Проекционное устройство

 

" " " 4". А Н И E

БРЕТЕНИЯ

ВСЕСОК> : ч

3423I4

Союз СоветскиМ

Социалистических

Республик

ОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ вт. свидетельства Мв

М. Кл. Н 051< 3/00

1970 (K 1454992/26-9) м заявки Мв

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

4.VI.1972 Бюллетень 5о 19 ания описания 29Х1.1972

УДК 621.385.833 (088.8) Авторы изобретения

А. А. Яншин, Ю.,Г. Чудаков, В. А. Злотин и Л. Н.,Крейнин

Заявитель

ПРОЕКЦИОННОЕ УСТРОЙСТВО

Предмет изобретения

1

Устройство предназначено для использования в радиопромышленности, электронной промышленности, например, для изготовления шаблонов интепральных схем.

Известно проекционное устройство, содержащее коорди натный стол, оптическую систему и механизм управления перемещением стола., С целью повышения резкости изображения при экспонировании, пластинки, в предлагаемом устройстве объектив фотоголовки расположен в обойме, опирающейся через элементы .качения, например ролики,, на,поверхность фотослоя пластинки.

На чертеже изображена схема устройства.

Устройство содержит фотоголовку 1 с объективом 2, расположенным в обойме 8, которая через элементы качения, например ролики

4, опирается на поверхность фотослоя пластинки 5.

Фотоголовка 1 и обойма 8 закреплены на подвижной в вертикальной плоскости плите.

При поыощи тросиковой,передачи б и заводной пружины 7 плита с фотоголовкой разгружена от собственной тяжести таким образом, что остаточная нагрузка в нижнем положении не превышает 100 г. Для подъема и опускания плиты служит электродвигатель 8, управляемыйй по прогр а мме.

В рабочем режиме плита находится,в йиж = нем положении, и ролики катятся,по поверхности фотослоя фотопластинки 5. Благодаря механическому контакту, который паддерживается силой остаточной тяжести плиты и фотоголовки, расстояние от объектива до плоскости экспонирования постоянно, что обеспечи|вает ширину ли ни и и резкость изображения в необходимых допусках.

lo При холостых ходах плита с фотоголовкой находится в верхнем положении, и роликовая опора не касается фотослоя. В зависимости от направления движения роликовая опора может быть развернута вокруг вертикальной оси

15 таким образом, чтобы оси роликов были перпендикуля рны направлению движения и ролики катились по поверхности фотослоя без проскальзывания. Разворот опоры осуществляется электродвигателем 9 по программе;.

2о Углы поворота настраиваются конечными выключателяля ми 10 и 11.

Проекционное устройство, .например, для изготовления шаблонов интегральных схем, состоящее из фотоголовки, координатного стола с закрепленной на нем пластинкой и меЗО ханизма подъема и опускания фотоголовки,, 342314

Составитель М. Порфирова

Техред Л. Богданова

Корректор Л. Царькова

Редактор Б. Федотов

Заказ 1949/15 Изд. № 840 Тираж 448 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб,, д. 4!5

Типография, пр. Сапунова, 2 отличающееся тем, что, с целью повышения резкости изображения при экспонировании пластинки, объектив фотоголовки расположен в обойме, опирающейся через элементы качения,,на пример ролики, на поверхность фотослоя пластинки.