Фотополимеризующаяся копировальная масса

 

ЬЙИ уэ М6А

О П И ВИЗОБРЕТЕН Ия (1)503553

Соее Соеетееих

Социалистических

Республик (61) Зависимый от патента— (22) Заявлено 28 12.71 (21) 1731629/23-4 (32) Приооитет 28.12.70 (31) P 2064079.3 (33) ФРГ

Опубликовано 15.02.76. Бюллетень № 6

Дата опубликования описания 11.11,76 (51)М.Кл. О 03 С1(70

Ъьудерстеениыи комитет

И>еета Ыииистрое СССР ио млаи изобретений (53) УДК 771.531,3 (088,8) и юкрыпии (72) Авт ор изобретения

Раймунд-Иозеф Фауст (ФРГ) Иноф и р ма

«Хехст AI (ФРГ) (71) 3 аяв.итель (54) ФОГОПОЛ ИМЕР ИЗУЮЩАЯСЯ

КОПИРОВАЛЬНАЯ МАССА

Фотополимеризующиеся массы находят применение в репродукционной технике в качестве копировальных слоев, содержат фотополимеризуемые соединения, например сложные эфиры акриловой и метакриловой кислот, в особенности сложные эфиры акриловой кислоты, с многоатомными алифатическими спиртами. Примерами являются следующие мономеры: гександиол - (1,6)-диакрилат, триэтиленгликольдиакрилат, полиэтиленглихольдиакрилат, неопентилгликольдиакрилат, диглицериндиакрилат, триметилолпропантриакрилат,,пентаэритриттетраакрплат дипентаэритритгексаакрилат и другие, Применяемые до сих пор мономеры обладают лиоо вредной высокой летучестью,,как, например, триэтиленгликольдиакрилат, триметилолэтантриакрилат, триметилолпропантриакрилат, либо они твердые при комнатной температуре, как, например, пентаэритриттетраакрилат, и выкристаллизовываются в фотополимерном слое. Другие мочомеры, правда, обладают достаточно низкими давлениями,IIBpoB и жидкостно-вязким характером, например полиэтиленгликольдиакрилат и пентаэритриттриакрилат, однако эти мономеры применимы только на особенно облагороженных металлических носителях, например на особенно шероховатом и при известных условиях анодированном алюминии, так как на других металлических носителях слишком плохая прилипаемость.

Этот недостаток уменьшается особенно в тех случаях, когда применяют носители из меди и:когда слой должен проявляться с noMoLlbIo воднощелочных растворов, т. е. когда применяют растворимые пли набухаемые в водной щелочи связующие. Практически все известные для фотополимерных слоев слож10 ные эфиры акриловой и метакриловой кислот в комоинапии с проявляемыми с .помощью воднощелочных растворов связующими не дают достаточной прилипаемости к меди. К этим связующим относятся, например, часто применяемые сополпмеризаты из метилмета-. крилата и метакриловой кислоты с кислотными числа м и выше 150.

Цель изооретения — найти новые фотополимеризуемые мономеры, с помощью которых можно составлять проявляемые в воднощелочных растворах слои, после освещения

xopioIIIo налипающпе на металлические носители, в особенности на медь.

Предлагаемая фотололимеризующаяся копировальная масса в качестве существенных составных частей co+Op>KIIT по меньшей мере одно связующее, по меньшей мере одно полимеризуемое соединение и по меньшей мере од,"гн фотоинициатор. Предложенная в и - o503 5, Ъ

Х ХН СО О (СН СНу 0) СН С R !

15

25

ЭО

40

Предложенные в изобретении копировальные массы, кроме,фотоинициаторов, связующих и описанных полимеризуемых соединений содержат еще ряд других добавок, на- 45 пример: ингибиторы для предотвращения термической полимеризации массы, доноры водорода; вещества, модифицирующие сенситометрические свойства такого рода слоев; красители; окрашенные и бесцветные пигмен- 50 ты; компоненты цветного проявления (цветообразующие компоненты, индикаторы) и пл астификаторы.

