Паста для металлизации высокоглиноземистой керамики

 

1 1 535257

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

1,ыз Советских

Сскиалистических

Реснублик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 14.03.75 (21) 2113384/33 с присоединением заявки № (23) Приоритет

Опубликовано 15.11.76. Бюллетень № 42

Дата опубликования описания 26.11.76 (51) М, Кл.2 С 04В 41/14

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК 666.3.056.5 (088.8) (72) Авторы изобретения Л. Г. Вакуленко, А. В. Клименко, Э. T. Мамыкин, А. А, Мартынюк, В. Д. Ткачук и М. К. Уткин (71) Заявитель (54) ПАСТА ДЛЯ МЕТАЛЛИЗАЦИИ

ВЫСОКОГЛИНОЗЕМИСТОЙ КЕРАМИКИ

Однако в тех случаях, когда требуется Получают пасту для металлизации следуювакуумная плотность металлокерамических 30 щим образом.

Изобретение относится к материалам, используемым при создании металлизационных покрытий на алюмооксидной керамике, применяемой в различных областях микроэлектроники.

Известно, что,на керамике с содержанием стеклофазы около 10%, металлизационные слои с достаточно высокой адгезионной прочностью, электропроводностью и плотностью могут быть получены вжиганием смеси,порошков молибдена, марганца и титана. Однако при металл изации высокоглиноземистой керамики ти па «Поликор», металлизационные покрытия, удовлетворяющие перечисленным требованиям, могут быть получены при вжигани и составов, содержащих молибден, марганец, Титан,при температурах порядка

1600 †17 С.

Наиболее близкой к предлагаемой по технической сущности и достигаемому эффекту является паста для металлизации высокоглиноземистой керамики, содержащая следующие компоненты, вес. %:

Молибден Основа

Марганец 3 — 20

Титан 3 — 20

Металл группы платины 0,01 — 1 спаев, свойства металлизационных слоев могут оказаться неудовлетворительными, так как конечная отористость их после спекания составляет 20 — 25%.

Кроме того, мсталлизационные слои на высокоглиноземистой керамике имеют достаточно высокое электросопроти вление (58,0—

62 мком см), а адгезионная прочность не превышает 45 кг/см . Наличие в составе для ме1О таллизации марганца и титана делает его черезвычайно чувствительным к влажности газо вой среды при вжигании, что .приводит к снижению процента выхода годных изделий на конечных операциях.

l5 Цель изобретения — повышение плотности, электропроводности и адгезии металлизациоHных слоев.

Предлагаемая паста на основе молибдена

20 в качестве добавок содержит MnTi03 и Т407 при следующем соотношении компонентов, вес. %:

Молибден Основа

Шпинель

МПТ103 0,3 — 15,0

Т1 07 0,02 — 1,0

Палладий 0,01 — 1,0

53525i1

0,3

0,02

0,01

99.,67 свойства

2,7

0,2

О,1

97,0 металлизаМпТ10з

Т!407

Pd

Мо близи:o-механические цпон ых пок1зыт11й.

Удельное электросопротивление, МКом омв

Лдгезионная прочность, кг/ом

Пористость, о о (не менее) 10

20 — 25 28,7 — 36,9

60 — 65

70 — 75

12

Основа

0,3 — 15,0

0,02 — 1,0

0,01 — 1,0

Составитель Л. Липовецкаи

Техред А. Камышникова

Редактор 3. Шибаева

Корректор Л, Орлова

Заказ 2480/15 Изд. М. 1758 Тираж 752 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, K-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2

В молибденовый ангидрид вводят палладий в количестве 0,01 aec. % в виде раствора хлористого палладия. Полученную смесь тщательно перемешивают и сушат при 105—

110 С. Высохшую смесь растирают в фарфоровой ступке и,просеивают через сито 016

ГОСТ 9584 — 53.

Перемешивают азотнокислый марганец и треххлористый титан, используемые для .получения в конечном продукте необходимых I"оединений: (МпТ10з и Ti„O;) с порошком палладиро ванного молибденового ангидрида.

Компоненты смеси берут из расчета содержания в составе для,металлизацпп 0,1—

5 вес. % марганца и титана соответственно в пересчете на чистый металл.

Полученную смесь тщательно перемешивают и сушат при 120 — 130 С, затем растирают в фарфоровой ступке, просеивают через сито 016 ГОСТ 9584 — 53 и равномерным слоем рассыпают по лодочке, изготовленной из молибденовой жести.

Смесь восстанавливают в печи водородом.

К полученному .порошку добавляют ланолин и вазелиновое масло для приготовления пасты. Металлизацпонную массу наносят способом трафаретной, печати на вакуумплотную шлифованную высокоглиноземистую алюмооксид ную керамику типа «Поликор».

Конкретные составы пасты, вес.

Формула изобретения

Паста для металлизации высокоглиноземи20 с1ой Kep311ики, вкл1оча1ощая Мо H добавки

Мп и Ti, о тл ич а и:щ а я,с я тем, что, с целью

11овышения плотности, электропроводности и адгезии, она содержит .в качестве добавок

СОЕдИНЕНИя МПТ10а И Т140т И дОПОЛНИтЕЛЬНО

25 Pd при следующем соотношении компонентов

/0 .

Мо

Мп Т10з

Т1,0т

30 Pd