Шлюзовое устройство для вакуумных установок

 

ОП ИКАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (11):45 17 53 (61) Зависимое от авт. свидетельства— (22) Заявлено 02. 04. 73 (21)1914810/22-1° (51) М. Кл. C 2 1 J. 9/00

:С 23 С 13/08 с присоединением заявки—

Государственный комитет

Совета Министров СССР оа делам иааоретений и открытий (32) Приоритет—

Опубликовано30.11. 74Бюллетень № 44

Дата опубликования описания Я $$,74 (53) УДК 621,7)3.061 .(088.8) (72) Авторы изобретения В. В. Одиноков, В. E. Минайцев, В. А. Пупко и Л. М. Панкратов, (71) Заявитель (54) ШЛЮЗОВОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВАКУУМНЫХ УСТАНОВОК

Изобретение относится к вакуумным шлюзовым устройствам.

Известно шлюзовое устройство для вакуумных установок, содержащее корпус со шлюзовыми камерами и роторы с загрузочными полостями.

В таком устройстве каждый ротор имеет свой вал вращения и свой привод. Кроме того при вращении роторов изделие переI о ворачивается на 180 .

1lem изобретения — упрощение конструкции и сохранение определенной ориентации загружаемых изделий.

Для этого роторы предлагаемого шлюзового устройства выполнены со сквозными отверстиями, размещены на одном валу, снабжены одним приводом и разделены перегородками, вмонтированными в корпус и имеющими сквозные отверстия, смещенные одно относительно другого.

На фиг. 1 изображено предлагаемое шлюзовое устройство для вакуумных установок в разрезе, общий вид; на фиг. 2 разрез по А-А на фиг. 1; на фиг. 3 — разрез по Б-Б на фиг. 1.

Устройство состоит из корпуса 1 со шлюзовыми камерами 2 и 3 для ступенчатого понижения давления и роторов 4,5,6. с загрузочными полостями 7.

Роторы размещены на одном вертикальном валу 8, который имеет один ввод вращения 9 из атмосферы в вакуумную полость.

Роторы 4,5,6 разделены .между собой

1р герметизирующими перегородками 10 и 11 корпуса 1. Загрузочные полости 7 в ро. торах 4,5,6 выполнены сквозными и расположены одна над другой. Шлюзовые камеры 2 и 3 находятся в перегородках 10 и 11 корпуса 1 со смещением одна относительно другой по углу для обеспечения поступления транспортируемых изделий или материалов последовательно при вращении из полости 7 предыдущего ротора

20 в полость 7 следующего ротора и затем в вакуумную рабочую камеру 12. Шлюзовые камеры 2 и 3 со ступенчато понижаюшимся давлением откачиваются вакуумными насосами через патрубки 13 и 14.

25 Через окно 15 корпуса 1 производится

151753 загрузка, а через окно 16-выгрузка изделия.

Внутренняя поверхность корпуса 1 с наружной поверхностью роторов 4 5,6 образует узкие щели, ограничивающие натекание воздуха из атмосферы и области низкого вакуума в область высокого вакуума. Стрелками показана загрузка транспортируемых иэделий иэ атмосферы в ротор, перегрузка из ротора в ротор через f0 шлюзовые камеры и выгрузка в рабочую вакуумную камеру.

Устройство работает следующим образом.

Через окно 15 происходит загрузка изделия в одну из полостей 7 верхнего ротора 4. При этом изделие ложится на поверхность перегородки 10 корпуса 1 и при вращении синхронно вращающихся роторов

4, 5, 6 скользит по ней. В момент совме- ) щения загрузочной полости 7 с шлюзовой камерой 2 происходит перегрузка изделия нод собственным весом без переворачивания и без нарушения ориентации в одну из соответственно противоположных полостей 7 ротора 5, а также откачка поступившего воздуха через патрубок 13. Пройдя таким же образом через шлюзовую камеру 3, изделие при повороте последнего ротора 6 попадает в вакуумную рабочую камеру 12.

При использовании предлагаемого шлюзового устройства для выгрузки изделий иэ вакуумных рабочих камер его крепят к камере в перевернутом положении. Работа устройства осуществляется в том же порядке, что и при загрузке, Предмет изобретения

Шлюзовое устройство для вакуумных . установок, содержащее корпус, роторы с загрузочными полостями, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции и сохранения ориентации загружаемых изделий, роторы размещены на одном валу, имеют привод вращения и раздельны между собой перегородками, вмонтированными в корпус, причем в перегородках выполнены сквозные отверстия, смещенные относительно другого, а загрузочные полости выполнены сквозными.

4-51753

А-А 12 б-б

Составитель Н. Кузовкина

I 1дактор L. Шенелева Техред Т, AH)OH05a, „„зЫ9

Изд. 1 И

Тираж 591 Подпнсное

Предприятие «Патент», Москва, Г-59, Бережковская наб., 24

ЦНИИГ1И Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, 113035, Раушская наб., 4