Эти составные части целесообразно выбирать так, чтобы они по возможности мало 55 абсор бировали в важной для процесса инициирования области длин волн. бретении копировальная масса отличается тем, что содержит в качестве полимеризуе IoR1

 — С вЂ” СН вЂ” (О-СН - СН ),гΠ— СОХН

1 3 где Х вЂ” насыщенный углеводородный остаток с 2 — 12 атомами углерода или арилеиовый остаток с 6 — 10 атомами углерода, R — алкил с 1 — 3 атомами углерода, R4 или CHgR4

Rg u Rg являются одинаковыми или разными и означают Н, СН или CHzR4, 84 — Π— СΠ— CRq= СН,,причем по меньшей мере один из радикалов RI, R>, Rz имеет значение R4 или СНЯ4, К5 — Н или СН31 и и m означают одинаковые или разные числа 0 — 20.

Предпочтительно выбирают такие соединения, в которых Х является насыщенным углеводородным остатком, который может быть с,прямой цепью, разветвленным или алицикличеоким или:может быть составлен из такого рода частей. Прежде всего предпочитают более длинные алифатические или циклоалифатические остатки (примерно с

4 — 12 атомами угле рода), так как эти соединения легко доступны и дают слои с особенно хорошими механическими свойствами.

Копировальные массы, предложенные з изобретении, после освещения дают отвержденные части слоя, которые превосходно прилипают к металлическим носителям всех родов, также к меди, в то время как неосвещенные части слоя легко и,полностью могут удаляться с.,помощью водно-щелочных растворов для проявления. Особенно хорошее склеивание показывают копировальные массы из мономеров, в которых остаток Х содержит, по,меньшей мере, одну, предпочтительно несколько боковых метильных групп. Соответствующие преимущества, показывают также метакрилаты по сравнению с акрилатами, в особенности при склеивании с мед,ными носителями.

ro соединения, по меньшей мере, одно соединение, соответствующее обшей формуле 1.

Предложенные в изобретении копировальные массы можно применять в промышленности в форме раствора или дисперсий, например в качестве так называемого копировального лака, который самим потребителем наносится на индивидуальный носитель, например, для травления формованного изделия, для приготовления копировальных схем, освещается после высушивания и,проявляется. Для таких же целей могут применяться массы в качестве предварительно приготовленных переносимых светочувствительных слоев,на промежуточном носителе, например пластмассовой пленке. В этом случае можно кашировать слой под давлением и при нагревании на наиболее желательный носитель, затем освещать и,после удаления промежуточного носителя проявлять, Массу можно также применять в виде готового, предварительно сенсибилизированного светочувствительного копировального материала, например, для приготовления печатных пластин для плоской, высокой и глубокой лечати.

Хотя предложенные в изобретении копировальные массы сравнительно нечувствительны по отношению к кислороду воздуха, во многих случаях выгодно массы во время фотополиме ризации значительно ограждать от влия ния кислорода воздуха. В случае применения масс в форме предварительно сенсибилизированных копировальных материалов можно наносить герметичную для кислорода покровную пленку. Она может оыть изготовлена из самого материала носителя и снимается перед, проявлением копировального слоя или предпочтительно состоит из материала, который может растворяться в про. являющей жидкости или по меньшей мере на неотвержденных местах может удаляться при проявлении. Пригодными для этого материалами являются, например, воски, поливиниловый спирт, полифосфаты и сахар.

Если масса в качестве переносимого фоторезисторного слоя;находится на промежуточном носителе, ее можно покрывать также на другой стороне слоя тонкой, удаляемой защитной пленкой, например из полиэтилена. В качестве носителя для копировальHblx материалов, приготовленных с помощью предложенных в изобретении копировальных масс, пригодны,,например, алюминий, сталь, цинк, медь и пластмассовая пленка, например, из полиэтилентерефталата или целлюлозоацетата, а также трафаретный носитель (носитель для фотофильмпечати), как перлонгаз.,Поверх ность носителя можно химически или

503553

65 механически предварительно обработать, что бы установить правильно степень прилипаемости слоя или снизить отражательную способность носителя в актиниевой области:копировального слоя (защита от света).

Приготовление светочувствительных м атериалов при применении предложенных в изобретении копировальных масс осуществляется известным образом. Так, можно о=ущест влять его в растворителе и раствор или дисперсию путем наливания, распыления, поrpy жения, нанесения с помощью вальцов наносить на носитель в виде пленки и затем высушивать. Плотные слои можно приготовлять путем экструдирования или напрессовки в виде самонесущей пленки, которая затем расслаивается,на носителе.

