Патент ссср 413219

 

1 б чбл. о

«юЗ «ввтских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства ¹

Заявлено 05.1V.1971 (№ 1642626 22-1),Ч. Кл. С 23с 13, 12 с присоединением заявки Л!

1 ! !

У,", Ii 621.733.14.002.52 (088.8) Государственный комитет

Совета Министров СССР

as делом нзооретеннй н открытнй

Приоритет

Опубликовано 30.1.1974. Бюллетень М 4

Дата опубликования описания ЗХI.197-I.

Авторы пзооретс ия

А. 10. Абеле, А. H. Жунда и А. Г. Зебсрин

Специальное конструкторское бюро вакуумных покрытий

Заявител!з

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОДАЧИ МАТЕРИАЛА

ИА ИСПАРИТЕЛЬ

Изобретение относится к области папесепп» вакуумных покрытий.

Известно устройство для подачи материала на испаритель, содержащее роликовый механизм подачи материала и узел привода.

Предлагаемое устройство отличается от известного тем, что узел привода выполнен в виде двух кулисных механизмов, смонтированных во взаимно перпендикулярных плоскостях и соединенных между собой посредством конических шестерен с передаточным отношением, равным двум, а также тем, что палец кулисы установлен на кольце, эксцентрично закрепленном на конической шестерне.

Это способствует повышению эффективности работы испарительного элемента и позволяет создать унифицированный привод роликового механизма подачи материала на испарительные элементы различной длины.

На фиг. 1 изображена кинематическая схема предлагаемого устройства для подачи материала на испаритель; на фиг. 2 — устройство, продольный разрез; на фиг. 3— разрез по А — А на фиг. 2; на фиг. 4 — - разрез по Б — Б па фиг. 2.

Устройство состоит из роликового механизма подачи материала (на чертеже не показан) и узла привода, выполненного в виде двух кулисных механизмов 1 и 2, смонтированных во взаимно перпендикулярных плоскостях п соединенных между собой посредством конических шестерен 3 и 4 с передаточным числом, равным двум, Палец 5 кулпспого механизма 2 установлен па кольце 6, эксцентрично закрепленном на конической шестерне 4.

Вращение от электродвигателя 7 через червячную передачу 8 и 9 и конические шестерни

3 и 4 сообщается ролику 10, который при nolo мощи кулисы 11 и скобы 12 передает выходному валу 13 возвратно-поступательное движение со скоростью, изменяющейся по синусоидальному закону. Одновременно выходпому валу 13 сообщается вращательное движеls пие от конической шестерни 3 через ролик 14, вал-шестерьпо 15 и зубчатое колесо 16. Таким образом, благодаря наличию кулисной систеh1bl передачи вращения, в предельных точках перемещения выходного вала 13, соответст20 вующих подаче металла на конец пспарительного элемента 17, достигается замедление скорости подачи металла до минимального значения. Число зубьев конической шестерни

4 вдвое больше, чем у конической шестерни 3, 25 т. е. на каждый полный ход выходного вала замедление осуществляется дважды. Таким образом, минимумы н максимумы вращательного и возвратно-поступательного движений совпадают. Изменение направления движения

30 происходит плавно, без удара, а удельная

413219

17 загрузка поверхности испарительного элемента металлом изменяется в соответствии с распределением температуры по длине испарительного элемента. Регулирование хода перемещения точки подачи в зависимости от длины испарительного элемента производят поворотом эксцентрично закрепленного на конической шестерне 4 кольца 6, изменяя тем самым эксцентриситет ролика 10.

Предмет изобретения.

1. Устройство для подачи материала па испаритель, содержащее роликовый механизм подачи материала и узел привода, о т л и ч аю щ е е с я тем, что, с целью повышения эффективности работы пспарительного элемента, узел привода выполнен в виде двух кулисных механизмов, смонтированных во взаимно перпендикулярных плоскостях и соединенных между собой посредством конических шестерен с передаточным отношением, равным двум.

2. Устройство по и. 1, отличающееся

lO тем, что, с целью создания унифицированного привода роликового механизма подачи материала на испарительные элементы различной длины, палец кулисы установлен на кольце, эксцентрично закрепленном на конической

15 шестерне.

Патент ссср 413219 Патент ссср 413219 Патент ссср 413219 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к технологии и оборудованию для получения эпитаксиальных структур кремния методом осаждения из газовой фазы

Изобретение относится к устройствам, предназначенным для получения газофазным методом высокодисперсных и ультрадисперсных порошков металлов и сплавов, а также для нанесения металлических покрытий в вакууме на металлические и неметаллические изделия, предназначенные для использования в микроэлектронике, химической технологии и других отраслях промышленности

Изобретение относится к устройствам для получения газофазным методом порошков металлов и сплавов, а также для нанесения покрытий

Изобретение относится к защитному элементу для защищенной от подделки бумаги, банкнот, удостоверений личности или иных аналогичных документов, к защищенной от подделки бумаге и ценному документу с таким защитным элементом, а также способу их изготовления

Изобретение относится к области металлургии, а именно к испарителям для металлов, и может быть использовано для изготовления металлических порошков и нанесения покрытий на различные поверхности

Изобретение относится к испарителю для металлов и сплавов и может найти применение в порошковой металлургии для получения высокодисперсных и ультрадисперсных металлов и сплавов

Изобретение относится к технике получения пленок в вакууме, в частности к устройству для вакуумного напыления пленок, и может быть использовано для эпитаксиального выращивания слоев при изготовлении полупроводниковых приборов, устройств интегральной оптики, при нанесении функциональных покрытий из металлов и кремния и т.п

Изобретение относится к устройству для вакуумного парового осаждения слоя на подложку путем облучения материала напыления

Изобретение относится к вакуумному нанесению слоев и может быть использовано для термического нанесения полимерных пленок из газовой фазы

Изобретение относится к технологии микроэлектроники, а именно к устройствам для нанесения покрытий в вакууме
Наверх