Испаритель металлов

Авторы патента:

C23C14/26 - с использованием источника резистивного или индуктивного нагрева

"i4l8 2" .

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 01.10.71 (21) 1702065/22-1 (51) М. Кл. С 23с 13/12 с присоединением заявки (32) Приоритет

Опубликовано 05.03.74. Бюллетень № 9

Дата опубликования описания 05.08.74 гасударственный намитет

Саввтв Иинистрав СССР

Il0 делам изааретений и атирытий (53) УДК 621.793.7(088.8) (72) Авторы изобретения

P. Е. Гольденберг, В. H. Сумароков и В. В. Маркелов (71) Заявитель (54) ИСПАРИТЕЛЬ МЕТАЛЛОВ

Изобретение относится к нанесению покрытий методом испарения и конденсации материалов в вакууме, в частности к испарителям металлов.

Известен испаритель металлов, содержащий тигель с механизмом подачи в него испаряемого металла, устройство для нагрева испаряемого металла в тигле, датчик-уровнемер металла с расположенным в тигле контактным элементом, выполненным, например, из молибдена. Для защиты от запыления испаряемым металлом изоляторы и другие детали датчика-уровнемера экранируют. Однако отмечается быстрое зарастание конденсатом испаряемого металла самого контактного элемента и деталей его подвода и крепления.

Для повышения точности измерения уровня расплава и защиты от запыления испаряемым металлом контактного элемента в предлагаемом испарителе датчик-уровнемер снабжен автономным устройством для нагревания контактного элемента. Благодаря нагреванию контактного элемента до высокой температуры удается предотвратить конденсацию паров металла на его поверхности.

На чертеже показана схема предлагаемого испарителя металлов. В тигель 1 с испаряемым металлом 2 помещен датчик-уровнемер 3, контактный элемент которого крепится с помощью изолятора 4. Контактный элемент датчик-уровнемера нагревают путем пропускания

5 через него тока от трансформатора 5. Контактный элемент включают в электрическую цепь последовательно с источником тока 6 и управляющим элементом 7, например обмоткой реле. В данном случае контактный элемент слу10 жит электрическим ключом, регулирующим режим работы узлов испарителя в зависимости от уровня расплава в тигле. Нагревательные элементы могут быть омические, радиационные или электроннолучевые.

Предмет изобретения

Испаритель металлов, содержащий тигель с механизмом подачи в него испаряемого металла, устройство для нагрева испаряемого

20 металла в тигле, датчик-уровнемер металла с расположенным в тигле контактным элементом, отл и ч а ю щий с я тем, что, с целью повышения надежности работы испарителя путем предохранения контактного элемента от

25 зарастания конденсатом, датчик-уровнемер снабжен автономным устройством для нагревания контактного элемента.

418572

Составитель Д. Белый

Корректор Н. Аук

Тех ред Е. Борисова

Редактор О. Филиппова

Типография, пр. Сапунова, 2

Заказ 1774/9 Изд. № 609 Тираж 875 Г1одпнсное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, 7К-35, Раушская наб., д. 4/5

Патент 413219 // 413219

Патент 413218 // 413218

Патент 413217 // 413217

Устройство для подачи порошковых материалов // 406973

Установка для нанесения покрытий // 405973

Испаритель для вакуумных установок // 397567

Нагревательный элемент для испарения металлов в вакууме типа «лодочка» // 387050

Установка для нанесения покрытий в вакууме // 378560

Устройство для испарения металлов // 375323

Способ формирования защитных покрытий графитовых подложкодержателей и устройство для его осуществления // 2165999

Изобретение относится к технологии и оборудованию для получения эпитаксиальных структур кремния методом осаждения из газовой фазы

Испаритель для металлов и сплавов // 2219283

Изобретение относится к устройствам, предназначенным для получения газофазным методом высокодисперсных и ультрадисперсных порошков металлов и сплавов, а также для нанесения металлических покрытий в вакууме на металлические и неметаллические изделия, предназначенные для использования в микроэлектронике, химической технологии и других отраслях промышленности

Испаритель для металлов и сплавов // 2254963

Изобретение относится к устройствам для получения газофазным методом порошков металлов и сплавов, а также для нанесения покрытий

Защитный элемент и способ его изготовления // 2316429

Изобретение относится к защитному элементу для защищенной от подделки бумаги, банкнот, удостоверений личности или иных аналогичных документов, к защищенной от подделки бумаге и ценному документу с таким защитным элементом, а также способу их изготовления

Испаритель для металлов // 2347849

Изобретение относится к области металлургии, а именно к испарителям для металлов, и может быть использовано для изготовления металлических порошков и нанесения покрытий на различные поверхности

Испаритель для металлов и сплавов // 2382117

Изобретение относится к испарителю для металлов и сплавов и может найти применение в порошковой металлургии для получения высокодисперсных и ультрадисперсных металлов и сплавов

Устройство для вакуумного напыления пленок // 2411304

Изобретение относится к технике получения пленок в вакууме, в частности к устройству для вакуумного напыления пленок, и может быть использовано для эпитаксиального выращивания слоев при изготовлении полупроводниковых приборов, устройств интегральной оптики, при нанесении функциональных покрытий из металлов и кремния и т.п

Вакуумное обрабатывающее устройство // 2421543

Изобретение относится к устройству для вакуумного парового осаждения слоя на подложку путем облучения материала напыления

Устройство для нанесения полимерных пленок в вакууме // 2051200

Изобретение относится к вакуумному нанесению слоев и может быть использовано для термического нанесения полимерных пленок из газовой фазы

Испаритель // 2058424

Изобретение относится к технологии микроэлектроники, а именно к устройствам для нанесения покрытий в вакууме