Копировальные слои известным образом освещают и проявляют. В качестве проявителей .предпочтительно пригодны воднощелочные растворы, пап ример фосфаты или силикаты щелочных металлов, малые количества которых, при известных условиях, можно добавлять к смешиваемым органическим растворителям. В самых желательных случаях могут применяться также органические растворители или их смеси в качестве проявител ей. Предложенные в изобретении копировальные,массы можно применять для самых рааличных целей. С особенным преимуществом их применяют для приготовления фоторезистивных или защитных при травлении слоев на металлических но "ителях. Прежде всего они пригодны для применения на носителях из меди, например, для приготовления копировальных схем, форм для глубокой печати и полиметаллических форм для офсетной печати. Отлич ая прилипаемость освещенных частей слоя оказывается прочной в случае этих предпочтительных форм применения не только во время проявления, но и также Вп время последующего травления носителя, при котором слои при применении пригодного связующе."о показывают хорошую cOIIpOTHB ляемость травлению.

Копировальные массы можно применять и ислользовать особенно хорошо в форме c)"хих резистивпых материалов, так как их можно переносить также сухими на хорошо сцепляющиеся слои на металлическом носителе. В этом случае в качестве прозрачных пленок промежуточных носителей осооенно пригодны полиэфирные пленки.

В приводимых примерах, если не указа но другое, проценты и количественные соотношения даны в весовых единицах. В качестве весовой части нужно брать 1 г, в качестве объемной — 1 лл.

П р и м ер 1. Раствор (вес. ч.) 2,8 тройного сополимера из метилметакрилата, и-гексилметакрилата и метакриловой кислоты (25: 125: 30) с кислотным числом 202; 2,8 описанного ниже продукта взаимодействия 2,2,4триметилгексаметилендиизоцианата и гид5

l0

25 й0

60 роксиэтиленметакрилата; 0,12 1,2-бензакридина; 0,1 меркаптобензтиазола; 0,25 триэтиленгликольдиацетата; 0,04 три- (4- (3-метилфениламино)-фенил)-метилацетата в 20 об. ч. этилепгликольмопоэтилового эфира очищают путем отфильтрования проявляющихся нерастворенных частей. После этого раствор наносят на указанный .ниже носитель. Полученные пластины высушивают в течение 2 чан при 100 С в сушильном шкафу, вес слоя составляет 4 — 10 г/л .

Примененные фотомономеры приготовляют следующим образом.

iB трехгорлой колбе с мешалкой, обратным холодильником и хлоркальциевой трубкой нагревают 4 ч до легкого кипения следующие количества компонентов, вес. ч.: 6750 сухого бензола, 1170 гидроксиметилметакрилата и 4,5 диэтилциклогексиламина при добавке 45 медного лорошка. После охлаж,дения медь отфильтровывают и бензольный раствор встряхивают дважды с порцией по

1000 вес. ч. насыщенного раствора NC1 и один раз с водой. Затем к бензольному,раствору добавляют 10,5 вес. ч. гидрохинонмонометнлового эфира и удаляют бензол отдельными порциями в ротационном вакуумном испарптеле при 50 С.

Выход 1910 вес. ч. (90,5% от теории).

Продукт содержит 0,55,вес. % стабилизатора.

%lU: вычислено 5,95; найдено 5,9.

Слой освещается с помощью ксенон-копировального аппарата фирмы Klimsch f Со, Frankfurt Main, типа Bikop, модель Z, 8Ьч, при расстоянии 80 сл между лампой и копировальными рамами, в течение 1 .чин под комбинированным негативным оригиналом, состоящим пз 21-ступенчатого полутонозого серого клина, объем плотности которого составляет 0,05 — 3,05 с инкрементами плотности 0,15 и 60-тым и 120-ым штриховымн и точечными растровыми оригиналами.

Освещенный копировальный слой проявляют с помощью водно-щелочного проявителя, который имеет значение рН 11,3 и следующий состав, ч: 1000 воды, 1,5 натрийметаспликатнонагпдрата, 3 полигликоля 6000, 0,6 лезулпновой кислоты, 0,3 октагидрата гидроксидя строения. Пластину проявляют 30 — 60 с и после этого промывают водой. Затем фиксируют с помощью 1%-ной фосфорной кислоты и потом окрашивают черной жирной крас кои.

