Патент ссср 358019

 

О П И С А Н И Е 3580l9

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Со1ба Соеетскит

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

М. Кл. В 04b 5100

В 051) 5 08

Заявлено 24.Vll.1970 (№ 1461335!28-13) с присоединением заявки №

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

Приоритет

Опубликовано 03.XI.1972. Б|оллетеш. №,34

Дата опубликования описания 21.XII.!972

УДК 66.067,57(088.8) Автор изобретения

М. А, Ошмян

Заявитель

ЦЕНТРИФУГА

Изобретение относится к производству полупроводниковых приборов с использованием процессов фотолитографии, а точнее к нанесению тонкой пленки фоторезиста на полупроводниковые пластины в поле действия центробежных сил.

Известна центрифуга для нанесения пленки фоторезиста на полупроводниковую пластину, включающая сборник фоторезиста, установленную внутри последнего вращающуюся оправку для вакуумного закрепления пластины, канал для подвода вакуума, вакуумное уплотнение и электродвигатель.

Предлагаемая центрифуга отличается от известной тем, что оправка установлена на валу электродвигателя, а вакуумное уплотнение выполнено в виде вращающихся шайб из антифрикционного материала и неподвижного диска, размещенного между ними, при этом каналы для подвода вакуума выполнены в теле диска. Это упрощает конструкцию и сокращает время разгона центрифуги.

Центрифуга может быть снабжена распорным кольцом, установле|шым между шайбами, что уменьшает износ последних. Шайбы могут быть выполнены из теплоизоляционного материала, например фторопласта. Это уменьшает нагрев оправки.

На чертеже изображена предлагаемая центрифуга, Центрифуга включает сборник фоторезпста

1, вращающуюся оправку 2 с полупроводниковой пластиной 8, установленную через глухую втулку 4 с пазами для подвода вакуума

5 па валу электродвигателя 5. На втулку 4 одеты две вращающиеся шайбы 6 из антифрпкцпонного материала, два промежуточных резиновых кольца 7 для уплотнения оправки 2 и втулки 4 с шайбами 6 и размещенного меж10 ду ними диска 8, жестко закрепленного на обойме 9 электродвигателя 5 и имеющего каналы для подвода вакуума.

При включенном вакууме под действием силы атмосферного давления шайбы 6 поджп15 маются с двух сторон к диску 8, что обеспечивает вакуумное уплотнение вращающихся деталей.

Для уменьшения износа шайб 6 центрифуга снабжена распорным кольцом 10, установлен20 ным между шайбами 6.

Уплотняющие шайбы 6 выполнены из теплоизолирующего материала, например фторопласта, благодаря чему оправка 2 надежно теплопзолпрована от зоны трения и пе подвер25 гается нагреву.

Е1снтр ифуга р а ботает следующи м обр аз ом.

На полупроводниковую пластину 8 наносится несколько капель жидкого фоторезиста, затем центрифуга приводится во вращение с

30 определенной скоростью в течение определен358019

Предмет изобретения

7 Р 3 + о 10 8

Составитель Н. Карамышева

Текред Л. Богданова

Корректор A. Васильева

Редактор С. Титова

Заказ 4070/11 ИЗд. лГ 1635 Тираж 406 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Мииистров СССР

Москва, Ж-35, Раушская иаб., д. 4/5

Типография, пр, Сапуиова, 2 ного времени, в результате чего на пластине ооразуется топкая пленка фоторезиста.

1. Центрифуга для нанесения пленки фоторезиста на полупроводниковую пластину, включающая сборник фоторезиста, установленную внутри него вращающуюся оправку для вакуумного закрепления пластины, канал для подвода вакуума, вакуумное уплотнение и электродвигатель, отличающаяся тем, что, с целью упрощения конструкции и сокращения времени разгона центрифуги, оправка установлена на валу электродвигателя, а вакуумное уплотнение выполнено в виде вращающихся шайб из антпфрикционного материала и неподвижного диска, размещенного между ними, при этом каналы для подвода вакуума выполнены в теле диска.

2. Центрифуга по п. 1, отличающаяся тем, что, с целью уменьшения износа шайб, она снабжена распорным кольцом, установленным

Т0 между шайбами.

3. Центрифуга по п. 1, отличающаяся тем, что, с целью уменьшения нагрева оправки, шайбы выполнены из теплоизоляционного материала, например, фторопласта.