Устройство для травления плоских заготовок
»д 48l l44
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советскик оциалистических
Р о с о т б л и к (61) Дополнительное к авт. свпд-ву (22) Заявлено 06.07.73 (21) 1949362 26-21 (51) М. 1 л. Н 05k 3, 06 с присоединением заявки ¹
Государственный комитет
Совета Министров СССР ла делам изобретений и открытий (23) Приоритет
Опубликовано 15.08.75. Бюллстеш № 30
Дата опубликования описания 11.11.75 (53) УДV, 621.396.675. .002 (088.8) (72) Авторы изобретения
Г, А. Шапкин, И. H. Шоршигпн и Г. M. Велевич (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ ПЛОСКИХ ЗАГОТОВОК
Предмет изобретения
Изобретение относится к технологическому оборудованию для изготовления изделий радиоэлектроники.
Известны устройства для травления плоских заготовок, содержащие камеру травления, кольцевую зубчатую кассету, размещенную в пазу направляющей, и насос с трубопроводом, имеющим сопла для подачи травителя.
Недостатком известных устройств является неравномерное распыление травителя.
Цель изобретения — повышение равномерности травления достигается тем, что трубопровод с соплами, соединенный с насосом, размещен в пазу направляющей, причем сопла расположены в продольной плоскости кассеты с воз:»ожностью передачи перемещения кассете при воздействии на нее травителя, подаваемого из сопл.
На чертеже показано описываемое устройство. Оно содержит камеру травления 1, в ни»кней части которой размещена направляющая 2. В пазу направляющей расположена кольцевая зубчатая кассета 3 с обрабатываемой заготовкой 4. В продольной плоскости кассеты смонтированы сопла 5 так, что их выходные отверстия расположены напротив уступов отдельных зубцов кассеты. Для циркуляции травителя в устройстве предусмотрен насос б с трубопроводом, расположенным в пазу направляющей.
Прн включении насоса камера заполняется тргвптелем, после чего в нее загружается кассета с обрабатывае»ой заготовкон (лист металла пли фольгированного диэлектрика с нанесенным защитным слоем фоторсзиста) .
В процсссе работы насоса травптель, поступаю цпй через сопла в виде струп, приводит кассету во вращ" òåëüíîå движение. Одновременно с вращением кассета получает колебательное движение в всртпкальноп плоскости, благодаря чему обеспечиваются условия для равномерного двустороннего травления.
Устройство для травления плоских загото21 вок, содержащее камеру травления, кольцсгую зубчатую кассету, размещенную в пазу направляющей, и насос с трубопроводом с сопламп для пода щ травптеля, о т л и ч и ю щ е ес я тем, что, с целью повышения равномерно
25 стп травления, труоопровод с соилами, соединенный с насосом, размещен в пазу í",ïðàâляющей, причем сопла расположены в продоль»»о»» плоскости кассеты с возможностью переда ш перемещения кассете прп воздейст3 1 вии на нее травптеля, подаваемого пз сопл.
Состаиитсси Н. Блинкова
Тс. .pc Л. ?. азачксва
1<оррскзор Л. Дзссага
Рслактор T. ИЗрчикод;.
Тili .огра0)ии, iil,. С;;li,!io:!а, 2
Заказ 2569 15 И::;, . и 170-1 Тираж F69 Г(оиичсиос
Ц11ИИПИ Госукарсзвспио и кс . тста Сои та Мкиистрои СС.СР и!) дс.ча.,i изот-,c !I:..è и отц . .сиll
Москna, ill-Зо. P;.c.иска i !ioо.,,к. 4 5