В качестве материала носителя приме,няются: а) механически шерохованный с помощью проволочной щетки алюминий; б) шероховатый электролитически и анодированный алюминий с 3 г окиси ня 1 лР; в) хромовая жесть; г) стальная жесть; д) луженая стальная жесть.

На всех материалах носителей достигается хорошая прилипаемость фотополимерного

5 "3553 слоя. Проявление. мест бгз изображения осуществляется аккуратно, так что даже были безукоризненно изображены м лкие световые хоН;<Н 120-го растра.

Относительная светочувствитгльность освещенных, как указано выше, пластин составляет в случае носителей а, s, г и д пятьшесть клиновых ступеней, в случае более сильно облагороженного носителя б — семьвосемь клиновых ступеней.

Таким образом полученные печатные пластины непосредственно применимы для офсетной печати.

Как следует из примера, нет необходимости наносить защищающий от кислорода слой на копировальный слой. Если, несмотря на это наносят наружный слой из сахара, метилцеллюлозы и сапопина (2: 1: 0,15) из раствора в 96,85 вес. ч. воды, тогда получают в среднем две-три клиновые ступени.

На основании высокой вязкости примененного мономера:копировальные слои без HBружного слоя или с ним обладают неклейкими говерхпостями с жестким туше (графитом) . Сопротивляемость проявитглю этих

c;,огв очень хорошая.

Пластины для плоской печати дают в офсетной печати на машине для размножения более чем 100000 безукоризненных отпечат,ков, Устойчивость при хранении копировальных слоев отличная.

Пример 2. Раствор (вес. ч.) 2,8 соНолимеризата из метилметакрилата и метакрилозой кислоты с кислотным числом 85 и средним молекулярным весом 34006; 2,8 указанного ниже мономера; 0,2 9-фенилакридина;

0,03 примененного в примере 1 трифенилметанового,красителя;,0,25 триэтиленгли:<ольдиацетата в 30 об. ч. этилгнгликольмопоэтилокого эфира фильтруют и наносят «сухим» на электролитически шерохованный и анодированный алюминий с 3 г окиси на 1 м с плотностями слоев 4 — 6 г/м . Освещение, проявление и оценку печатной пластины осущест.вляют, как в примере 1. При времени освещения 1 мин с помощью указанного там <опировального аппарата получают семь-восемь полностью зачерненных сту пеней клина.

В качестве мономера применяется продукт взаимодействия 1 моля 1,1,3-триметил-З-изоцианатометил - 5 — изоциана;оциклогексана и

2 молей гидроксиэтилметакрилата. Он приготовляется аналогично способу, указанному в примере 1 (%М: рассчитано 5,8; найдено 5,7).

Вместо названного фотомономера могут также применяться одинаковь.е количества продукта взаимодействия 1 моля 2,2,4-тримгтил.-ексаметилендиизоцианата и 2 молей гидроксипропилметакрилата (о/ОХ: рассчитано

5,62; найдено 5,3) или продукта превращения

1 моля 2,2,4-триметилгексаметилендиизоцианата и 2 молей гпдроксиэтилакрилата (%IX. расc÷èòàíî 6,34; найдено 6,2). При одинаковом освещении и проявлении, KBiI< указано

1О

55 выше, получают шесть, соответстзгнпо пять полностью зачерченных ступеней, клина.

Пригодные, печатные формы получаются та кже при применении мономера, который образуется путем взаимодействия 1 моля этилгндиизоциа ната с 2 молями гидроксипропилмгтакрплата.

Пример 3. Раствор (зес. ч.) 2,8 примененного в примере 1 тройного =ополимера;

2,8 указанного ниже мономера; 0,2 9-фенилакридина; 0,25 диэтиленгликольмоногексилоHo I .о эфира, 0,03 IIpHмененного o IpH vlBpe 1 трифенилметанового,красителя в 30 об. ч. этиленгликольмоноэтилового эфира фильтруют и наносят на электролитичеахи шгрохованный и анодирозапный алюминий с 3 г оксида на 1 лР, Освещение, проявление и оценку осуществляют, как в примере 1. Получают семь полностью зачерненных и в общем дезять различных ступеней клина.

