Патент ссср 374390

Авторы патента:

C23C14/24 - вакуумное испарение

СЕооюэ,р ! ЫТеи, + и

374390

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Респубпик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 05.Х.1970 (Эй 1482575/22-1) с присоединением заявки №вЂ”

Приоритет

Опубликовано 20.Ш.1973. Бюллетень № 15

Дата опубликования описания 14.VI.1973

M. Кл. С 23с 13/10

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

ССС

УДК 621.793.14.002.51 (088.8) Авторы изобретения

Б. П. Абрамов, 1О. Н. Андреев, А. И. Боченков, М. Б. Буданицкий, С. И. Гриншпун, А. Д. Опенков, Б. Г. Рушко, М. И. Чобит и В. П. Шикунов

Заявитель Специальное конструкторское бюро вакуумных покрытий при Госплане

Латвийской ССР

УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИИ В ВАКУУМЕ

Ihip едм ет изобретения

Изобретение относится к нанесению покрытий в вакууме.

Известна установка для нанесения покрытий в вакууме, содержащая камеру, откачную систему и систему охлаждения.

Однако работа известной установки зависит от наличия водопровода и температуры поступающей воды.

Цель изобретения вЂ” создание установки, работа которой не зависит от наличия водопроводной сети.

Предлагаемое устройство отличается тем, что система охлаждения выполнена автономной и состоит из резервуара, водяного насоса и холодильного агрегата, причем резервуар системы охлаждения служит основанием установки.

На чертеже изображена предлагаемая установка, общий вид.

Установка имеет камеру 1, откачную систему 2 и автономную систему охлаждения, состоящую из резервуара 8, водяного насоса

4 и холодильного агрегата 5. Резервуар 8 служит основанием установки. Водяной насос

4 соединен водопроводом с высоковакуумным насосом б, соединенным с резервуаром 8.

После зарядки испарителей (на чертеже не показаны) и загрузки изделий в камеру 1 включают вакуумный насос 7. Одновременно начинает работать водяной насос 4, подавая водопроводом воду из резервуара 8 для охлаждения ловушки 8 и высоковакуумного насоса б, после охлаждения которых вода по трубопроводам попадает в резервуар 8. После перекрытия затвора 9 начинают работать

10 высоковакуумный насос б и холодильный агрегат 5, охлаждая воду в резервуаре 8.

После достижения рабочего вакуума в камере 1 происходит нанесение покрытий на изделия.

Установка для нанесения покрытий в вакууме, содержащая камеру, откачную систе20 му и систему охлаждения, отличающаяся тем, что, с целью стабилизации режима, система охлаждения выполнена автономной и состоит из резервуара, водяного насоса и холодильного агрегата, причем резервуар систе25 мы охлаждения служит основанием установк и.

374390

Редактор Л. Лаврова

Заказ 1663/15 Изд. № 415 Тираж 626 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, K-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2

Составитель И. Резник

Техред Л. Грачева

Корректоры: Е. Давыдкина и Н. Луковцева

Устройство для нанесения покрытий на сыпучие материалы // 329806

Установка для нанесения покрытий в вакууме v // 329251

Испаритель для вакуумных установок // 322422

Устройство для нанесения покрытий с переменнойтолп^иной // 318638

Устройство для закрепления подложек в вакуумных установках // 316762

Способ получения покрытий1 // 314821

Способ измерения скорости испарения в вакууме // 310954

Способ нанесения покрытий // 307118

Устройство для нанесения покрытий в вакууме // 298704

Способ плазменно-дугового нанесения покрытий в вакууме // 2109083

Изобретение относится к нанесению тонкопленочных покрытий в вакууме, в частности защитных, износостойких и декоративных покрытий на изделия из различных материалов

Способ нанесения антикоррозионных покрытий // 2109841

Способ нанесения покрытий в вакууме // 2114209

Изобретение относится к машиностроению, в частности к нанесению покрытий в вакууме, и может быть использовано при нанесении покрытий на режущий инструмент, изготовленный из сталей, твердых сплавов и керамических материалов

Устройство нанесения тонких пленок // 2114931

Изобретение относится к микроэлектронике и направлено на обеспечение минимальной неравномерности покрытия подложки тонкой пленкой распыляемого материала

Испаритель для металлов и сплавов // 2118398

Изобретение относится к устройствам для получения газофазным методом ультрадисперсных порошков и сплавов, а также для нанесения металлических покрытий в вакууме на металлические и неметаллические изделия

Способ получения на подложке защитных покрытий с градиентом химического состава и структуры по толщине с внешним керамическим слоем, его вариант // 2120494

Изобретение относится к области получения высокотемпературных материалов, используемых для защиты от окисления и газовой коррозии и в качестве защитных покрытий термонагруженных деталей газовых турбин и двигателей внутреннего сгорания

Испаритель // 2121522

Изобретение относится к нанесению покрытий в вакууме и может быть использовано для получения толстых пленок металлов при изготовлении, например, разводки коммутационных плат

Способ изготовления изделий из износостойких, прочных и жаропрочных материалов // 2122601

Изобретение относится к материаловедению, а именно к способам изготовления преимущественно износостойких, прочных и жаропрочных материалов на металлической, металлокерамической или полимерной основе, а также изделий из этих материалов

Испарительный тигель // 2133308

Изобретение относится к полупроводниковой области техники и может быть использовано в молекулярно-лучевой эпитаксии для снижения плотности дефектов в эпитаксиальных структурах

Устройство для проведения взрывного испарения // 2136778

Изобретение относится к устройствам взрывного испарения с резистивным нагревом для испарения металлов