на подложку, достигается более высокая равномерность по толщине тонких покрытий, толщиной до 1 — 2 лгклг.

Благодаря деформированию факела распыления и равномерному распределению частиц вдоль статического отпечатка достигается более равномерное по толщине покрытие на всей площади подложки, что позволяет обойтись без дополнительного возвратно-поступательного перемещения распылителя, необходимого при применении распылителей, дающих кольцевой статический отпечаток.

В свою очередь указанные технические пре5 имущества позволяют получать значитсльпьш экономический эффект благодаря уггрощешгго конструкции распылителя и повышению качества копировальных и изоляционных слоев, Предмет изобретения

Способ нанесения изоляционных покрытий и копировальных эмульсий на подвижную подложку в электростатическом поле, от.ггг гагои4ийся тем, что, с целью получения равпомерТ5 ного по толщине слоя покрытия, распыляемыс частицы сепарируют, направляя пх за счет электростатических сил снизу вверх, а факел распыления материалов, пропускают через щель заряженного диэлектрического экрана.