Примененный мономер приготовляется путем взаимодействия 1 моля 2,2,4-триметилгексаметплендиизоцианата с 2 молями пентаэритриттриакрилата описанным в примере 1 образом (%K: рассчитано 3,48; найдено 3,2).

Вместо только что описанного можно та1<я<г применять все количество продукта превращения моля 2,2,4-триметилгехсамгтплгпдиизоцианата и 2 молей триметилолэтандиакрилата (% II!: рассчитано 4,21; найдено 4,2) или проду:<та взаимодействия 1 моля 1,1,3трпметил-3-изоцианатометпл - 5 - изоцианатоциклогексана и 2 молей гидроксиэтилакрилата (%N: рассчитано 6,17; найдено 6,3). При одинаковом освещении и проявлении,,как и выше, получают десять или соответственно четыре пол.-(остью зачерненных кличовых ступени.

П р и м г р 4. Пригодная для типографской печати печатная пленка приготовляется из следующих количеств ко.лпонентов, вес. ч.:

10 примененного в примере 1 тройпоlо сополимера; 6 примененного в,примере 1 мономера; 1,0 триэтиленглико Iьдиацетата; 0,06 бензоиннзо IpoIIHëoâoãо эфира. компоненты растворяют в 25 мл этиленгликольмоноэтилового эфира и раствор выливают на горизонтально раcïîëîæåííûé, шерохованный электролитически и анодированный алюминиевый, носитель и хорошо высушивают. Высушенный слой толщиной примерно 1 мм освещают через комбинированный штриховой растровый типографский ори. гинал с помощью лампового аппарата освещения фирмы Мо! l, SolingiII-Walof, с тесно лежащими одна по отношению к другой люмингсцентными ламлами типа Philips TLAK

=40W/05 на расстоянии 5 см в течение

10 мин. Проявляют с помощью воднощелочного проявителя, как описано в примере 1.

Примерно после 15 — 20 мин легкого трения о=гвец1енной пленки кистью в,проявитепьной ванне получают четкий контурный рельеф с глубиной рельефа 0,5 мм.

Вместо .фотомономера можно также применять одинаковые кол ичества упомянутого в. примере 3 продукта взаимодействия 1,1,3триметил-3-изоцианатометнл — 5 - изо цианатоциклогексана и гидрт<сиэтилакрилата, продукта взаимодействия 1 моля 2,2,4-триметилгексаметилендиизоцианата и 2 молей пентаэритриттриметакрилата или продукта ззаимодействвия 1 моля 1,1,3-триметил-2-изоцианатометил-5-изоцианатоциклогексана и 2 молей гндроксипропилметакрилата.

Пластины освещают и проявляют, как описано выше, причем получают рельефы примерно 0,5 мм глубины с хорошей четкостью и хорошим разрешением вплоть до 56 линий/см.

Пример 5. Пластину для высокой печати приготовляют, нанося покрытие на одноступенчатую цинковую протразлечную пластину с протравленным резистизным слоем.

Протравленный резистивный слой имеет следующий состав, вес. ч.: 2,8 примененного в примере 1 тройного сополимера; 2,8 примененного в примере 1 мономера; О,1 9-фенилакридина; 0,1 полиоксиэтиленсорбиганмоноолеата; 0,4 примененного в,примере 1 красителя; 13,0 этиленгликольмонаэтилозого эфира, Раствор после фильтрования наносят на цинковую пластину. Освещают 1,5 мин с помощью ксено новой точечно-световой лампы

СОР 5000 фирмы Staub, Neu-tseïbuãó, через штрнховбй растровый оригинал с приложенным кодовым (КооГог1<) ступенчатым клином.

После 1 мин проявления с помощью проя вителя, опи"анного з примере 1, .получают безукоризненную картину (изображение) оригинала. Получают шесть клиновых ступеней.

Для приготовления формы для высокой печати очищенную поверхность цинка в течение 5,пан при комнатной температуре протравливают 6% -ной азотной кислотой. Параллельные опыты с,применением эд оступенчатой машины для травления с,помощью 6%-ной азотной кислоты при 27 С дают спустя

30 мин так же, как и выше, печатные формы, которые пригодны для типографской печати.

