Устройство для программного управления электроннолучевыми установками
О П И С А Н И Е 285352
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Peoay6asa
Зависимое от авт. свидетельства 5с
Кл. 42m, 9/06
Заявлено 29.1V.1969 (¹ 1327101/18-24) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 29.Х.1970. Бюллетень № 33
Дата опубликования описания 25.XII.1970
МПК С 061 9/06
УДК 681.326,3(088.8) Еотвитет ло делаю изобретеиий и открытий лри Совете Миииотров
СССР
Авторы изобретсшгя Ф. Н. Киселевский, В. П. Широчии, В, П. Симоненко, В. И. Маньковский, Д. А. Бенносеико, H. P. Шныдкий, В. М. Черняхойскнй и А. Г. Хазай
Киевский политехнический институт имени 50-летия Ве тиской
Октябрьской социалистическ,й революции
Заявитель
v «е
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПРОГРАММНОГО УПРАВЛЕНИЯ
ЭЛЕКТРОННОЛУЧЕВЫМИ УСТАНОВКАМИ
Изобретение относится к устройствам программного управления с сохраняемой программой и применяется при управлении процессами электроннолучевой обработки и для изготовления микросхем.
Известны устройства для программного управления электроннолучевыми установками, содержащие блок ввода информации, универсальный вычислитель, выход которого соединен с преобразователем код — аналог, связан- 10 ным с электроннолучевой установкой, подключенной к блоку технологического режима, Известные устройства не обеспечивают автоматической обработки большого числа элементов за одну зарядку вакуумной камеры 15 электроннолучевой установки и имеют недостаточную точность совмещения истинного начала координат рабочей поверхности с началом координат отклоняющей системы.
Предложенное устройство отличается тем, 20 что в него введен датчик вторичных электронов, соединенный с дискриминатором уровня видеосигнала, подключенным к прецизионному измерителю отклонения, связанному через блок управления выработкой корректирующего воз- 25 цействия с универсальным вычислителем, подключенным через блок управления к прецизионному измерителю отклонений.
Сущность изобретения поясняется чертежами: на фиг. 1 — блок-схема устройства про- 30 грамм ного управления электроннолучевыми установками; на фиг. 2 показана одна из рабочих площадей обработки.
Блок управления 1 соединен с универсальным вычислителем 2, быстродействующим программоносителем ч, блоком управления выраооткой корректирующих воздействий 4 и блоком ввода 5. Пульт управления б,подключен к блоку ввода, связанному с быстродействующим программоносителем, который подсоединен к блоку управления 1, универсальному вычислителю и блоку технологического режима 7. Универсальный вычислитель соединен с блоком технологического режима, блоком управления шаговым приводом 8, цифроаналоговым преобразователем 9, прецизионным измерителем отклонений 10 и видеоконтрольным блоком 11. Блок технологического режима, блок управления шаговым приводом
8, цифро-аналоговый преобразователь соединены с электроннолучевой установкой 12. Выход датчика вторичных электронов 13 подключен к дискриминатору уровня видеосигнала
14, который соединен с видеоконтрольным блоком и прецизионным измерителем отклонений. Последний имеет двустороннюю связь с блоком управления выработкой корректиру-. ющих воздействий 4, На фиг. 2 показано положение реперной метки 15, нанесенной с заданной точностью на изделии, относительно
2853Û осей координат 1б отклоняющей системы электроннолучевой установки и осей координат 17 рабочей площади.
Π— центр осей коорди; ат отклоняющей системы электроннолучевой p становки;
Π— центр осей координат действительного положения рабочей площади;
ЛХ и ЛУ вЂ” отклонение действительного центра осей координат рабочей площади от осей координат отклоняющей системы.
Перед обработкой изделия на его поверхность наносят реперные метки, определяющие положение рабочих площадей. Прогр амму, записанную на перфоленте, при помощи блока ввода 5 вводят в быстродействующий программоноситель 3. Дальнейшая работа устройства программного управления осуществляется по сигналам блока управления 1 в соответствии с программой. В блок управления выработкой корректирующего воздействия 4 запи- 20 сывают информацию о положении и размерах рабочей площади, поступающую из быстродействующего программоносителя 3. В соответствии с этой информацией блок управления выработкой корректирующего воздействия 25
4 записывает в универсальный вычислитель координаты начальной точки поиска реперной метки, Эти координаты, выраженные в цифровом виде, преобразуют в цифро-аналоговом преобразователе в отклоняющий ток, который 30 поступает в отклоняющую систему электроннолучевой установки и отклоняет луч в начальную точку поиска реперной метки. Блок управления 1 переключает блок управления выработкой корректирующего воздействия 4 в 35 режим поиска реперной метки. Поиск представляет собой дискретное перемещение электронного луча от начальной точки по площадке поиска параллельно осям Х и У, Поиск ведется сначала по одной оси, затем по другой. 40
При попадании луча на реперную метку датчик вторичных электронов выдает видеосигнал на дискриминатор уровня видеосигнала, который выделяет полезный сигнал и подает его в прецизионный измеритель корректирующего 45 воздействия. Последний производит опрос дискриминатора уровня видеосигнала в каждой точке поиска. Площадь поиска выбирают в зависимости от погрешности стола электроннолучевой установки.
Прецизионный измеритель корректирующего воздействия измеряет величины отклонения
ЛХ, ЛУ. Найденные величины запоминает блок управления выработкой корректирующего воздействия 4 и выдает сигнал о конце поиска в блок управления 1. Этот сигнал переключает устройство программного управления в режим обработки рабочей площади. При распределении информации блоком управления 1 между блоками устройства блок управления выработкой корректирующего воздействия 4 производит коррекцию начальных и конечных точек каждого участка обработки на величины найденных отклонений. Коррекция представляет собой сложение начальных и конечных координат точек каждого участка с величинами вычисленных отклонений ЛХ и
ЛУ. После обработки всей рабочей площади блок управления 1 производит ее замену при помощи шагового привода стола и затем переключает блок управления выработкой корректирующего воздействия в режим поиска реперной метки и нахождения корректирующих воздействий. Цикл работы повторяется до тех пор, пока все рабочие поверхности не будут ооработаны.
Предмет изобретения
Устройство для программного управления электроннолучевыми установками, содержащее блок ввода информации, блок управления, универсальный вычислитель, выход которого соединен с преобразователем код — аналог, связанным с электроннолучевой установкой, подключенной к блоку технологического режима, отличающееся тем, что, с целью повышения точности и надежности работы устройства, в него введен датчик вторичных электронов, соединенный с дискриминатором уровня видеосигнала, подключенным к прецизионному измерителю отклонения, связанному через блок управления выработкой корректирующего воздействия с универсальным вычислителем, подключенным через блок управления к прецизионному измерителю отклонений.
285352 сг х
Составитель А. Кумекина
Редактор Ю. Д. Полякова Техред А. А. Камышникова Корректор Л. Л. Евдонов
Заказ 3673/!2 Тираж 480 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4)5
Типография, пр. Сапунова, 2
