Патент ссср 426333

Авторы патента:

изобретени Н. И. Бортничук, В. А. ршинов, О. Будзинский,

Е. Л. Зельв нский, Б. П. хин, Э. В. Фарбер , В. А. Чуденков

H05B7 - Нагрев электрическими разрядами (электронно-лучевые или ионно-лучевые приборы для местной обработки объектов H01J 37/30; плазменные горелки H05H 1/26)

H01J37 - Разрядные приборы с устройствами для ввода объектов или материалов, подлежащих воздействию разряда, например с целью их исследования или обработки (H01J 33/00,H01J 40/00,H01J 41/00,H01J 47/00,H01J 49/00 имеют преимущество; исследование или анализ поверхностных структур на атомном уровне с использованием техники сканирующего зонда G01N 13/10, например растровая туннельная микроскопия G01N 13/12; бесконтактные испытания электронных схем с использованием электронных пучков G01R 31/305; детали устройств, использующих метод сканирующего зонда вообще G12B 21/00)

G01J5 - Радиационная пирометрия (фотометрия вообще G01J 1/00; спектрометрия вообще G01J 3/00)

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН И Я

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ нн 426333

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 17.11.72 (21) 1848433/24-7 с присоединением заявки ¹ (32) Приоритет

Опубликовано 30.04.74. Бюллетень № 16

Дата опубликования описания 08.10,74 (51) М. Кл. Н 05Ь 7/00

Н Olj 37/00

G Olj 5/00

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам иэооретений и открытий (53) УДК 621.365.6.91:

:537.533.621.3. .082.6 (088.8) (72) Авторы изобретения

Н. И. Бортничук, В. А. Бояршинов, О, 3. Будзинский, Е. Л. Зельвянский, Б. П. Ляхин, Э. В. Фарбер и В. А. Чуденков (71) Заявитель (54) СПОСОБ БЕСКОНТАКТНОГО ИЗМЕРЕНИЯ

ТЕМПЕРАТУРЫ ПРИ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОМ НАГРЕВЕ

Изобретение относится к электротермии и может быть использовано как в исследовательской, так и в технологической практике измерения температур при электронно-лучевом нагреве материалов, Известны способы бесконтактного измерения температуры, основанные на измерении лучистого потока от объекта.

Однако при электронно-лучевом нагреве над поверхностью нагреваемого объекта в результате электронной бомбардировки паров и остаточных газов образуется плазма, которая обладает избирательным свечением и поглощением лучистого потока. Вследствие этого результаты измерения температуры объекта нагрева имеют значительную погрешность.

Для устранения этой погрешности перед измерением отключают высокое напряжение от электронной пушки и делают паузу величиной не менее времени распада плазмы над поверхностью объекта.

При изменении температуры по предложенному способу сначала производят отключение высокого напряжения с электронной пушки, в результате чего примерно через 10 вЂ” сек прекращается свечение облака плазмы над поверхностью нагреваемого объекта. Затем с помощью пирометра, который визируется че5 рез смотровое окно на выбранную точку поверхности объекта, производят измерение лучистого потока от объекта. При этом благодаря небольшому времени отключения высокого напряжения температура объекта умень10 шается на незначительную величину.

Предмет изобретения

15 Способ бесконтактного измерения температуры цри электронно-лучевом нагреве путем измерения лучистого потока от нагреваемого объекта, отличающийся тем, что, с целью устранения влияния оптически активной плаз20 мы, возникающей над объектом, перед указанным измерением отключают высокое напряжение от электронной пушки и делают паузу величиной не менее времени распада плазмы над поверхностью объекта.