Способ приготовления газовой смеси для получения диэлектрических слоев
О 1 И C А И И Е (») 443679
ИЗОБРЕТЕНИЯ
Сок!а Советских
Социалистических
Республик
К АВТО!-СКОМУ Свт4ДЕТЕЛЬС В У (61) Завис,"1.,!Ое от авт. свидетельства (22) Заявлено 12.05.71 (21) 1656163/23-26 (51) М. Кл. В 01! 17/32 с присоединением заявки.М (32) Приоритет — Государственна!й комитет
Совета Мкнистров СССР по делам изобретений и открытий
Опубликовано 25.09.74, Бюллетень М 35
Дата опубликования описания 07.04.75 (53) УДК 621.315.592 (088.8) (72) Авторы изобретения Э. В. Шитова, Е. И. Зорин, H. В. Павлов, В. С. Туловчиков и Т. A. Крузе (71) Заявитель Горьковский исследовательский физико-технический институт при Горьковском государственном университете им. H. И. Лобачевского (54) СПОСОБ ПРИГОТОВЛЕНИЯ ГАЗОВОЙ СМЕСИ
ДЛЯ ПОЛУ"-1Е11ИЯ ДИЗЛЕКТ1эИ 1ЕСКИХ СЛОЕВ
Изобретение касается приготовления и подачи рабочей газовой снеси в установках для пиролитического получения различных диэлектрических слоев, в частности для пиролитического осаэкдения слоев нитрида еремн я
Н3 1эазличпых смесе1! . 10 IocHJIBH2 и аэ! IH21I2 при низком вакууме.
Известен способ приготовления газовой сэ:сси для пиролитичсского получения слоев пит1эида к1эсмния В потоl|е Г230В сил2на и a |миака, который заключается в независимом отборе компонентОВ с помощью доз.тру:Оlцих кранов и установления необходиэ:0! 0 соотношения их в смсси с пî. lîùüþ роTамстров.
При этом исходные продукты находятся в баллонах при значительных давлениях Р! и
Pg. Подача соответствующих коли IccTB для
Обеспечения дится дозиру10|цим1! кранами, 2 1эасход Г230Б контролируется соответству|ощими из, срительными poTaileTpa::IH. Пиролиз с.; еси ведут при давлении, близком к 2Т.Hoclpepíoму. Регулированием соотношения потоков по ротаметрам создают необходимое соот !OH!el!!TO компонентов в смеси. Сбь|чно это достато но
60JIbIIIHC IIOTOIIH ДО 2000 СМ /XIHki. При указанном перепаде давлений типовая газoBBÿ а|1.!аратура позВоляет достаточно увсрспl О КГИ ролировать и осуществлять пода !у необходимои смеси в 30Hv реакции, Однако поскольк 5 данный способ связан со значительным расХОДОМ B3PblBOOIIBCHb!X П ЯДОВПТЫХ ЕОМПОНСНТОБ, ОП НЕ ЯВЛЯСТСЯ ЭКОНО! !И IHbl.51 И НЕ ИСЕЛIОЧаеТ В03>. OHIÍOCTÏ ВзрЫВ2, ЧТО 32Tp 5 ÄÍHÑÒ еГО
5 ш Ipolcoe п1эиэ:енсние В еачествс технолОГичеB i!0Ë НР0В0 IIП1.ОБОЗ! ПРОПЗВ0;сТВе для папесс|вин нптрпдных слоев. Прп
ocyIecTBJickI и: ппро|п тичесеой реаецип получения пiiTpil Iii!х с;|сев Б Ба!|уу:1 с ПЗ 32 нсЗП2
10 чптел=ных еолпчсств рсаге,гGB, нсобходпэ ых
ДЛЯ C.IПТЕ32 ПЛСНО| (|IРОЦЕСС БЕДО ГСЯ 1!О! "12Bлешп| -1г- мм pl . cT.), и ОтсуlcTBI я зодорода решен вопрос эеопо.,ш;.ности и безопасности. Однако прп получении нптрпдпых слоев
)5 B Б2еууз!е пэ ci0 i сЯ болыппс т1э дпости по
ВОСПРОИЗВОДИМО| !Э ПPiiPOTOB;iCillil0 IIC00XO+lIМой СМСС!1 OT OliЫТ2 1. ОПЬIТУ П !!ОДДС!ЭЭ!" 2ППЯ
НУГЕНЫ PBC IG Опыт2. 8 2PHBIIT, КОГд2 с. |ссь OIIP сде "ciiilOI 0 20 сос гаВ2 ГотОБЯГ 1 Pll 32П1э21тес 02! лл:1 2, и мсст ВЕСЬ. i2 01 Раlili"!C.=. OÑ ПРП М ПСП!|С, Так 1. 21. ПОзволяет Бсстп с ;lп |ез лищь НрН данном сООтношенип смеси. Крок:с того, ввиду разной летучести еО,»!011cilòû Г230Б011 с lсс|! Вьlтскаlот 25 пз 021,";okla с 1523лп 0!I се01э эсть|0, что учев через несколько:асов паслс сго заправки приВОДИТ Е -CC уC:IT-..Ба!ОП|,1, CH li3 Еl|; П-!H: П,! !1статкоэ| уl 232нного cl100002 llpHI 0 ГОВления и 30 подачи рабочей с|;есп. В силу отмеченных не443679 Составитель В. Пополитов Редактор Т. Шагова Техред О. Гуменюк Корректор Л. Котова Заказ 794!7 Изд. Ао 414 Тираж 651 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР lio Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5 Типография, пр. Сапунова, 2 достатков в данных вариантах не обеспечивается устойчивая подача рабочей силы в широком интервале рабочих давлений. Для повышения точности состава смеси и возможности его регулирования компоненты смеси из баллонов высокого давления подают в камеру смешения с давлением 1 атм, а затем — в реактор. Разработанный способ повышает точность состава смеси и поднимает воспроизводимость параметров, что обеспечивает его преимущество перед известным. Способ поясняется чертежом, Пример. В хорошо откаченную через кран 1 камеру 2 предварительного смешивания с помощью дозирующих кранов 3 и 4 последовательно подают моносилан и разбавляющий аммиак. Пропорции при этом регистрируют по изменению показаний циферблатного вакуумметра 5 с пределами 0 — 760 мм рт. ст. При этом в камере 2 создают необходимое количество газообразной смеси заданного состава при давлении смеси от 100 до 760 мм рт. ст. в зависимости от количества и длительности опытов, Одновременно происходит понижение высокого давления компонентов до близкого к атмосферному, что значительно уменьшает перепад давлений на дозирующем вентиле 6, ввиду чего при том же диапазоне изменения сечения отверстия натекания, он обеспечивает более плавное регулирование подачи смеси в рабочий объем. Установленный непосредственно на входе 5 чувствительный ламповый вакуумметр 5 исключает возможность «толчка» в начальный момент подачи смеси, что положительно сказывается на свойствах пленки в начальной стадии ее роста. 1п С использованием разработанного способа приготовления и подачи смеси в установке для вакуумного пиролиза значительно поднимается воспроизводимость параметров слоев при различных соотношениях компонентов 15 смеси и удается управлять скоростями роста нитридных слоев за счет вариации рабочего давления в пределах 10 — —:1 мм рт. ст. Предмет изобретения Способ приготовления газовой смеси для получения диэлектрических слоев, включающий смешивание компонентов и подачу полученной смеси в вакуумированный реактор, 25 о тл и ч а ю щи и с я тем, что, с целью повышения точности состава смеси и возможности его регулирования, компоненты смеси из баллона высокого давления подают в камеру смешения с давлением (1 атм, а затем — в реактор.
