Патент ссср 413218

Авторы патента:

C23C14/26 - с использованием источника резистивного или индуктивного нагрева

Меооювиюр @ e x::e.:-,; „, 2:;-1е Ф, ..., сяя

Кн в А&Я

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

433 2l8

СОюз .. Оомотскии

Социалмстммескми

1 еспуб -.,;к

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства ¹

Заявлено 27.Ч11.1970 (№ 1465453/22-1) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 30.1.1974. Бюллетень № 4

Дата опубликования описания ЗХ1.1974.

М. Кл. С 23с 13/12

Государственный комитеСовета Министров СССР по делам изобретений и открытий

УДК 621.793.14.002.52 (088.8) Авторы изобретения

М. И. Виноградов, В. Г. Докукин, В. А. Лавыгин и А. И. Тарасов

Заявитель

ИСПАРИТЕЛЬ ДЛЯ ВАКУУМНЫХ УСТАНОВОК

Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме.

Известен испаритель для вакуумных установок, содержащий тигель, сообщающийся с резервуаром с испаряющимся металлом.

Предлагаемый испаритель отличается от известного тем, что он снабжен конденсатором паров, смонтированным поверх резервуара с испаряющимся металлам, а тигель помещен непосредственно в резервуар.

Это позволяет уменьшить потребляемую мощность и увеличить время непрерывной работы испарителя.

На чертеже показан предлагаемый испаритель для вакуумных установок, общий вид.

Испаритель состоит из тигля 1, выполненного с двойными стенками и помещенного в резервуар 2 с испаряемым металлом. Внутренняя часть тигля соединена с резервуаром посредством канала 3 в дне тигля. Между двойными стенками тигля размещены спираль нагревателя 4 и экраны 5. Испаритель снабжен конденсатором б паров металла.

Канал 3 в дне тигля 1 имеет небольшое поперечное сечение для уменьшения теплоотвода от внутренней, нагретой до высокой температуры части тигля.

Резервуар 2 выполнен таким образом, чтс основной запас металла находится в верхней расширенной части. Это способствует тому, что при длительном испарении уровень металла в тигле 1 изменяется незначительно и режим испарения сохраняется постоянным, Это же достигается изготовлением тигля 1 плавающим в резервуаре 2 и опускающимся при пониженном уровне металла.

Для уменьшения потерь испаряем ого металла и увеличения времени непрерывной ра1о боты в испарителе применяется возврат неиспользованного металла в резервуар с помощью конденсатора б, имеющего температуру резервуара. Напыление»а подложку производится через верхнее отверстие в конденса15 торе, металл же, попадающий на внутреннюю поверхность конденсатора, стекает обратно в резервуар.

20 Предмет изобретения

Испарптель для вакуумных установок, содержащий тигель, сообщающийся с резервуаром с испарящимся металлом, о т л и ч а ю25 шийся тем, что, с целью уменьшения потребляемой мощности и увеличения времени непрерывной работы, он снабжен конденсатором паров, смонтированным поверх резервуара с испаряющимся металлом, а тигель по30 мещеп непосредственно в резервуар.

Редактор Е, Шепелева

Составитель Л. Смирнова

Текред Г, Васильева

Корректор Л, Новожилова

Заказ 1221/11 Изд. М 1245 Тираж 875 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4)5

Типография, пр. Сапунова, 2

Похожие патенты:

Патент 413217 // 413217

Устройство для подачи порошковых материалов // 406973

Установка для нанесения покрытий // 405973

Испаритель для вакуумных установок // 397567

Нагревательный элемент для испарения металлов в вакууме типа «лодочка» // 387050

Установка для нанесения покрытий в вакууме // 378560

Устройство для испарения металлов // 375323

^вс^.согозная // 374389

Патент 365396 // 365396

Устройство для подачи порошковых материалов // 362884

Способ формирования защитных покрытий графитовых подложкодержателей и устройство для его осуществления // 2165999

Изобретение относится к технологии и оборудованию для получения эпитаксиальных структур кремния методом осаждения из газовой фазы

Испаритель для металлов и сплавов // 2219283

Изобретение относится к устройствам, предназначенным для получения газофазным методом высокодисперсных и ультрадисперсных порошков металлов и сплавов, а также для нанесения металлических покрытий в вакууме на металлические и неметаллические изделия, предназначенные для использования в микроэлектронике, химической технологии и других отраслях промышленности

Испаритель для металлов и сплавов // 2254963

Изобретение относится к устройствам для получения газофазным методом порошков металлов и сплавов, а также для нанесения покрытий

Защитный элемент и способ его изготовления // 2316429

Изобретение относится к защитному элементу для защищенной от подделки бумаги, банкнот, удостоверений личности или иных аналогичных документов, к защищенной от подделки бумаге и ценному документу с таким защитным элементом, а также способу их изготовления

Испаритель для металлов // 2347849

Изобретение относится к области металлургии, а именно к испарителям для металлов, и может быть использовано для изготовления металлических порошков и нанесения покрытий на различные поверхности

Испаритель для металлов и сплавов // 2382117

Изобретение относится к испарителю для металлов и сплавов и может найти применение в порошковой металлургии для получения высокодисперсных и ультрадисперсных металлов и сплавов

Устройство для вакуумного напыления пленок // 2411304

Изобретение относится к технике получения пленок в вакууме, в частности к устройству для вакуумного напыления пленок, и может быть использовано для эпитаксиального выращивания слоев при изготовлении полупроводниковых приборов, устройств интегральной оптики, при нанесении функциональных покрытий из металлов и кремния и т.п

Вакуумное обрабатывающее устройство // 2421543

Изобретение относится к устройству для вакуумного парового осаждения слоя на подложку путем облучения материала напыления

Устройство для нанесения полимерных пленок в вакууме // 2051200

Изобретение относится к вакуумному нанесению слоев и может быть использовано для термического нанесения полимерных пленок из газовой фазы

Испаритель // 2058424

Изобретение относится к технологии микроэлектроники, а именно к устройствам для нанесения покрытий в вакууме