Патент ссср 414330

Авторы патента:

H05K3/06 - удаление токопроводящего материала химическим или электролитическим способом, например фототравлением

C09K13 - Составы для травления, поверхностного осветления или декапирования (для стекла C03C 15/00; для металла C23F;C23G 1/00;C25F 1/00)

4I4330

Союз Советских

Социалистических

Реслубмк

> 3IIttCt t. >I(iC (>Т;>ВТ. СВ>!ДОТЕ, Ьс !В<1 ¹

1;,!, C 2, >1 l. 00

l j (l >l, > (>t>

За>(В.!оно 15.Vl 11.1972 (№ 1<820056/26-9) с Itj>tt(0(;(litle.litic м заЯВкп Л"! j <> ПОР!!ТОТ

Госурарстеенный комитет

Сонета Ииннотроо СССР но Аелаы изобретений н открытий

;>,Д Е, 621. > 94.422.7:621. .3.049.75: 774 (088.8) (>публпкон>>НО 05.11.1974. Б!Олг>ете! Iü ¹ 5 ,13Т>1 опуб IttK083!lllil oti!Ic, il!!!i j j.Ë I 1974.Втор ь!

t!3Oi>j>C, Е:,: 1;»

В. А. М>>кс>>мчук, 1(. K. Рець 11 3. 11. Л >;-пусевич

Заяш>тель! АС 1 11011 i «>)I 1 ГАЛЛ ЕН11)1

2 !Онки. Iic рас !! >рн>!В>с н !p3IIIIJ(JIO пленки нз солей ) -«) citotJ кислоты. Лзотнокислы>! Натрий, являяс Оуфер>!Ой добавкой, повышаег ус- оичивость рас>вора и ускоряет процесс

>равления пленок -а!па 13. (0OTiiOL1ICilitC t(HC J0 l ПОДООРИНО 13К, 1. Окончание проц«се<1 1 ран Jet!!J>1 IIKcltj>) ется Впз) 3, iüHO.

?>ас(вор д.lя 1 раВлсния п.1енОК тантала на диэлектрическо>. подложке, содержаший азотную и (р>ори«>уio кислоты, о т л и ч а ю щ и йся !См, ч!О, с целью предотвращения разрушения диэ;!Сктрпчсскои подлОжки 11 ПОВышеиия с аби.1ьнос!и раствора, он дополнительно содерж!п укc) cl;)

Фторис1оводородная кислота 1

Уксусная кисло а 10 вЂ” 40

2> Лзотнокислы!! Натрий 1

11зобре!ение относится к TOKItu,.torltIJ .производств>1 элеме!пов радиоаппаратуры, 1 аствор может быль использован при изготовлении ! Ибридно-пленочных х>икросхем.

Известен раствор для 1равления плено> ганта ia на дпэлск(р! iecK0» подложке, содсржащш! азо ну!о и (1> (OpHc t) i0 кис 10ты. (>днако извес 1 пын рас Вор 1>3dp) ш" c i (и э, Iск! j> и ч«ск) 10 под п>5к и), и 0113 с i анонп l ся

ПСПРНГОДНОИ ДЛЯ ДЗЛЬНЕИШЕГО ИСПОЛЬIOJ;3I»»t.

ЦС;1 Ь ИЗООР 1 0 it i151 вЂ” СОХР 3ПЕН11С J ПЭ, ICICI P IIческои подложки» повышение стаоильнос>и раствора.

11редлагае:>>ы5! p3CTBOp OT tlH

В него дополни ельно введены уксусная кисло 1 3 и азо>но<кислый 113 1ри11 IlpH следующем соотношении исходных компонентов (вес. ч.):

Азотная кислота, уд. вес 1,41 8 вЂ” 35

Фтористоводородная кислота 1 вЂ” 5

У ксусная кислота ледяная 10 вЂ” 40

Лзотнокислыи натрий 1 вЂ” 5.

Уксусная кислота предохраняет диэлектрическу!о подложку от разрушения, поскольку, вероятно, в .процессе травления на поверхности подложки возникают очень плотные и

l 1 j> с д .« c 1 11 3 0 О р с 1 с ll и 51