Измерительный элемент
В Е ®)Q de AH
ОП ИЕ
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
"" 42l956
Союз Соеетекнх
Соцналнетнчжкнх
Реейубпнк
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Зависимое от авт. свидетсльствз— (22) Заявлено 23.07.71 (21) 1685436. 26-25 с присоединением заявки №вЂ” (32) Приоритет—
Опубликовано 30.03.74. Бюллетень ¹ 12
Дата опубликования описания 19.11.74 (51) М.Кл. G 01г 31 26
Гостдеротеенный комитет
Совета Миниетрае СССР по делаы иХабре ений и открь тий (53) УДК 621.382.2:621. .317.738(088.8) (72) Авторы изобретения
Э. П. Эриньш, О. К. Альена и 3. Ф. Вильдфангс
Физико-энергетический институт АН Латвийской ССР (71) Заявитель (54) ИЗМЕРИТЕЛЬНЬ1Й ЭЛЕМЕНТ
1
Изобретение относится и измерительным элементам (датчикам) и может быть использовано для бесконтактного определения свойств полупроводниковых структур с помощью высокочастотного электромагнитного поля.
Известные измерительные элементы для измерения толщины металлических покрытий, толщины и удельного сопротивления полупроводниковых материалов дают удовлетворительные результаты при изучении сравнительно низкоомных полупроводников в диапазоне частот от десятков килогерц до нескольких десятков мегагерц, но мало эффективны при изучении высокоомных полупроводниковых материалов из-за низкой чувствительности.
Для повышения чувствительности необходимо увеличить частоту до 200 — 300 Мгц, однако с повышением частогы увеличивается влияние на результаты измерения собственной емкости катушки.
Цель изобретения — повышение чувстви;ельности измерительного элемента.
Цель достигается тем, что в предлагаемом измерительном элементе вокруг катушки индуктивности расположен кольцевой электрод, подсоединенньш к одному из выводов катушки индуктивности.
На чертеже изображены предлагаемый измерительньш элемент и его поперечное сечение.
Элемент содержит катушку индуктивности
5 1 и кольцевой электрод 2, подсоединенный к одному из выводов катушки индуктивности.
Измерительный элемент подсоединяют к генератору сверхвысокой частоты. При поднесении к измерительному элементу измеряемо10 го образца изменяются составляющие импеданса измерительного элемента. По этим изменениям определяют контролируемые параметры.
Описываемый измерительный элемент по15 зволяет увеличить измеряемьш диапазон удельного сопротивления.
Предмет изобретения
Измерительный элемент для определения параметров полупроводниковых материалов, содержащий катушку индуктивности, отлича25 юп ийся тем, что, с целью повышения чувствительности, Вокр Г кату шки ипдуктивности расположен кольцевой электрод, подсоединенный к одному из выводов катушки индуктивно30 СТИ.
421956
Составитель 3. С, Челиокова
Техред Т. Курилко
Редактор И. Орлова
Корректор Л. Орлова
Подписное
МОТ, Загорский цех
Заказ 4420 Изд. № 1438 Тираж 678
ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
