Высоковакуумный электронный микроскоп

 

<п1 461465

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ союз Советских

:"-циапистииеских республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 30.06.72 (21) 1803695/26-25 с присоединением заявки № (23) Приоритет

Опубликовано 25.02.75. Бюллетень № 7

Дата опубликования описания 15.04.75 (51) М. Кл. Н Olj 37/26

"ооударстеенный комитет

С вета Мнннотрав СССР оо делам иаооретеннй (53) УДК 621.385.833 (088.8) и откоытнй (72) Автор изобретения

К. А. Макаров (71) Заявитель (54) ВЫСОКОВАКУУМНЫИ ЭЛЕКТРОННЫИ МИКРОСКОП

Изобретение относится к электронно-микроскопическому приборостроению и может быть использовано в электронных микроскопах со сверхвысоким вакуумом.

Известны сверхвысоковакуумные электронные микроскопы с фокусирующими магнитными линзами, расположенными вне вакуумногерметичного корпуса и выполненными из аксиально-симметричных деталей, которые можно снять только при полной разборке микро- 10 скопа. Вакуумно-герметичный корпус в области расположения магнитных линз выполнен в виде трубы из немагнитного материала, соединенной по торцам с корпусом электронной пушки и камерой образцов. В процессе откач- 15 ки микроскоп можно прогреть до 200 С.

Однако известные электронные микроскопы невозможно демонтировать в период прогрева прибора при обезгаживании, что ограничивает температуру прогрева (примерно до 200 С) 20 и соответственно сильно увеличивает время откачки микроскопа.

Цель изобретения — улучшение эксплуатационных качеств сверхвысоковакуумных электроннолучевых приборов. 25

Это достигается тем, что часть магнитопровода, расположенная между катушкой и корпусом, выполнена в виде отдельных секторов.

На чертеже представлена схема части корпуса прибора с магнитной линзой, в двух про- 30 екциях.

Приняты следующие обозначения: труба (корпус) 1; фланец 2; патрубок 3; полюсный наконечник 4; катушка 5 с обмоткой; сектор 6 магнитопровода.

Неразборный участок корпуса микроскопа состоит из тонкостенной трубы 1 из немагнитного материала, ось которой совпадает с электронно-оптической осью прибора, приваренных фланцев 2 и патрубка 3. Внутри трубы 1 расположены полюсные наконечники 4 магнитной линзы. Между катушкой 5 с обмоткой линзы и трубой корпуса 1 часть магнитопровода выполнена в виде нескольких отдельных секторов 6, например четырех, для уменьшения асимметрии фокусирующего поля.

Вакуумно-герметичный корпус прибора изготавливают с наружными вакуумными уплотнениями (фланцы 2, патрубок 3). Катушку 5 с обмоткой магнитной линзы надевают на корпус 1 при окончательной сборке. В период обезгаживания при откачке прибора нагревательный элемент (например, электрическую печь) устанавливают в пространство между корпусом 1 и катушкой 5; при этом катушку можно сдвинуть вдоль трубы корпуса. Прогрев корпуса прибора при обезгаживании возможен до 450 С, что уменьшает время откачки. По достижении необходимого вакуума нагревательный элемент убирают, между корпусом 1 и катушкой 5 устанавливают сектора 6, 461465

7 4

Составитель Н. Ефремова

Техред А. Камышникова

Корректоры; Л. Корогод и А. Николаева

Редактор А. Батыгин

Заказ 838/16 Изд. № 433 Тираж 833 Подписнос

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 замыкающие магнитную цепь между магнитопроводом катушки и соответствующим полюсным наконечником 4.

П р едм ет изобретения

Высоковакуумный электронный микроскоп, содержащий цельнометаллический участок корпуса с фланцами, магнитопровод и цилиндрическую катушку с обмоткой, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью уменьшения времени подготовки микроскопа к работе, часть

5 магнитопровода, расположенная между катушкой и корпусом, выполнена в виде отдельных секторов.