Устройство для нанесения тонких пленок методом пульверизации

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

350680

Сова Ссеетскик

Социалистически»

Республик

К АВТОР ИНОМУ СВ1.тДЕТЕДЬСТВУ

Зависимое от аВТ. спид;тел:.стпa ."

Заявлено 13.VII.1970 (ЛЪ 1467673/26-9) с присоединением заявки ¹

Приоритет—

Опубликован:3 13.1Х.1972. Ы|оллетень . 4 27

Дата опубликования описания 28.1Х.1972.Ч. Кл. В 44d 1/08 т1омитет по делам н,абретений и открытий прн Спеете Министров

СССР

УДК 539.231(088.8) Авторы изобретения И. В. Заводько, М. М. Борецкий, Г. И, Мамаев и Н. П. Замбровский

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК

МЕТОДОМ ПУЛЬВЕРИЗАЦИИ

Изобретение относится к области производства радиоаппаратуры и может быть применено при нанесении пленок на изделия радиоэлектронной промышленности для межслойной изоляции и герметизации.

Известно устройство для нанесения тонких пленок методом пульвер из аци и, содержащее камеру напыления, распылитель и механизм перемещения распылителя, содержащий двигатель и редуктор.

Цель изобретения — повышение производительности устройства и качества пленки. Цель достигается тем, что устройство снабжено механизмом оплавления пленки, выполченным в виде нагревателей, закрепленных на штоке с,возможностью перемещения его внутрь камеры напыления, а механизм перемещения распылителя выполнен в виде закрепленного на выходном валу редуктора эксц.нтрика, внутри которого размещен шарикоподшиппи с закрепленным в его внутреннем кольце водилом, связанным через разъемное кольцо с распылителем.

На фиг. 1 изображено устройство для нанесения тонких пленок методом пульверизацип; на фиг. 2 — распылитель; на фиг. 3 — нагреватель оплавления; на фиг. 4 и 5 — нагреватель подложки.

Устройство состоит из камеры 1 напыления с установленной подложкой (изделием) 2 (фиг, 4). распылителя 8, нагревателя 4 оплавления и нагревателя 5 подложки.

Камера 1 представляет собой сварную конструкцию с двойными стенками б и двойным

5 дном 7 для охлаждения проточной водой, подвод и слив которой осуществляется через штуpep =i 8. Для загрузки noz e et H»tee rea zaepna 9. Фланцы 10 и 11 служат для ввода, соответсгвенно, распылителя 8 и нагревателя 5.

10 Дно камеры 1 выполнено наклонным для слива неи-пользованных растворов. Ко дну камеры 1 с помощью фланца 12 крепится пневмоцилиндр 18 для перемещения заслонки 14.

Для перемещения распылителя 8 преду15 смотрено водило 15 с разъемным кольцом 16.

Конец водила 15 введен во внутреннее кольцо подшипника 17, вмонтированного в эксцентрик 18. Эксцентрик 18 закреплен на выходном валу редуктора 19. Передача движения

20 редуктору 19 осуществляется от электродвигателя 20. Кольцо 21 с продольными канавками закрепляется на корпусе распылителя 3, По канавкам кольца 21 совершают перемещение подпружиненные шарики 22, вмонтиро25 ванные во фланец 28 корпуса камеры 1. Для герметизации ввода распылителя 8 в камеру 1 используется диафрагма 24.

Нагреватель 4 оплавления (фиг. 3) жестко закреплен на корпусе, камеры 1 и состоит из

30 корпуса 25 и камеры 2б нагрева с лампами 27, 350680

Через штуцеры 28 подводится сжатый воздух для подъема и опускания камеры 26. Для предотвращения поворота камеры 26 lla поршне 29 пневмоцилиндра 80 закреплена планка 31, входящая в паз штока 82, поршня

29. К 3 м с р я 26 3 а к р е п л е н а H a н и ж и е м к О н ц е поршня 29.

Нагреватель 5 подло>кки 2 (фиг. 4) содержит Вакуумную плит) 33 и лям пы 34 (типа

КИМ12 — 100), закрепленные между асбоцементпыми кольцами 35. Распылитель 3 в период напыления совсршяет колебзгельпое дни>кение, а центр его перемещается tlo окружности, радиус которой можно изменять, заменяя 3I

Подложка 2 устанавливается па плиту 33 пягрсВятсля 5 ь Верти кяльпОм пОложении и В процессе напыления нагревается.

В начальный момент напыления струя растВоря задерживается зяс IQHI

После необходимой выдержки заслони<а 14 открывается, и раствор наносится па подложку 2. После напыления заслонка 11 закрывается, электродвигатель 20 отключается, и в ка лере 1 происходит прогревание подложки 2. Происходит циклическое нанесение раствора.

По окончании напыления камера 26 опускается в камеру 1, включаются лампы 27 и происходит оплавление няпылепиого слоя. Подложка 2 вынимается из камеры 1 через дверцу 9.

Корпус камеры 1 и нагревателя 5 охлаждаются проточной водой.

Работа на устройстве предусмотрена как в ручном, так и в автоматическом режимах.

Предмет изобретения

Устройство для нанесения топких пленок методом пульверизацпи, содержащее камеру напыления, распылитель и механизм перемещения распылителя, содер>кащий двигатель и редуктор, от,гичаюгивеся тем, что, с целью повышения производительности устройства и TIoвышеппя качества пленки, ОНО снабжено ме2О ханизмом оплавления пленки, выполненным в виде нагревателей, закрепленных на штоке с возможностью перемещения его внутрь камеры напыления, а механизм перемещения распылителя выполнен в виде закрепленного на выходном валу редуктора эксцентрика, внутри которого размещен шарикоподшипник с закрепленным в его внутреннем кольце водилам, связанным через разъемное кольцо с распылителем, 350680

Фиг 5

Составитель Л. Дарьина

Техред Е. Борисова

Редактор Л. Мазуронок

Корректор Т. Китаева

Гипография, пр. Сагунова, 2

Заказ 3217/3 Изд. № 1297 Тираж 403 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, 7К-35, Раушская наб., д. 4/5