Устройство для получения монокристаллов

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (ii) 466906

СОюз Соеетскик

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт, свид-ву (22) Заявлено 31.05.73 (21) 1927613/23-26 с присоединением заявки № (23) Приоритет

Опубликовано 15.04.75. Бюллетень № 14

Дата опубликования описания 10.07.75 (51) М. Кл. В 01j 17/18

Государетоеииый комитет

Совета Мииистров СС6Р по делам изобретений и открытий (53) УДК 669.046-172 (088,8) (72) Авторы изобретения

Л. П. Егоров, Л. М. Затуловский, Л. С. Окунь, П. М. Чайкин, В. В. Гуляев, В. Ю. Жвирблянский, Ю. А. Березин, А. П. Васильев, Д. И. Левинзон, Ю. М. Смирнов, Н. В. Бессонова и Г. В. Сачков (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ МОНОКРИСТАЛЛОВ

Предмет изобретения

Изобретение относится к области выращивания монокристаллов и может быть использовано, преимущественно, при вытягивании монокристаллов из расплава.

Известно устройство для получения монокристаллов вытягиванием из расплава на перемещаемую вверх затравку с тиглем, установленным в полости нагревателя щелевого типа ниже его верхнего края, и горизонтальным экраном над тиглем.

Однако вырез в экране создает асимметрию теплового поля, а наблюдать за положением фронта кристаллизации под острым углом к оси кристалла неудобно, С целью устранения асимметрии теплового поля, создаваемой вырезом в экране, и обеспечения более удобного обзора зоны кристаллизации в предлагаемом устройстве экран выполнен сплошным, а нагреватель — с петлевым витком в верхней части, вытянутым по горизонтали, на уровне щели которого расположен верхний край тигля.

На чертеже изображена схема предлагаемого устройства.

Устройство содержит тигель 1, помещенный в полость щелевого нагревателя 2. Нагреватель 2 выполнен с петлевым витком 3, а тигель 1 установлен таким образом, что его верхний край находится на уровне горизонтальной щели 4 в петлевом витке 3.

Над тиглем 1 расположен сплошной горизонтальный экран 5, монокристалл 6 вытягивают на перемещаемую вверх затравку (не показано). Условия вытягивания поддержива5 ют такими, чтобы фронт кристаллизации был виден через щель 4 петлевого витка 3.

В процессе вытягивания верхняя часть нагревателя 2 обеспечивает подогрев растущего монокристалла 6.

10 Величину температурного градиента по оси монокристалла у фронта кристаллизации регулируют, изменяя соотношение сечений ветвей 7 и 8 петлевого витка.

Устройство для получения монокристаллов вытягиванием из расплава на перемещаемую

20 вверх затравку с тиглем, установленным в полости нагревателя щелевого типа ниже его верхнего края, и горизонтальным экраном над тиглем, отличающееся тем, что, с целью устранения асимметрии теплового поля, созда25 ваемой вырезом в экране, и обеспечения более удобного обзора зоны кристаллизации, экран выполнен сплошным, а нагреватель — с пет левым витком в верхней части, вытянутым по горизонтали, на уровне щели которого расЗО положен верхнии край тигля.

466906

Составитель Т. Фирсова

Техред Е. Подурушина

Корректор О. Тюрина

Редактор В. Новоселова

Типография, пр. Сапунова, 2

Заказ 1652/11 Изд. Ко 1376 Тираж 782 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5