Способ очистки хлористого водорода
E ОП И
ИЗОБРЕТЕНИЯ ш 466181
Союз Советских
Социалистических
Республик
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 02.01.73 (21) 1866574/23-26 с присоединением заявки № (23) Приоритет
Опубликовано 05.04.75. Бюллетень № 13
Дата опубликования описания 18.07.75 (51) М. Кл. С 01Ь 7/08
Государственный комитет
Совета Министров СССР по делам изобретений (53) УДК 546.131(088.8) и открытий (72) Авторы изобретения
В. П. Степанова, T. Г. Комарова и Б. П. Краснов (71) Заявитель (54) СПОСОБ ОЧИСТКИ ХЛОРИСТОГО ВОДОРОДА
Изобретение касается способа очистки хлористого водорода от метилтрихлорсиланов.
Известен способ очистки хлористого водорода от примеси метилтрихлорсилана путем ее вымораживания с последующей абсорбцией примеси полиэтилсилоксановой жидкостью (ПЭС-1). Однако отличается низкая степень очистки хлористого водорода. Остаточная концентрация метилтрихлорсилана в продукте около 2%, Для повышения степени очистки хлористого водорода по предложенному способу в качестве абсорбента применяют продукты гидролиза этилэтоксисиланов (СГС). За счет более высокой сорбционной емкости абсорбента остаточная концентрация примесей в хлористом водороде после очистки 0,1%.
Способ осуществляют по следующей технологической схеме.
Газообразный хлористый водород с содержанием примесей метилтрихлорсилана — 10—
5 15% вымораживают при минус (— ) 35 С до остаточной концентрации примеси 1 — 3%. Затем хлористый водород обрабатывают сорбционной жидкостью СГС и поглощают НС1 водой.
10 Получают продукт с содержанием метилтрихлорсилана 0,1%, что в 10 раз меньше того количества, которое остается в хлористом водороде, очищенном с помощью ПЭС-1.
Сравнительные данные по степени очистки
15 хлористого водорода от,метилтрихлорсилана в предложенном и известном способах отражены в табл. 1 и 2.
466181
Таблица 1
Сорбция метилтрихлорсилана из HCI газа на жидкости СГС
Конечная концентрация хлорсилана, мг/л
Количество
СГС, 0,29
18,6
0,31
23,0
6,0
Таблица 2
Сорбция метилтрихлорсилана из HCI газа на жидкости ПЭС-!
Конечная концентрация хлорсилана, мг/л
Сорбционная емкость
ПЭС-1 „до проскока", r/ã ПЭС-1
Количество
ПЭС-1
0,0173
22,8
28,1
6,0
Предмет изобретения ким сорбентом, отл и ч аю щи йс я тем, что, с целью повышения степени очистки продукта, в качестве сорбента применяют продукты гидролиза этнлэтоксисилана.
Способ очистки хлористого водорода от примеси метилтрихлорсилана путем вымораживания с последующей абсорбцией ее жидСоставитель А. Пузырева
Техред 3. Тараненко
Корректор Л. Котова
Редактор О. Филиппова
Заказ 1722/3 Изд. № 633 Тираж 593 Подписное
ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений н открытий
Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2
Скорость газового потока, л/час
Скорость газового потока, л/час
Исходная концентрация хлорсилана, мг/л
Исходная концентрация хлорсилана, мг/л
Время сорбции, час
6,0
6,5
7,5
11,0
Время сорбцни, час
1,0
2,0
4,5
5,5
1,28
1,67
1,92
1,92
2,8
3,2
20,2
24,5
Просорбировано хлорсилана, (за 1 час,) мг
18,6
17,3
16,9
16,7
16,7
Просорбировано хлорсилана за 1 час, мг
25,3
24,9
7,9
3,6
Всего просорбнровано за все время сорбции, мг
52
101
200
Всего про сорбировано хлорсилана за все время сорбцни, мг
152
149
71
21,6
Сорбционная емкость жидкости
СГС „до проскока" г/r СГС
Сорбционная емкость жидкости
СГС (полная), г/r
СГС
Сорбционная емкость
ПЭС-1 (полная), г/r ПЭС-1
