Устройство для испарения жидкости
®+ " ." < - ИЛ% библиотека МЬА 326 севе севетвиик ИЗОБРЕТЕНИЯ ип 458 К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 29.03.73 (21) 1901179/23-26 с присоединением заявки № (23) Приоритет Опубликовано 30.01.75. Бюллетень № 4 Дата опубликования описания 18.03.75 (51) М. Кл. В Olj 17/28 Государственный комитет Совета Министров СССР (53) УДК 661.315.592 (088.8) ло делам изооретвиий и открытий (72) Авторы изобретения (71) Заявитель Л. И. Дьяконов и Б. И. Руда Государственный ордена Октябрьской Революции научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИСПАРЕНИЯ ЖИДКОСТИ Изобретение относится к технологии полупроводниковых материалов. Известно устройство для испарения жидкости в процессе эпитоксиального наращивания слоев из газовой фазы, содержащее испарительную камеру, резервуар для жидкости, входной и выходной патрубки для газа. В устройстве постоянство уровня жидкости в испарительной камере обеспечено за счет автоматической компенсации испаряющейся жидкости с помощью резервуара, представ ляющего собой камеру, оканчивающуюся внизу открытой трубкой, отверстие которой находится на уровне жидкости в испарительной камере. Понижение уровня жидкости в испарительной камере восстанавливается за счет жидкости, поступающей из резервуара. Однако первые порции газовой смеси обогащены легколетучими примесями, последние — труднолетучими, что приводит к фракционированию примесей в жидкости. Кроме того, возможны колебания уровня жидкости, вызванные изменениями давления в системе. Цель изобретения — уменьшение фракционирования примесей жидкости при сохранении ее постоянного уровня. Для этого внутренняя камера выполнена с отверстиями в боковых стенках, расположенными на разных уровнях, размещена на поплавке и соединена по скользящей посадке с патрубком для входа газа. На чертеже изображено предложенное устройство, вертикальный разрез. В цилиндрическом корпусе 1 размещен поплавок 2 с укрепленной на нем внутренней камерой 3. Камера заканчивается трубкой 4, которая свободно скользит в уплотнении 5 на входе газа в испаритель. Газ подается через 10 патрубок 6 и удаляется через патрубок 7. Камера имеет отверстия а и б, расположенные на разных уровнях. Устройство работает следующим образом. жидкость залечивают IB корпус 1 через па15 трубок 6. Газ поступает в камеру 3 через входной патрубок 6 и по трубке 4 отводится через отверстия а в боковой стенке камеры, расположенные выше уровня жидкости в ней. При понижении уровня жидкости поплавок 2 20 опускается, и жидкость через отверстия б поступает в камеру, чем поддерживается постоянство уровня жидкости в ней. Объем и вес поплавка подобраны с таким расчетом, чтобы уровень жидкости находился 25 между входными отверстиями для жидкости и выходными отверстиями для газа. Небольшая часть газа может пройти через зазор в уплотнении 5. Однако гидравлическое сопротивление этого зазора намного больше гид30 равлического сопротивления канала, подводящего газ к испарительной камере, поэтому этот зазор существенного значения не имеет. То, что объем жидкости в испарительной камере составляет часть общего объема жидкости в резервуаре испарителя, значительно уменьшает фракционирование. Изменения давления в системе не сказываются на работе описанного устройства. Устройство используют при выращивании эпитоксиальных слоев арсенида галлия в открытой хлоридной системе. Жидкий трихлорид мышьяка заливают в корпус, в качестве газа носителя используют водород. Полученные слои имеют значительно меньший разброс электрофизических параметров в отличие от закономерного и нежелательного изменения этих параметров в серии опытов для испарителя барбатажного типа. Предмет изобретения Устройство для испарения жидкости в процессе эпитоксиального наращивания слоев,,содержащее корпус с расположенной внутри камерой, входной и выходной патрубки для газа, отличающееся тем, что, с целью уменьшения фракционирования примесей жидкости при сохранении ее постоянного уровня, внутренняя камера выполнена с отверстиями в боковых стенках, расположенными на разных уровнях, размещена на поплавке и соединена по скользящей посадке с патрубком для входа газа. Составитель В. Безбородова Редактор А. Купрякова Техред E. Борисова Корректор И, Позняковская Заказ 611/12 Изд. № 1069 Тираж 782 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5 Типография, пр. Сапунова, 2
