Всесоюзная i _ , .^.-.-^ргмл trvt*-"'''' if ft ''<'• il^a;:hihu"ilah-; .с !*й;;;

 

3644I4

О п И СА Н И Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Ссюэ Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено ЗО.VI I.1970 (№ 1467775. 25-8) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 28.XI!,1972. Бюллетень № 5.Ч. Кл. В 24Ь 5/00

В 24b 7/00

В 24Ь 11, 00

Комитет по дела;л изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 621.924.1(088.8) Дата опубликования описания 17.1Ъ".!973

Авторы изобретения

А. Ф. Волков, E А. Волков, В. А. Горбунов, И. П. Коровин и В. В. Никитченко

Заявитель

/"..

Ь, )хг

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СФЕРИЧЕСКОГО ИЛИ

ЦИЛИНДРИЧЕСКОГО ШЛИФА

Известно устройство для изготовления сферического или цилиндрического шлифа, например, на полупроводниковой пластине, выполненное в виде предметного столика, несущего пластину, обрабатываемую принудительно приводимым в движение шлифовальником.

Предлагаемое устройство отличается от известного тем, что оно снабжено .центрирующей планкой с гнездом, жестко закрепленной на вертикально перемещаемых упорах. Это отличие позволяет получить шлиф необходимой глубины в заданном месте.

На фиг. 1 представлено предлагаемое устройство, общий вид; на фиг. 2 — то же, вид сверху; на фиг. 3 —,приспособление для центрирования сферических шлифовальников и изготовления сферических шлифов определенной глубины; на фиг. 4 — разрез по А — А на фиг. 3; на фиг. 5 — приспособление для центрирования цилиндрических шлифовальников и изготовления цилиндрических шлифов оп ределенной глубины; на фиг. 6 — разрез по Б — Б на фиг. 5. ,Устройство компануют на металлическом корпусе 1. На верхней панели корпуса располагают микроскоп 2 бинокулярный стереоскопический типа МБС-2, прицельное приспособление для центрирования сферических или цилиндрических шлифовальников и получения сферических, или ц илиндр ических шлифов определенной глубины, гибкий вал 8 с цанговым наконечником. В уст ройство входит набор сферических и цилиндрических шлифовалыгиков:из иеметал.тпческих материалов. Внутри корпуса размещены электропрп вод и элементы электрической схемы, обеспечивающей питание, управление, сигнализацию и выключение привода и нагревательного устройства предметного столика. Управление электричеЮ ской схемой осуществляется с лицевой панели корпуса.

Прицельное приспособление обеспечивает установку образца относительно центрирующего устройства шлифовальников. Оно состоит

15 из микроскопа 2, предметного столика 4 и центрирующей планки 5. Предметный столик выполнен с нагревателем для закрепления образца клеющими составами и имеет возвратно-поступательное перемещение и поворот

20 на 360 .

Возвратно-поступательное перемещение столика осуществляется с помощью винта б и гайки 7 в направляющих 8. Поворот столика осуществляется с помощью гайки 9. Для от25 счета угла поворота предусмотрена шкала 10.

В устройстве используются сферические 11 и цилиндрические 12 шлифовальники различных размеров, изготовленные из неметаллических материалов (древесина, эбонит, дерево30 пласт и т. д.) ..

364414

В устройстве имеется приспособление для изготовления сферических шлифов, состоящее из комплекта лодпружиненных центрирующих планок 5 с гнездами для шлифовальников разного диаметра, выставляемых в нужное положение упорами 18 и 14 с помощью гаек 15 с отсчетом по шкале 1б, а также приспособлен ие для изготовле нпя цили ндрических шлифов (фпг. 3), выключающее подпружиненные центрлрующие планоки 5 с гнездами для шлифовальников, выставляемых в нужном положении упораяи 17 и 14 с помощью гаек 15 с отсчетом по шкале 15. Цилиндрический шлифовальник закрепляется на планке с помощью держателя 18.

Работает устройство следующим образом.

Обрабатываемый образец наклеивают на предметный столик прицельного приспособления. Объектив микроскопа устанавливаютнад центром гнезда центрирующей планки. Затем с помощью предметного столика .выставляют место обработки образца относительно центра гнезда центрирующей планки. Гайками и упорами центрирующих приспособлений планку устанавливают в положение, соответствующее заданной глубине изготавливаемого шлифа.

Сферический шлифовальник требуемого размера закрепляют в цанге наконечника гибкого вала электропривода,,приводят во вращение и опускают в гнездо планки.

В случае изготовления цилиндрических шлифов цангу наконечника гибкого вала подсоединяют к валу .цилиндрического шлифовальни10 ка. Обработку образца ведут до тех пор, пока подпружиненная планка не коснется упоров.

Предмет изобретения

Устройство для изготовления сферического

15 или цилиндрического шлифа, например, на полупроводниковой, пластине, выполненное в виде предметного столика, несущего пластину, обрабатываемую принудительно приводимым в движение шлифовальником, отличающееся

2о тем, что, с целью получения шлифа необходимой глубины в заданном месте, устройство снабжено центрирующей планкой с гнездом, жестко закрепленной на вертикально перемещаемых упорах.

364414

Составитель А, Гоцева

Текред Л. Грачева

Редактор Е. Левина

Корректор Г, Запорожец

Заказ 1014/1 Изд. № 257 Тираж 826 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, К-35, Раушская наб., д. 4/5

Тнпогра4)ия, пр. Сапунова, 2