П р н и е р 6. Раствэр (вес. ч.) 2,8 сополимернзата метилметакрилата .и метакриловой кислоты с кислотнь|м числом 85 и средним,моле- улярным весом 34000; 2,8 примененного в примере 1 иономера; 0,2 9-фенилакридина;

0,03,примененного в примере 1 красителя;

0,25 диэтиленгликольмоногексилового эфира и

30,0 этиленгликольмоноэтилозого эфира наносят на биметаллическую пластину латунь— хром и высушивают. После этого копировальный слой покрывают защитным слоем из поливинилового спирта толщиной 1 — 2 мкм и освещают 30 с через позитивный оригинал с помощью источника света, указанного в примере 5, и проявляют, как з примере 1. После этого освоэожденный хром примерно 2 мин вытравливают с помощью раствора (%) 17,4

СаС1, 35,3 ZnC12, 2,1 НС1 и 45,2 воды и отвержденный фотополимерный слой удаляют с

65 помэщью смеси этиленглис<оль — мэноэтиловый эфир — ацетон. Затем, протирают 1%-ной фосфорной кислотой и окрашивают жирной краской. Бимегаллическая пластина прн этом готова .к печати.

Пример 7. Фоторезистивный раствэр, пригодный для приготовления печатных схем, форм для глубэкой печати с автотипии и для вытразлизания фасонной части, ilp гготовляется из следующих количеств ком;понентов„ вес. ч,:

2,8 тройного сополимеризата метплметакрилатз, эгилметакрилата и метакриловой кислоть1 (75: 375: 90) с кислотным числом

1М; 2,8 примененного в,примере 1 мочомера; 0,2 9-фенилакридина; 0,25 трнэт глечгликольдиацетата; 0,03 примененного в примере

1 красителя и 30,0 об. ч, этпленгликоlüìouoэтилового эфира.

Раствор наносят путем погружения или нанесения до толщины слоев 3 — 10, предпочтительно 5 мки, сухим на пластину из фенопластозого слоистого материала, каширозанную меднои фольгой толщиной 35 мкл, и 2 лсин при 100 С высушивают, освещают и проявляют, ixa ê в примере 1. Получают отлично прилипающий резерв травления с очень хорошим растворением. Сопротивление проявителю настолько хорошее, что прп достижении времени проявления еще нельзя наблюдать пика "o-.о действия проявителя на резерв травления. Освобожденные после проявления по,верхности меди травят при 42 С с помощью раствора FeCt,, 42 Be . Время травления в машине травle.-Iия методом распыления фирмы Chemeut Яэ11п еп типа 412 G составляет примерно 45 с. СопротивленIIe -paa Ie r«Io резистивного слоя отличное. В описанных условиях получают десять полных клиновых ступеней.

Описанный слой для защиты при травлении показывает наряду с названными хорошими свойствамн также хорошую гальвапоустойчи,вость в сильно кислых (рН ниже 1) металлических ваннах, например, в ванне для осаждения блестящего (глянцевого) оло ва, в ванне свинец — олово и ванне мелкозернистая медь — пластик фирмы Sch!otleI и золотой ванне фирмы Blasbery, Указанный фоторезистивчый раствор имеет отличную устойчивость при хранении, которую можно еще улучшить путем добавки радикальных ингибпторов.

Описанную жидкую фоторезистивную массу можно также применять з качестве сухо"o резиста, если ее обраоатывают, ках в примере 8. В качестве сухого резиста смесь проязляет подобные хорошие свойства.

П р и vr e p 8. С IezyIouIIe I.o.iIIIi eeTII понентэв, .в с. ч.: 8,4 примененного в примере

1 тронного сополимеризата; 8,4 примененного в примере 1 монометра; 0,3 1,2-бенза кридIï:à;

0,75 триэтиленглнкольднацетата; 0,3 применен.э"o в примере 5 смачивателя; 0,12 IIpH" мененного в,примере 1 красителя в 60 об. ч.

503553

12 этиленгликольмоноэтилового эфира наносят на биаксиально вытянутую полиэтилентерефталатную пленку толщиной 25 мкм, так что после 2 мин высушнвания при 100 С получают толщину слоя 10 мкм. Получают сухую резистивную пленку отличной гибкости и с неклейкой поверхностью ;при комнатной температуре. Сухой резист кашируют с помощью ламината типа 9LD General Binoling Corporation, США, при 130 С на пластину,фенопласт — слоистый материал, .кашированную медной фольгой толщиной 35 мкм, освещают

1 мин с помощью источника света, указанного в примере 5, и после снятия полиэфирной пленки проявляют, как в примере 1. Резерв травления обладает сопротивляемостью при проявлении, устойчивостью при травлении и гальваноустойчивостью, подобными описанным в примере 7.

