Вакуумметр-течеискатель

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

<п1 44759I

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 15.12.72 (21) 1857737J.18-10 с присоединением заявки № (51) М. Кл. G 01l 21. 34

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Опубликовано 25.10.74. Бюллетень № 39

Дата опубликования описания 18.07.75 (53) ". ДК 531.788.732 (088.8) (72) Авторы изобретения

А. М. Григорьсв и А. И. Фурсов (71) Заявитель (54) ВАКУУММЕТР-ТЕЧЕИСКАТЕЛЬ

Изобретение относится к îîластн вакуумной техники и может быть использовано для одновременного измерения общего давления газа в системе и парциального давления электроотрицательного газа, а также как индикатор негерметичности вакуумных приборов и объектов при использовании в качестве пробных веществ газов, склонных к образованию отрицательных ионов (электроотрицательных газов).

Известные вакуумметры, содержащие магнитный электроразрядный манометр, включенный в измерительную схему, не позволяют одновременно измерять общее давление в системе и парциальное давление электроотрицательного газа.

Цель изобретения — обеспечить одновременное измерение парциального давления электроотрицательного газа и общего давления газа в системе.

Это достигается тем, что в вакуумметре манометрический преобразователь, содержащий пилиндрический анод и катод, снабжен вторым анодом, выполненным в виде сетчатого цилиндра, размещенным внутри цилиндрического "íîäà, при этом в цепь сетчатого анода или катода включен регистратор тока положительных ионов, а в цепь цилиндрического анода — регистратор тока отрицательных ионов

Государственный комитет (32) Приоритет

Введение сетчатого электрода (анода) позволяет отделить электронную компоненту от компоненты отрицательных ионов при движении общего отрицательного заряда к цилиндрическому аноду путем воздействия магнитного поля на отрицательно заряженные частицы, имеющие одинаковую энергию, но разные массы. Поэтому величины токов, приходящих на разные электроды, дают возмож10 ность судить об общем давлении газа и парциальном давлении электроотрицательных газов.

На чертеже изображен предлагаемый вакуумметр-течеискатель.

15 Рабочее пространство газового разряда представляет собой камеру между катодом 1 и сетчатым анодом 2. За сетчатым анодом 2 расположен цилиндрический анод 3. Вся система помещается в корпус 4 и находится в

20 магнитном поле магнита 5. Электроды и корпус 4 выполнены из немагнитного материала.

На катод 1 от источника питания 6 подается отрицательное напряжение. Сетчатый анод 2 и цилиндрический анод 3 находятся под по25 тенциалом земли. Ток в цепях анодов 2 и 3 измеряется с помощью регистраторов 7 и 8.

Предлагаемый вакуумметр-течеискатель работает следующим образом.

При попадании газовой смеси или газа в

30 пространство разряда между катодом 1 и

447591

Предмет изобретения

2Um е

Ссставитсль О. Полсв

Редактор О. Стеиииа

Техред В. Рыбакова

Корректор E. Хмелева

Заказ 15!5, !1 Изд. ¹ 165 Тираж 760... Подписное

ЦНИИПИ Государственного комите-;а Совета Министров СССР по делам изобретении и открйтий

Москва, W-35, Раушская наб., д. 4, 5

Типография. пр. Сапунова, 2 сетчатым анодом 2 образуются положительные ионы, отрицательные ионы (сли имеются газы, склонные к образованию отрицательных ионов) и электроны. Положительные ионы движутся под действием электрического поля к катоду 1 (на траекторию их движения магнитное поле практически не действует) и создают в его цепи ток. Электроны и отрицательные ионы движутся к сетчатому аноду 2. На траекторию движения отрицательных ионов магнитное поле тоже действует слабо, а траектория движения электронов под действием магнитного поля искривляется значительно (имеет вид циклоиды). Часть этого общего потока отрицательно заряженных частиц, определяемая проницаемостью сетчатого анода 2, попадает в пространство между сетчатым анодом 2 и цилиндрическим анодом 3. Так как в этом пространстве отсутствует Электрическое поле, то электроны и от- 20 рицательные ионы движутся с теми скоростями, которые они приобрели между катодом 1 и сетчатым анодом 2. Под действием магнитного поля электроны возвращаются на анод 2, а отрицательные ионы достигают цилиндрического анода 3. Таким образом, осуществляется разделение электронной компоненты от потока отрицательных ионов. Расстояние h между сетчатым анодом 2 и цилиндрическим анодом 3 должно быть 30

- В где  — магнитная индукция (тл);

U — разность потенциалов, проходимая 35 электроном при попадании в пространство сетка-анод (в); и — масса электрона (кг); е — заряд электрона (к).

Измеряя ток в цепи цилиндрического анода 40

3, можно судить о наличии в газовой смеси примеси электроотрицательного газа, о его парциальном давлении. Измеряя ток в цепи катода и сетчатого анода 2, можно судить оо общем давлении в системе. Бакуумметр-тече- 45 искатель может определять величину давления электроотрицательного газа и тогда, когда молекулы этого газа попали в рабочий объем извне, например, через течь, Вакуумметр-течеискатель, содержащий Mdнометрический преобразователь, состоящий из цилиндрического анода и катода, которые размещены в магнитном поле, и электрическую схему измерения с регистратором тока положительных ионов, отличающийся тем, что, с целью одновременного измерения парциального давления электроотрицательного газа и общего давления газа в системе, в нем преобразователь снабжен вторым анодом, выполненным в виде сетчатого цилиндра, размещенным внутри цилиндрического анода, при этом в цепь сетчатого анода или катода включен регистратор тока положительных ионов, а в цепь цилиндрического анода— регистратор тока отрицательных ионов,