Всесоюзная п1тейт^п-г^:^;-'>&'?'!:п[-;библиот:::ка

 

352424

О П И С А Н И Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советсннн

Ссциалистичесних

Республин

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 04.!.1971 (№ 1626056/26-9) М. Кл. Н 05k 3100 с присоединением заявки №

Комитет по делам

Приоритет

Опубликовано 21.1Х.1972. Бюллетень № 28

Дата опубликования описания 28.IX.1972 изобретений и отноытий при Совете Министров

СССР

УДК 621.396.6.049.75 .002.5 (088,8) Авторы изобретения

А. А. Мерлин, 3. М. Славинский, Н. П. Булычев, В. А. Калачев, Р. В. Деулина, Н. Г. Симская, А. Х. Хитрин, Б. А. Овсов, И. Я. Брусин, В. Н. Славинская, E. М. Сундукова и В. В. Емелин

Заявитель

БИБ11Х 3Т. Д

ФОТОКОПИРОВАЛЬНАЯ УСТАНОВКА МНОГОКРАТНОГО

ДЕЙСТВИЯ

Изобретение относится к технологии изготовления интегральных и полупроводниковых приборов, в частности, для изготовления фотошаблонов при производстве интегральных микросхем.

Известна фотокопировальная установка многократного действия, преимущественно для изготовления фотошаблонов, содержащая двухкоординатный стол с двумя каретками с аэростатическими направляющими, интерферометр с газовым лазером, светоделительную пластину, установленную под углом к оси лазера, элементы привода и механизмы перемещения кареток, репродукционную камеру с негативом и электронный блок управления.

Цель изобретения — повышения точности шагового перемещения координатного стола.

Достигается она тем, что механизмы перемещения кареток предлагаемой установки выполнены в виде подпружиненных стержней, один конец каждого из которых жестко связан с приводом кареток, а другой выполнен в виде сферы, взаимодействующей с конической поверхностью опорной пластины, связанной через элементы качения, например шарики, с опорной поверхностью кареток, а аэростатические направляющие замкнуты в горизонтальной плоскости кареток.

На фиг. 1 изображена схема фотокопировальной установки; на фиг. 2 — двухкоординатный стол; на фпг. 3 — механизм передачи движения от привода к каретке.

Фотокопировальная установка многократного действия содержит двухкоординатный стол 1 с верхней и нижней каретками поперечного и продольного перемещения, лазерный интерферометр 2 для управления столом, 10 приводные элементы 3 каждой каретки, репродукционную камеру и электронный блок управления (не показаны).

В интерферометр входят газовый лазер 4, светодслительная пластина 5, раздваиваю15 щая лазерный луч, светоделительная пластина 6, пройдя через которую два параллельHbIx луча расходятся под углом 90, два неподвижных зеркала 7, две светоделительные пластины 8, направляющие лучи через зер20 кальные призмы 9 в фотоприемные устройства 10, связанные с электронным блоком управления, два подвижных зеркала 11 на верхней каретке.

Верхняя каретка 12 с аэростатическими на25 правляющими перемещается относительно направляющей 18, неподвижно закрепленной на нижней каретке 14, также с аэростатическими направляющими, которая перемещается по направляющей 15, неподвижно закреп30 ленной относительно стола.

352424

На верхней каретке установлена рамка 16, с фотошаблоном 17.

Чтобы механический привод не мог воздействовать на аэростатические направляющие, каждая каретка снабжена механизмом перемещения в виде стержня 18, один конец которого .жестко связан с приводным элементом, а другой выполнен в виде сферы, связанной с кареткой пружиной 19.

Через опорную пластину 20, расположенную на шариках 21 в сепараторе 22, каретка взаимодействует с приводными элементами.

В пластине имеется отверстие с конусной поверхностью 28, взаимодействующей со сферической поверхностью стержня. Светоделительная пластина 5 интерферометрарасполагает два параллельных луча в горизонтальной плоскости, совпадающей с плоскостью экспонирования.

Аэростатические направляющие кареток замкнуты также в горизонтальной плоскости, что обеспечивает плавность движения и исключает перекосы.

Установка работает следующим образом.

Рамку 1б с заготовкой фотошаблона 17 укладывают в исходном положении на верхнюю каретку 12 под негатив экспонируемой схемы, расположенной в- репродукционной камере.

Каретка под действием привода перемещается по оси Х на шаг, равный шагу размещения схем на фотошаблоне. При движении зеркала 11 вместе с верхней кареткой на фотодиодах наблюдается инерференциопная картина, вызывающая на выходе фотодиодов импульсы, считываемые реверсивным счетчиком электронного блока управления.

Достигнув заданной координаты, каретка останавливается, и происходит экспонирование. Шаговое перемещение с последующим экспонированием производится на всей длине фотошаблона по оси Х. Затем нижняя каретка передвигается на шаг по оси У, т. е. на следующий ряд, и процесс шагового перемещения и экспонирования, продолжается аналогично описанному выше. После обхода

10 всей рабочей площади фотошаблона стол останавливается.

Предмет изобретения

1S Фотокопировальная установка многократного действия, преимущественно для изготовления фотошаблонов интегральных микросхем, содержащая двухкоординатный стол с двумя каретками с аэростатическими направ20 ляющими, интерферометр с газовым лазером, светоделительную пластину, установленную под углом к оси лазера, элементы привода и механизмы перемещения кареток, репродукционную камеру .с негативом и элект25 ронный блок управления, отличающаяся тем, что, с целью по вышения точности шагового перемещения координатного стола, механизмы перемещения кареток выполнены в виде подпружиненных стержней, один конец каж30 дого из которых жестко связан с приводом кареток, а другой выполнен в виде сферы, взаимодействующей с конической поверхностью опорной пластины, связанной через элементы качения, например шарики, с опорной

3S поверхностью кареток, а аэростатические направляющие замкнуты в горизонтальной плоскости кареток.

352424

М-A

22

Составитель Е. Куликов

Редактор Б. Федотов Техред Л, Куклина Корректор Е. Усова

Заказ 3341/17 Изд. № 1356 Тираж 406 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, K-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2