Получено восемь клиновых ступеней.

Прн хранении светочувствительного сухого резист-материала наблюдается устойчивость. ,Пример 9. Раствор (вес. ч.) 2,8 примененного в примере 1 тройного сополимера; 2,8 примененного в примере 1 мономера; 0,5 диэтиленгликольмоногексплового эфира; 0,3 примененного в примере l,красителя; 0,025

9 фенилакридина; 12 об. ч. этиленгликольмоноэтилового эфира наносят на полиэтилентерефталатную пленку толщиной 25 мкм таким образом, что после высушивания (8 мин феном, 3 мин при 100 С в сушильном шкафу) получают плотность слоя 25 мкм. Сухую резистивную,пленку п<ашируют, проклеивают, как описано в примере 8, на кашированную медью пластину из слоистого материала. После 2 мин проявления получают безукоризненно проявленное изображение оригинала. Устойчивость при проявлении и устойчивость при травлении, а также все свойства, описанные в примере 7 и 8, являются отличными.

Получено восемь клиновых ступеней.

R1

В =n — СН = (0-СНа — СН ) = 0=00NH=

В,, 35

Ri

Х вЂ” ЖН вЂ” СО-О-(СН вЂ” CH —,О) — CH — С вЂ” В

2 2 2 2

1 з

50 где Х вЂ” насыщенный углеводородный остаток с 2 12 атомами углерода или ариленовый остаток с 6 — 10 атомами углерода, R, — алкил с 1 — 3 атомами углерода, R4 или CH>R4, R u R — одинаковые или разные и означают Н, СНЗ, CHyR4.

R4 — — Π— CO — СК =СН, причем по меньшей мере один из радикалов Кь R>, К, имеет

l0

Зо

Эту смесь можно также лерерабатывать до более высоких плотностей слоев (35, 60 и

120 мкм) и применять в качестве сухого рези ста.

При замене мономера одина новым количеством продукта превращения 1 моля 2,2,4триметилгексаметилендиизоцианата и 2 молей триэтиленгликольмоноакрилата получают сухой резист с .подобными хорошими свойствами. Получено девять:клиновых ступеней.

Подобных хороших свойств достигают с помощью копировальных масс согласно примерам 6, 7 или 8, если вместо примененного там мономера берут одинаковые количества продукта взаимодействия гексаметилендиизоцианата и гидроксилропилметакрилата (N: рассчитано 6,14; найдено 6,2), 2,2,4-триметилгексаметилендиизоцианата и гидроксипропилакрилата (/о N: рассчитано 5,88: найдено 5,8), 1,1,3-триметил - 3-изоцианатометил - 5-изоцианатоциклогексана и пентаэритриттриметакрилата (о/о N рассчитано 3,1; найдено 3,2) или гексаметилендиизоцианата и триметилолпропацдиакрилата (о/о N: рассчитано 4,28; найдено 4,3).

Несколько хуже могут проявляться копировальные слои, иоторые вместо названных мономеров содержат продукт превращения толуилендиизоцианата,и триметилол пропандиакрилата (о/, N: рассчитано 4,26; найдено 4,3).

Qoðìóë а изобретения

1. Фотополимеризующаяся,копировальная масса, содержащая в качестве основных составных частей по меньшей мере одно фотополимеризуемое соединение, т1о меньшей мере, одно связующее и по меньшей мере один фотоинициатор, о тл и ч а ю щ а я с я тем, что, с целью увеличения,светочувствительности слоя и увеличения адгезии к подложке, в качестве фотополимеризуемого соединения предложено соединение общей формулы 1 значение R4 или CHgR4>

Rs — Н или Снз, и и т — одинаковые или разные числа от

0 до 20.

2. Фотополимеризующаяся копировальная масса по п. 1, отличающаяся тем, что ,в,качестве фотополимеризуемого соединения при значении m и и, равном одинаковым или различным .числам от 1 до 2, предложено соединение формулы 1.